JPS62101896A - 複合型ドライ真空ポンプ - Google Patents
複合型ドライ真空ポンプInfo
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- JPS62101896A JPS62101896A JP24138985A JP24138985A JPS62101896A JP S62101896 A JPS62101896 A JP S62101896A JP 24138985 A JP24138985 A JP 24138985A JP 24138985 A JP24138985 A JP 24138985A JP S62101896 A JPS62101896 A JP S62101896A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はドライ真空ポンプに係り、スクリューポンプと
ベーンポンプとを組合せ一体化したものであシ、′重子
・カメラ・化学・食品・薬品等の各工業における成膜、
エツチング封止、ガス置換・乾燥・濃縮・脱泡・包装等
の過程における真空装１樅に使用されるものである。
ベーンポンプとを組合せ一体化したものであシ、′重子
・カメラ・化学・食品・薬品等の各工業における成膜、
エツチング封止、ガス置換・乾燥・濃縮・脱泡・包装等
の過程における真空装１樅に使用されるものである。
（従来技術）
上記利用分野においては、従来、大気圧より１０−’
Ｔｏｒｒまで真空排気する油回転ポンプが通常使用六れ
ていたう右油回転ポンプに使用される油はポンプ内の柵
滑材としての働きの外に、大気圧と！（空の１ｉｆｔ
ｔシールする隔壁として、必要不可欠なもつである。他
面、その油は、真空装女内や、同襞濱内で処理される製
品が油汚染全惹起する恐れがあシ、電子・カメラ工業で
大きな問題とされて訃り、さらに、化学・食品・薬品工
業において、凝縮性ガスを排気する場合ポンプ内の圧縮
工程で、右ガスが、圧縮・液化し、池内に混入して、真
空ポンプ性能を低下させたシ、又腐蝕性ガスの場合には
、ポンプ本体を破損することさえあるなどの問題点があ
った。
Ｔｏｒｒまで真空排気する油回転ポンプが通常使用六れ
ていたう右油回転ポンプに使用される油はポンプ内の柵
滑材としての働きの外に、大気圧と！（空の１ｉｆｔ
ｔシールする隔壁として、必要不可欠なもつである。他
面、その油は、真空装女内や、同襞濱内で処理される製
品が油汚染全惹起する恐れがあシ、電子・カメラ工業で
大きな問題とされて訃り、さらに、化学・食品・薬品工
業において、凝縮性ガスを排気する場合ポンプ内の圧縮
工程で、右ガスが、圧縮・液化し、池内に混入して、真
空ポンプ性能を低下させたシ、又腐蝕性ガスの場合には
、ポンプ本体を破損することさえあるなどの問題点があ
った。
これを改善する一手段としては、油回転ポンプの前段に
油蒸気・飛沫を除去するファアライントラップを併用し
て、宝期的にトラップ再生を行い再使用するのがす市例
であり、さらに、＃縮性ガス排気の場合には、油の循還
再生設儂をも付加しなければならず、そのため油回転ポ
ンプにおいては、装喧の複雑化は避けられなかった。
油蒸気・飛沫を除去するファアライントラップを併用し
て、宝期的にトラップ再生を行い再使用するのがす市例
であり、さらに、＃縮性ガス排気の場合には、油の循還
再生設儂をも付加しなければならず、そのため油回転ポ
ンプにおいては、装喧の複雑化は避けられなかった。
と記問題点を解決する手段として、油を使用せず、動力
駆動のみによるドライ真空ポンプ使用が考えられた。ド
ライ真壁ポンプには、ダイヤフラムポンプ、ドライベー
ンポンプ、メカニカルブースターポンプ等があるがこの
中では、二段ベーンポンプの前段にメカニカルブースタ
ーポンプに＆Ｉｋ’、：することにより５ Ｘ １０−
”Ｌ’ｏｒｒ程度の到這圧力が得られた。
駆動のみによるドライ真空ポンプ使用が考えられた。ド
ライ真壁ポンプには、ダイヤフラムポンプ、ドライベー
ンポンプ、メカニカルブースターポンプ等があるがこの
中では、二段ベーンポンプの前段にメカニカルブースタ
ーポンプに＆Ｉｋ’、：することにより５ Ｘ １０−
”Ｌ’ｏｒｒ程度の到這圧力が得られた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記のメカニカルブースターポンプとベ
ーンポンプとの組合せによっても、電子・カメラ等の各
工業において半導体、レンズ等の製造において要求され
る１０″″″Ｔｏｒｒ程度の真空を得ることができず実
用性に乏しかった。
