JPS62103485A - フライホイ−ル装置の真空排気制御装置 - Google Patents
フライホイ−ル装置の真空排気制御装置Info
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- JPS62103485A JPS62103485A JP24461285A JP24461285A JPS62103485A JP S62103485 A JPS62103485 A JP S62103485A JP 24461285 A JP24461285 A JP 24461285A JP 24461285 A JP24461285 A JP 24461285A JP S62103485 A JPS62103485 A JP S62103485A
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- pressure
- vacuum pump
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/16—Mechanical energy storage, e.g. flywheels or pressurised fluids
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【jり1業Lの利用分野】
、二〇)発明は例えば発電電動機などにおけるフライホ
イール装置の1′1゛空排気制御方法に関するものであ
る。
イール装置の1′1゛空排気制御方法に関するものであ
る。
gtここの種のフライホイール装置シ:1、高速回転さ
れるlトフの風損を減らずために真空IJI気制御を行
っCいる。 第6図は従来方法に適用されるフライホイール装置の1
真空排気制御装置を示すブロツク図である。 図において、1は発電電動機のフライホイール装置であ
り、高速回転されろ「J一夕とりータブレーキとを有し
て内部が真空に/%jたれるように/,−シンクでシー
ルされた構造になっている。 2ばフライホイール装置1のil+気系の配IIであり
、この配管2は前記フライホイール装置1に主手動ハル
ブl2と前記配管2を人気中に開hシするだめのリーク
相手φ)1ハルブ13とを介して真空ポンプ6を接続し
ている。 7はポンプスイソチ、8はフライホイール装置1内に設
けられてその内部の真空圧を検出する真空測定子、9は
真空測定子7の外部導入端子に入力側が接続されてフラ
イホイール装置1内の真空度を監視するための真空計、
10ばフライホイール装置lに設(Jられた発雷電動機
の固定子、110フライポイール装置1の入出カライン
に設けられた切換スイッチであり、このt7]換ヌイソ
チ11(11ソライホイール装置1内の真空異常時に前
記真空Al−9からの出力信号を入力してフライホイー
ル装置lの電源をOFFするためのもので、前記真空計
((の出力側に接続されている。 従≧1(方法に適用されるフライホイール装置の真空排
気制御手段はL記のように構成され、フライホイール装
置lの運転時にはポンプスイッチ7をr’l N l、
て真空ポンプ6を起動(連続運転)させ、ついで、リー
ク用手動バルブ13を閉じてから主手動バルブ12を開
くことにより真空ポンプ6の吸引力でフライホイール装
置l内を真空にしている。この状態において、フライホ
イール装置1内の真空圧が真空測定子8で測定され、そ
の測定信月を真空旧9が入力してフライホイール装Wl
内の真空度をW1視する。そして3、−の真空度が異常
値に達すると、真空計9が信号を発しそれを切換スイッ
チI I 7’J<人ノJl−i’動作J J、 、’
: 、!: a、= 、1、’l −7ソイホイール装
置Iの電源がn l・’ l・” 4.=される。また
、フライホイール装置す“1のILIIU際jノζl+
f空ボンフ。 6を止めるとき11、il’ずL ’fΦ11バルブ1
2を閉めてからポンプスイッチ7を01・゛[パにし、
その後、リーク用手動バルブ13を開く、二とに31、
り配管2内を大気圧に戻している。この場合、フライホ
イール装置1はL述のようにケーシングでシールされて
いるので暫くは内部が真空に保たれる。
れるlトフの風損を減らずために真空IJI気制御を行
っCいる。 第6図は従来方法に適用されるフライホイール装置の1
