JPS62103250U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62103250U JPS62103250U JP19468685U JP19468685U JPS62103250U JP S62103250 U JPS62103250 U JP S62103250U JP 19468685 U JP19468685 U JP 19468685U JP 19468685 U JP19468685 U JP 19468685U JP S62103250 U JPS62103250 U JP S62103250U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- counter electrode
- wafer
- electrode
- etching
- stage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体製造装
置の概略断面図、第２図は同装置の要部拡大斜視
図、第３図は同要部の拡大縦断面図、第４図ａは
対向電極の調整状態の一例を示す縦断面図、第４
図ｂは第４図ａの状態に対向電極を弾性変形させ
た場合のウエハの各部位とのエツチングレートと
の関係を示すグラフ、第５図ａは対向電極を中心
円状の波形に弾性変形させた状態を示す縦断面図
、第５図ｂは第５図ａの状態に対向電極を弾性変
形させた場合のウエハ各部位とエツチングレート
との関係を示すグラフである。第６図ａはウエツ
トエツチングによる等方性エツチング状態を示す
断面図、第６図ｂはドライエツチングによる異方
性エツチング状態を示す断面図、第７図は従来の
半導体製造装置の概略断面図、第８図は第７図の
従来の半導体製造装置におけるウエハ各部位とエ
ツチングレートとの関係を示すグラフである。 １……エツチングガスの減圧雰囲気、２……ス
テージ電極、３……対向電極、４……高周波電源
、５……変形機構。
置の概略断面図、第２図は同装置の要部拡大斜視
図、第３図は同要部の拡大縦断面図、第４図ａは
対向電極の調整状態の一例を示す縦断面図、第４
図ｂは第４図ａの状態に対向電極を弾性変形させ
た場合のウエハの各部位とのエツチングレートと
の関係を示すグラフ、第５図ａは対向電極を中心
円状の波形に弾性変形させた状態を示す縦断面図
、第５図ｂは第５図ａの状態に対向電極を弾性変
形させた場合のウエハ各部位とエツチングレート
との関係を示すグラフである。第６図ａはウエツ
トエツチングによる等方性エツチング状態を示す
断面図、第６図ｂはドライエツチングによる異方
性エツチング状態を示す断面図、第７図は従来の
半導体製造装置の概略断面図、第８図は第７図の
従来の半導体製造装置におけるウエハ各部位とエ
ツチングレートとの関係を示すグラフである。 １……エツチングガスの減圧雰囲気、２……ス
テージ電極、３……対向電極、４……高周波電源
、５……変形機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エツチングガスの減圧雰囲気中に、ウエハを載
置するステージ電極と該ステージ電極に対向する
対向電極を設け、双方の電極間に高周波電圧をか
けてウエハにエツチングを施すようにした半導体
製造装置において、 上記対向電極を弾性変形させる変形機構を設け
、対向電極各部におけるステージ電極との対向間
隔を増減調節自在としたことを特徴とする半導体
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19468685U JPS62103250U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19468685U JPS62103250U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103250U true JPS62103250U (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=31151882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19468685U Pending JPS62103250U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103250U (ja) |
-
1985
- 1985-12-18 JP JP19468685U patent/JPS62103250U/ja active Pending