ーンポンプとの組合せによっても、電子・カメラ等の各
工業において半導体、レンズ等の製造において要求され
る１０″″″Ｔｏｒｒ程度の真空を得ることができず実
用性に乏しかった。
（問題点を解決する手段）
本発明は、従来では、真空ポンプの分野では全くその使
用が考えられていなかつ念スクリューポンプ機構を用い
ることにより、１０ Ｔｏｒｒ以下の圧力で大きな圧縮
比を持つことが出来たので、スクリューポンプを主体と
して、その後段に、ベーンポンプ椿嘴を１設して、コン
パクトな一体構造にすることにより高真空度（ベーン１
段で５ Ｔｏｒｒ、ベーン２段で１．５ Ｘ １０−”
Ｔｏｒｒ 、ベーン３段で５×１０−’ Ｔｏｒｒ
） ｆ実現した新規な高効率、複合型ドライ真空ポンプ
を提供するものである。
用が考えられていなかつ念スクリューポンプ機構を用い
ることにより、１０ Ｔｏｒｒ以下の圧力で大きな圧縮
比を持つことが出来たので、スクリューポンプを主体と
して、その後段に、ベーンポンプ椿嘴を１設して、コン
パクトな一体構造にすることにより高真空度（ベーン１
段で５ Ｔｏｒｒ、ベーン２段で１．５ Ｘ １０−”
Ｔｏｒｒ 、ベーン３段で５×１０−’ Ｔｏｒｒ
） ｆ実現した新規な高効率、複合型ドライ真空ポンプ
を提供するものである。
すなわち、本発明は雄ロータ及び雌ロータからなるスク
リューポンプと、その後段に、１段又は複数段のベーン
ポンプを配設し、該スクリューポンプと該ベーンポンプ
とを、単一の駆動部によシ、駆動させることを特徴とす
る複合型ドライ真空ポンプに関するものである。
リューポンプと、その後段に、１段又は複数段のベーン
ポンプを配設し、該スクリューポンプと該ベーンポンプ
とを、単一の駆動部によシ、駆動させることを特徴とす
る複合型ドライ真空ポンプに関するものである。
（作用）
次に本発明の作用について、一実施例にそって説明する
。第１図は本発明ポンプの構造図を示す。
。第１図は本発明ポンプの構造図を示す。
本図はベーンポンプ３段の場合を例示した。
本発明ポンプにおいて駆動モータ１７はフランジモータ
を使用し、駆動軸１５にを付けられた駆動ギア１４はス
クリューポンプ２の駆動軸８に取付けられた駆動ギア２
５と３段ベーンポンプ２６の駆動軸２７に取付けられ之
駆勅ギア１３と咬合して、それぞれのポンプの駆動源を
構成する。駆動軸８には駆動ギア２５と直列に伝導ギア
１０が耶付けられておシ、右駆動軸８の伝導ギヤ１０と
従動軸９の伝導ギヤ１０は咬合してお）ギア比１：１に
て従動＠９を回転させ、それぞれの細部にある雄ロータ
２０．雌ロータ２１のネジ咬合により、スクリューポン
プとして作動する。雄ロータ２０および雌ロータ２１は
、それぞれ軸受３および２２により支持され、オイルシ
ール１９によシ真空封止される。スクリューポンプ２は
ケーシング４の内部に収納され、ケーシング４左上部に
は真空吸気口１および排気口２８が取付けられ、ポンプ
全体はケーシング１６に固定される。吸気口２９はスク
リューポンプの真空吸気口１と接続している。
を使用し、駆動軸１５にを付けられた駆動ギア１４はス
クリューポンプ２の駆動軸８に取付けられた駆動ギア２
５と３段ベーンポンプ２６の駆動軸２７に取付けられ之
駆勅ギア１３と咬合して、それぞれのポンプの駆動源を
構成する。駆動軸８には駆動ギア２５と直列に伝導ギア
１０が耶付けられておシ、右駆動軸８の伝導ギヤ１０と
従動軸９の伝導ギヤ１０は咬合してお）ギア比１：１に
て従動＠９を回転させ、それぞれの細部にある雄ロータ
２０．雌ロータ２１のネジ咬合により、スクリューポン
プとして作動する。雄ロータ２０および雌ロータ２１は
、それぞれ軸受３および２２により支持され、オイルシ
ール１９によシ真空封止される。スクリューポンプ２は
ケーシング４の内部に収納され、ケーシング４左上部に
は真空吸気口１および排気口２８が取付けられ、ポンプ
全体はケーシング１６に固定される。吸気口２９はスク
リューポンプの真空吸気口１と接続している。
次にベーンポンプ系については駆動軸２７に第１段ベー
ンポンプ５、筆２段ベーンポンプ６およ□ び第３段
ベーンポンプ７が仕切板２４、押え板２３によって泡付
けられて一体化され３段ポンプとして作動する。仕切板
２４、押え板２３には軸受１８゜オイルシール】９等が
取付Ｉ／ｌられてベーンポンプ駆動部の支持および真空
封止を行う。
ンポンプ５、筆２段ベーンポンプ６およ□ び第３段
ベーンポンプ７が仕切板２４、押え板２３によって泡付
けられて一体化され３段ポンプとして作動する。仕切板
２４、押え板２３には軸受１８゜オイルシール】９等が
取付Ｉ／ｌられてベーンポンプ駆動部の支持および真空