真空排気制御装置を示すブロツク図である。 図において、1は発電電動機のフライホイール装置であ
り、高速回転されろ「J一夕とりータブレーキとを有し
て内部が真空に/%jたれるように/,−シンクでシー
ルされた構造になっている。 2ばフライホイール装置1のil+気系の配IIであり
、この配管2は前記フライホイール装置1に主手動ハル
ブl2と前記配管2を人気中に開hシするだめのリーク
相手φ)1ハルブ13とを介して真空ポンプ6を接続し
ている。 7はポンプスイソチ、8はフライホイール装置1内に設
けられてその内部の真空圧を検出する真空測定子、9は
真空測定子7の外部導入端子に入力側が接続されてフラ
イホイール装置1内の真空度を監視するための真空計、
10ばフライホイール装置lに設(Jられた発雷電動機
の固定子、110フライポイール装置1の入出カライン
に設けられた切換スイッチであり、このt7]換ヌイソ
チ11(11ソライホイール装置1内の真空異常時に前
記真空Al−9からの出力信号を入力してフライホイー
ル装置lの電源をOFFするためのもので、前記真空計
((の出力側に接続されている。 従≧1(方法に適用されるフライホイール装置の真空排
気制御手段はL記のように構成され、フライホイール装
置lの運転時にはポンプスイッチ7をr’l N l、
て真空ポンプ6を起動(連続運転)させ、ついで、リー
ク用手動バルブ13を閉じてから主手動バルブ12を開
くことにより真空ポンプ6の吸引力でフライホイール装
置l内を真空にしている。この状態において、フライホ
イール装置1内の真空圧が真空測定子8で測定され、そ
の測定信月を真空旧9が入力してフライホイール装Wl
内の真空度をW1視する。そして3、−の真空度が異常
値に達すると、真空計9が信号を発しそれを切換スイッ
チI I 7’J<人ノJl−i’動作J J、 、’
: 、!: a、= 、1、’l −7ソイホイール装
置Iの電源がn l・’ l・” 4.=される。また
、フライホイール装置す“1のILIIU際jノζl+
f空ボンフ。 6を止めるとき11、il’ずL ’fΦ11バルブ1
2を閉めてからポンプスイッチ7を01・゛[パにし、
その後、リーク用手動バルブ13を開く、二とに31、
り配管2内を大気圧に戻している。この場合、フライホ
イール装置1はL述のようにケーシングでシールされて
いるので暫くは内部が真空に保たれる。
【発明が解決しようとする問題点]
しかし、上記従来のフライホイール装置の真空排気制御
装置による方法では次の、l、うな種々の問題点があっ
た。 (1)、真空ポンプ6がil続)1転されるため、その
寿命が短くなる。 (2)、バルブ12.13の全てが手動のため、操作手
順を間違えたり、忘れたりして不具合を生ずることがあ
る。 すなわち、フライホイール装置1を停止するとき主手動
バルブ12を閉め忘れると、真空ポンプ6の油がjφ流
し7フライポイール装置1内に入って1、ま・う。11
:た、主手動バルブ12を閉じる前にリーク用イ″動バ
ルブ13を開くと、フライホイール装置1内に大気が入
り込んでその内部の圧力が1111する。さらに、フラ
イホイール装置1の停止に特番、ニリーク用手動バルブ
13を開かないと、真空ポンプ6の油が主手動バルブ1
2にまで逆流して(る。、1のため、フライホイール装
置1の次の運転に際して:i−手動ハルブ12を開いた
時に、フライホイール装置1内に油が逆流することがあ
る。配管2内に逆流した油が溜ってその配管内径が具用
it L細くなり排気特性が低下する。 (3)、フライホイール装置1内の圧力が上昇して真空
度が悪くなったときにフライホイール装置Iをそのまま
運転していると、風損が増えロータが加熱して不具合を
生ずる。 (4)、ポンプスイッチ7のONと略同時に主手動バル
ブ12を開くと、タイミングによってはフライホイール
装置1内に大気が流れ込んで圧力が−L昇することがあ
る。 (5)、ポンプスイッチ7をOFFにして主手動バルブ
12を閉しろと略同時にリーク用手動バルブ13を開い
た場合においても、タイミングによって大気がフライホ
イール装置1内に流れ込んで圧力が上昇する。 この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、フライホイール装置の排気系の真空ポンプを任意
の圧力で短時間運転さ−1た後、停止させて設定圧力ま
で待機さ一1!、それを繰り返す断続運転とすることに
より、1111記真空ポンプの)1!転時間を短くして
その寿命を延ばすことができ、フライホイール装置内を
適正真空度に維持できるフライホイール装置の真空排気
制御方法を提供することを目的とする。 【問題点を解決するだめの手段】 この発明に係るフライホイール装置の真空排気制御方法
は、フライホイール装置の内部圧力を真空測定子で測定
してその測定信号を真空排気制御手段が入力し、その入
力信号による前記圧力測定値が真空圧下限設定値になっ
た時にフライホイール装置rt掛気系の真空ポンプを真
空圧上限設定値から一−iテ時間の真空ポンプ稼動領域
で稼動さゼたの引t・11さl、か一つ前記圧力測定値
が真空圧下++ll!設定稙を設定圧1111設定値側
に越えλ二真空lT異常刊lji iin域で+J’、
1tll A[!真空ポンプを自動停止さ一ロ、この
真空ポンプ4 +iit記真空ポンプ稼動領域ごとc、
二断紡jl!転さ1!てフライホイール装置内の真空圧
を制御−4ろことを4.’r敬とする。 【作 用] 、二の発明におい°C、フライホイール装置のJjl気
糸の真空ポンプか予め設定された真空ポンプ稼動1ir
il・・見ごとに断紡運転されてフライホイール装置内
の圧力が制御されイ)ことにより、真空ポンプの運転■
、−間が短くなりその寿命延長が図れると共に、111
;内のp(空室常時には前記真空ポンプが自動停止され
る。 【実施例] 第1図り、lこの発明方法に適用されるフライホイール
装置の1’(空排気制御装置を示すブロック図であ/)
、第6図との同一部分または相当部分は同一符号で示す
。図において、31Jに電磁バルブ、4はリーク用布(
(iバルブ、5ば真空ポンプ〔jの油が配管2内に逆流
するのを防1にずためのオイ月用・ラップであり、これ
らは配管2に設(Jられている。 14は真空測定子8からの入力信号に基づいて主電磁バ
ルブ3、リーク用電磁バルブ4、真空ポンプ6、切換ス
イッチ11のそれぞれをシーケンス制御するための真空
排気制御手段であり、15はフライホイール装置lに電
気制動をかけるための電気制動手段(制動用抵抗器)で
あり、この制動用抵抗器15は切換スイッチ11を介し
て電源系統の入出カラインに接続されている。 従って、前記真空排気制御手段14は第5図の示すよう
なフライホイール装置の内部圧力と風損との関係から求
められた第2図のシーケンス制11機能を有する。すな
わち、第5図におけるフライホイール装置の内部圧力(
Torr)と風)員との関係において、第2図中の真空
圧!二限設定稙V1と下限真空圧設定値■2とを求め、
内部圧力(1’orr)が真空圧上限設定値v2に到達
した時3:j、 A 、と、その11!1点A1から装
定肋間Tを経過した時点1)との間を第5図におLlる
内部圧力0.1〜1 、 OTorrの間の真空ポン
プf家動領域とし、かつ同図の内部圧力1.0〜l0T
orrの間を真空圧異常判断領域として第2図中の下限
真空圧設定値■2への圧力到達時点A2から真空圧上限
設定値V1への圧力到達時点(真空ポンプ6の停止時点
)Cまでの間に設定する。また、真空ポンプ稼動領域に
おける圧力到達時点A1からの主電磁バルブ2のタイム
ラブt1、前記真空ポンプ6の停止時点D、この停止時
点りからのリーク用電磁バルブ4のタイムラブt2、L
3、フライホイール装置1内の圧力が」二限設定値に達
したときにフライホイール装置1の「1−夕に電気制動
をかける時点Cのそれぞれが予め設定されている。 つぎに、L記真空排気制御装置を使用して本発明方法を
実施する場合について説明する。ホイール装置1が運転
されると、その内部の真空圧が真空測定子8により検出
され、その検出値がフライホイール装置l内の圧力上昇
により下限設定値V2に達すると、その時点A1で真空
排気制御手段14が真空ポンプ6に運転指令信号を出力
し、これによって真空ポンプ6が運転される。 ついで、真空排気制御手段14は、前記A時点からのタ
イムラブt1を経て主電磁バルブ3の開信号を出力する
ことにより主電磁バルブ3が開く。 このため、前記真空ポンプ6による吸引力でフライホイ
ール装置l内のrt力が低下する。そし7て、主電磁バ
ルブ3が開く。なお、この場合におけるtlの大きさは
配管2内が充分排気される時間であって数秒から約1分