封止を行う。
３段ベーンポンプ２６の全体はケーシング１６にボルト
締めにて堰付けられる。第３段ベーンポンプ７には真空
排気口１１が酸付けら九ケーシング１６にある排出口１
２と接続されている。本発明ポンプの稼働により吸気口
２９に接続される被排気系内部は駆動モータ１７により
真空吸気口１よυｉ引され、スクリューポンプ２を経て
順次第１段ペー７５、第２段ベーン６、第３段ベーン７
を通過し排気口１１、排出口Ｉ２を経て系外に排気され
る。なお、１図示してないが、スクリューポンプ２の排
出口２８は第１段ベーンポンプ５の入口と接続しており
、又それぞれ前段ベーンポンプの出口と後段ベーンポン
プの入口は接続さ一ルている。
（実施例）第５図策６図、第７図第８図は
本発明の他の実施例であり、スクリューポンプとその後
段に設けられた１段又は複数段のベーンポンプとを二本
のｌ１１１転軸で共有することにより、中−一の駆動部
によりｇＣ動さ九ることを特徴とした複合型ドライ１ｃ
窒ポンプである。
締めにて堰付けられる。第３段ベーンポンプ７には真空
排気口１１が酸付けら九ケーシング１６にある排出口１
２と接続されている。本発明ポンプの稼働により吸気口
２９に接続される被排気系内部は駆動モータ１７により
真空吸気口１よυｉ引され、スクリューポンプ２を経て
順次第１段ペー７５、第２段ベーン６、第３段ベーン７
を通過し排気口１１、排出口Ｉ２を経て系外に排気され
る。なお、１図示してないが、スクリューポンプ２の排
出口２８は第１段ベーンポンプ５の入口と接続しており
、又それぞれ前段ベーンポンプの出口と後段ベーンポン
プの入口は接続さ一ルている。
（実施例）第５図策６図、第７図第８図は
本発明の他の実施例であり、スクリューポンプとその後
段に設けられた１段又は複数段のベーンポンプとを二本
のｌ１１１転軸で共有することにより、中−一の駆動部
によりｇＣ動さ九ることを特徴とした複合型ドライ１ｃ
窒ポンプである。
快するして、本発明は、スクリューポンプとその後段に
、１股以上のベーンポンプを配して、布置ポンプが単一
の駆動源により駆動されるものならばよいのであり、前
記実施例にはとられれない。
、１股以上のベーンポンプを配して、布置ポンプが単一
の駆動源により駆動されるものならばよいのであり、前
記実施例にはとられれない。
なお、第１図に示す本発明ポンプにおいては駆動モータ
Ｈ５０Ｈｚにおいて回転数１５０ Ｏｒｐｍ 、その排
気量は１０００ ｔｆｔ ／ｍｉｎであＪｌ、Ｗｌ、、
育２、第３ベーンポンプの回転数はそれぞれ１５００
ｒｐｍの例を示したが、ギア比を変更することによりス
クリューポンプおよびベーンポンプの回転数を任意に変
更して排気量全調整することは可能であシ、また各ポン
プのサイズを変更することによっても排気量を増減する
ことができる。
Ｈ５０Ｈｚにおいて回転数１５０ Ｏｒｐｍ 、その排
気量は１０００ ｔｆｔ ／ｍｉｎであＪｌ、Ｗｌ、、
育２、第３ベーンポンプの回転数はそれぞれ１５００
ｒｐｍの例を示したが、ギア比を変更することによりス
クリューポンプおよびベーンポンプの回転数を任意に変
更して排気量全調整することは可能であシ、また各ポン
プのサイズを変更することによっても排気量を増減する
ことができる。
（効果）
本発明ポンプにより、従来の真空ポンプによっては到達
でへなかった真空変である（５〜８）ＸＩＯ−’Ｔｏｒ
ｒの高Ｘ空をコンパクトな構成でよって実現することが
可亜となり、同時に、油不使用のドライ型であるため半
導体製造、真空乾準、真窒説泡、真空包装等の装置にお
ける油汚染、油凝縮、劣化等の障害が排除された効果は
極めて顕著である。
でへなかった真空変である（５〜８）ＸＩＯ−’Ｔｏｒ
ｒの高Ｘ空をコンパクトな構成でよって実現することが
可亜となり、同時に、油不使用のドライ型であるため半
導体製造、真空乾準、真窒説泡、真空包装等の装置にお
ける油汚染、油凝縮、劣化等の障害が排除された効果は
極めて顕著である。
第１，２Ｊ３．４図は、本発明の一実施例を示すもので
あり、そ几ぞ九、側面（４、十［ｍ図、Ａ−Ａ断面図、
Ｂ−８１析面図をあられしている。第５．６．７．８図
は本発明の他の実施例を示すもので１・・・真空吸気口
、２・・・スクリューポンプ、３・・・軸受、４・・・
ケーシング、５・・・４１段べ一／ポンプ、６・・・ｍ
２ 段ベーンポンプ、７・・・第３段ベーンポンプ、
８・・・駆＠軸、９・・・従動軸、１０・・・伝導ギア
。
あり、そ几ぞ九、側面（４、十［ｍ図、Ａ−Ａ断面図、
Ｂ−８１析面図をあられしている。第５．６．７．８図
は本発明の他の実施例を示すもので１・・・真空吸気口