の間で設定される。 真空ポンプ6が運転されフライホイール装置l内部が排
気されて圧力が下がってくる(真空度向上)と、真空ポ
ンプ3が自動的に停止する。このT時間の意味は充分そ
の間にフライホイール装置の排気が出来る時間で1分か
ら24時間以内で設定される。真空ポンプ6が停止する
と同時に主電磁バルブ3も閉じる。続いて12時間経過
後リーク用電磁バルブが13時間だけ開かれ配管2内を
大気圧に戻す。なお、t2の時間は主電磁バルブツノ(
完全に閉じる71“での時間で約1秒〜5程度度で詳定
される。1 、の時間は配管内の圧力を大気圧に戻すた
め時間で、1秒から30秒程度に設定さ引する。主電磁
バルブが閉じてポンプか停止してからム71′フライポ
イール装置内の圧力It、若干のリークや内部44石の
ア1す[ガスによって次第に一114シー(いく。V2
の圧力となったA2時点で真空ポンプの不具合、バルブ
の不具合などによって圧力低下が((j1気)うまくで
きなかった場合、フライポー(−−ル装置内の圧力し、
1更に上界して行き圧力の限’JIV+ ((点)に
達すると切換え5WInにより制動11(抗に接続しフ
ライホイールロータを停止さ1!る。 第3図番、1他の実h1!!例を示す。この実施例では
リーク用電研バルブが常時開いて電源ONで閉しる)、
のを使用L7、このときのC4は主電磁バルブが閉し、
るまでの時間で約1秒〜5秒で設定する。他の動作C1
l第2図の場合と同様である。 第4図し、lす1に別の実施例を示す。この実施例で(
31真空ポンプの運転時間をAI 2与でnNさ−IL
B3jpでOFFされるンー/、″ンス制御1Lずろ
。その他の動作は第2図と同様である。 【発明の効果] 以−1−この発明でむ」、真空ポンプが断続1i11転
さよするので、真空ポンプの運転時間が短くなってその
寿命が延長する。また、に電磁バルブおよびリーク用布
侑バルブがそれぞれ自動制御されるので、従来の主手動
バルブやリーク用手動バルブのように操作手順を間違え
たり、忘れたりするようなことがなくなり少、それに起
因した不都合を解消できるとともに、フライホイール装
置内を適正真空圧に制御できる。
装置による方法では次の、l、うな種々の問題点があっ
た。 (1)、真空ポンプ6がil続)1転されるため、その
寿命が短くなる。 (2)、バルブ12.13の全てが手動のため、操作手
順を間違えたり、忘れたりして不具合を生ずることがあ
る。 すなわち、フライホイール装置1を停止するとき主手動
バルブ12を閉め忘れると、真空ポンプ6の油がjφ流
し7フライポイール装置1内に入って1、ま・う。11
:た、主手動バルブ12を閉じる前にリーク用イ″動バ
ルブ13を開くと、フライホイール装置1内に大気が入
り込んでその内部の圧力が1111する。さらに、フラ
イホイール装置1の停止に特番、ニリーク用手動バルブ
13を開かないと、真空ポンプ6の油が主手動バルブ1
2にまで逆流して(る。、1のため、フライホイール装
置1の次の運転に際して:i−手動ハルブ12を開いた
時に、フライホイール装置1内に油が逆流することがあ
る。配管2内に逆流した油が溜ってその配管内径が具用
it L細くなり排気特性が低下する。 (3)、フライホイール装置1内の圧力が上昇して真空
度が悪くなったときにフライホイール装置Iをそのまま
運転していると、風損が増えロータが加熱して不具合を
生ずる。 (4)、ポンプスイッチ7のONと略同時に主手動バル
ブ12を開くと、タイミングによってはフライホイール
装置1内に大気が流れ込んで圧力が−L昇することがあ
る。 (5)、ポンプスイッチ7をOFFにして主手動バルブ
12を閉しろと略同時にリーク用手動バルブ13を開い
た場合においても、タイミングによって大気がフライホ
イール装置1内に流れ込んで圧力が上昇する。 この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、フライホイール装置の排気系の真空ポンプを任意
の圧力で短時間運転さ−1た後、停止させて設定圧力ま
で待機さ一1!、それを繰り返す断続運転とすることに
より、1111記真空ポンプの)1!転時間を短くして
その寿命を延ばすことができ、フライホイール装置内を
適正真空度に維持できるフライホイール装置の真空排気
制御方法を提供することを目的とする。 【問題点を解決するだめの手段】 この発明に係るフライホイール装置の真空排気制御方法
は、フライホイール装置の内部圧力を真空測定子で測定
してその測定信号を真空排気制御手段が入力し、その入
力信号による前記圧力測定値が真空圧下限設定値になっ
た時にフライホイール装置rt掛気系の真空ポンプを真
空圧上限設定値から一−iテ時間の真空ポンプ稼動領域
で稼動さゼたの引t・11さl、か一つ前記圧力測定値
が真空圧下++ll!設定稙を設定圧1111設定値側
に越えλ二真空lT異常刊lji iin域で+J’、
1tll A[!真空ポンプを自動停止さ一ロ、この
真空ポンプ4 +iit記真空ポンプ稼動領域ごとc、
二断紡jl!転さ1!てフライホイール装置内の真空圧
を制御−4ろことを4.’r敬とする。 【作 用] 、二の発明におい°C、フライホイール装置のJjl気
糸の真空ポンプか予め設定された真空ポンプ稼動1ir
il・・見ごとに断紡運転されてフライホイール装置内
の圧力が制御されイ)ことにより、真空ポンプの運転■
、−間が短くなりその寿命延長が図れると共に、111
;内のp(空室常時には前記真空ポンプが自動停止され
る。 【実施例] 第1図り、lこの発明方法に適用されるフライホイール
装置の1’(空排気制御装置を示すブロック図であ/)
、第6図との同一部分または相当部分は同一符号で示す
。図において、31Jに電磁バルブ、4はリーク用布(
(iバルブ、5ば真空ポンプ〔jの油が配管2内に逆流
するのを防1にずためのオイ月用・ラップであり、これ
らは配管2に設(Jられている。 14は真空測定子8からの入力信号に基づいて主電磁バ
ルブ3、リーク用電磁バルブ4、真空ポンプ6、切換ス
イッチ11のそれぞれをシーケンス制御するための真空
排気制御手段であり、15はフライホイール装置lに電
気制動をかけるための電気制動手段(制動用抵抗器)で
あり、この制動用抵抗器15は切換スイッチ11を介し
て電源系統の入出カラインに接続されている。 従って、前記真空排気制御手段14は第5図の示すよう
なフライホイール装置の内部圧力と風損との関係から求
められた第2図のシーケンス制11機能を有する。すな
わち、第5図におけるフライホイール装置の内部圧力(
Torr)と風)員との関係において、第2図中の真空
圧!二限設定稙V1と下限真空圧設定値■2とを求め、
内部圧力(1’orr)が真空圧上限設定値v2に到達
した時3:j、 A 、と、その11!1点A1から装
定肋間Tを経過した時点1)との間を第5図におLlる
内部圧力0.1〜1 、 OTorrの間の真空ポン
プf家動領域とし、かつ同図の内部圧力1.0〜l0T
orrの間を真空圧異常判断領域として第2図中の下限
真空圧設定値■2への圧力到達時点A2から真空圧上限
設定値V1への圧力到達時点(真空ポンプ6の停止時点
)Cまでの間に設定する。また、真空ポンプ稼動領域に
おける圧力到達時点A1からの主電磁バルブ2のタイム
ラブt1、前記真空ポンプ6の停止時点D、この停止時
点りからのリーク用電磁バルブ4のタイムラブt2、L
3、フライホイール装置1内の圧力が」二限設定値に達
したときにフライホイール装置1の「1−夕に電気制動
をかける時点Cのそれぞれが予め設定されている。 つぎに、L記真空排気制御装置を使用して本発明方法を
実施する場合について説明する。ホイール装置1が運転
されると、その内部の真空圧が真空測定子8により検出
され、その検出値がフライホイール装置l内の圧力上昇
により下限設定値V2に達すると、その時点A1で真空
排気制御手段14が真空ポンプ6に運転指令信号を出力
し、これによって真空ポンプ6が運転される。 ついで、真空排気制御手段14は、前記A時点からのタ
イムラブt1を経て主電磁バルブ3の開信号を出力する
ことにより主電磁バルブ3が開く。 このため、前記真空ポンプ6による吸引力でフライホイ
ール装置l内のrt力が低下する。そし7て、主電磁バ
ルブ3が開く。なお、この場合におけるtlの大きさは
配管2内が充分排気される時間であって数秒から約1分
の間で設定される。 真空ポンプ6が運転されフライホイール装置l内部が排
気されて圧力が下がってくる(真空度向上)と、真空ポ
ンプ3が自動的に停止する。このT時間の意味は充分そ
の間にフライホイール装置の排気が出来る時間で1分か
ら24時間以内で設定される。真空ポンプ6が停止する
と同時に主電磁バルブ3も閉じる。続いて12時間経過