、２・・・スクリューポンプ、３・・・軸受、４・・・
ケーシング、５・・・４１段べ一／ポンプ、６・・・ｍ
２ 段ベーンポンプ、７・・・第３段ベーンポンプ、
８・・・駆＠軸、９・・・従動軸、１０・・・伝導ギア
。
Claims (1)
- スクリューポンプとその後段に１段又は複数段のベーン
ポンプを配設し、該スクリューポンプと該ベーンポンプ
は、単一の駆動源により駆動されることを特徴とする複
合型ドライ真空ポンプ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24138985A JPH0240875B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | Fukugogatadoraishinkuhonpu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24138985A JPH0240875B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | Fukugogatadoraishinkuhonpu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101896A true JPS62101896A (ja) | 1987-05-12 |
| JPH0240875B2 JPH0240875B2 (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=17073554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24138985A Expired - Lifetime JPH0240875B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | Fukugogatadoraishinkuhonpu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240875B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1347176A3 (en) * | 2002-03-20 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2018529879A (ja) * | 2015-10-02 | 2018-10-11 | レイボルド ゲーエムベーハー | 多段式回転翼ポンプ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0584759U (ja) * | 1992-04-22 | 1993-11-16 | 株式会社エヌケーパーツ工業 | ロッカー施錠具 |
| JPH0673933A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-15 | Sanpourotsuku:Kk | 電気錠 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP24138985A patent/JPH0240875B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1347176A3 (en) * | 2002-03-20 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US7140846B2 (en) | 2002-03-20 | 2006-11-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump having main and sub pumps |
| JP2018529879A (ja) * | 2015-10-02 | 2018-10-11 | レイボルド ゲーエムベーハー | 多段式回転翼ポンプ |
| US11592024B2 (en) | 2015-10-02 | 2023-02-28 | Leybold Gmbh | Multi-stage rotary vane pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0240875B2 (ja) | 1990-09-13 |
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