後リーク用電磁バルブが13時間だけ開かれ配管2内を
大気圧に戻す。なお、t2の時間は主電磁バルブツノ(
完全に閉じる71“での時間で約1秒〜5程度度で詳定
される。1 、の時間は配管内の圧力を大気圧に戻すた
め時間で、1秒から30秒程度に設定さ引する。主電磁
バルブが閉じてポンプか停止してからム71′フライポ
イール装置内の圧力It、若干のリークや内部44石の
ア1す[ガスによって次第に一114シー(いく。V2
の圧力となったA2時点で真空ポンプの不具合、バルブ
の不具合などによって圧力低下が((j1気)うまくで
きなかった場合、フライポー(−−ル装置内の圧力し、
1更に上界して行き圧力の限’JIV+ ((点)に
達すると切換え5WInにより制動11(抗に接続しフ
ライホイールロータを停止さ1!る。 第3図番、1他の実h1!!例を示す。この実施例では
リーク用電研バルブが常時開いて電源ONで閉しる)、
のを使用L7、このときのC4は主電磁バルブが閉し、
るまでの時間で約1秒〜5秒で設定する。他の動作C1
l第2図の場合と同様である。 第4図し、lす1に別の実施例を示す。この実施例で(
31真空ポンプの運転時間をAI 2与でnNさ−IL
B3jpでOFFされるンー/、″ンス制御1Lずろ
。その他の動作は第2図と同様である。 【発明の効果] 以−1−この発明でむ」、真空ポンプが断続1i11転
さよするので、真空ポンプの運転時間が短くなってその
寿命が延長する。また、に電磁バルブおよびリーク用布
侑バルブがそれぞれ自動制御されるので、従来の主手動
バルブやリーク用手動バルブのように操作手順を間違え
たり、忘れたりするようなことがなくなり少、それに起
因した不都合を解消できるとともに、フライホイール装
置内を適正真空圧に制御できる。
第1図(:lこの発明の実施に使用されるフライホイー
ル装置の真空排気制御装置を示すブl’l ツク図、第
2図はシーツJ゛ンス制御図、第3図乃〒第5図G、1
それぞれ異な、った他の実施例に係るシーろ゛ンス制御
図、第6図I+従来のフライホイール装置の真空排気制
御装置を示すブロックMである。 図において、I C1:フライホイール装置、3 !;
t 4−?jt (fj、バルブ、4 LJリーク用電
磁バルブ、5はオイルトラップ、6し:1真空ポンプ、
8は真空測定子 、141;l:真′!?掛気制御手段
、15は電気側φ11手[ツである。八゛お、図中、同
一符号し」同・部分または相当部分を示す。 特許出願J 三菱電機株式会ン1 (外2名) −A − 第6図 第3図 第4図 圧力(Torr)→
ル装置の真空排気制御装置を示すブl’l ツク図、第
2図はシーツJ゛ンス制御図、第3図乃〒第5図G、1
それぞれ異な、った他の実施例に係るシーろ゛ンス制御
図、第6図I+従来のフライホイール装置の真空排気制
御装置を示すブロックMである。 図において、I C1:フライホイール装置、3 !;
t 4−?jt (fj、バルブ、4 LJリーク用電
磁バルブ、5はオイルトラップ、6し:1真空ポンプ、
8は真空測定子 、141;l:真′!?掛気制御手段
、15は電気側φ11手[ツである。八゛お、図中、同
一符号し」同・部分または相当部分を示す。 特許出願J 三菱電機株式会ン1 (外2名) −A − 第6図 第3図 第4図 圧力(Torr)→
Claims (1)
- フライホイール装置の内部圧力を真空測定子で測定して
その測定信号を真空排気制御手段が入力し、その入力信
号による前記圧力測定値が真空圧下限設定値になった時
にフライホイール装置排気系の真空ポンプを真空圧下限
設定値から一定時間の真空ポンプ稼動領域で稼動させた
のち停止させ、かつ前記圧力測定値が真空圧下限設定値
を真空圧上限設定値側に越えた真空圧異常判断領域では
前記真空ポンプを自動停止させ、この真空ポンプを前記
真空ポンプ稼動領域ごとに断続運転させてフライホイー
ル装置内の真空圧を制御することを特徴とするフライホ
イール装置の真空排気制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24461285A JPS62103485A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | フライホイ−ル装置の真空排気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24461285A JPS62103485A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | フライホイ−ル装置の真空排気制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103485A true JPS62103485A (ja) | 1987-05-13 |
| JPH0569994B2 JPH0569994B2 (ja) | 1993-10-04 |
Family
ID=17121322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24461285A Granted JPS62103485A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | フライホイ−ル装置の真空排気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103485A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2535794A (en) * | 2015-02-27 | 2016-08-31 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5458035B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2014-04-02 | 東芝医用システムエンジニアリング株式会社 | 磁気共鳴イメージング装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS47125U (ja) * | 1970-08-18 | 1972-03-24 | ||
| JPS5699074U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-05 | ||
| JPS6055268U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-18 | 三菱電機株式会社 | 回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置 |
| JPS6055265U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-18 | 三菱電機株式会社 | 回転機の制動装置 |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP24461285A patent/JPS62103485A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS47125U (ja) * | 1970-08-18 | 1972-03-24 | ||
| JPS5699074U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-05 | ||
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| JPS6055265U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-18 | 三菱電機株式会社 | 回転機の制動装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2535794A (en) * | 2015-02-27 | 2016-08-31 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
| GB2535794B (en) * | 2015-02-27 | 2018-07-18 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0569994B2 (ja) | 1993-10-04 |
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