JPS62103531A - マイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方法 - Google Patents
マイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方法Info
- Publication number
- JPS62103531A JPS62103531A JP24348085A JP24348085A JPS62103531A JP S62103531 A JPS62103531 A JP S62103531A JP 24348085 A JP24348085 A JP 24348085A JP 24348085 A JP24348085 A JP 24348085A JP S62103531 A JPS62103531 A JP S62103531A
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- JP
- Japan
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- movable mirror
- mirror
- laser
- moving direction
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ｆＭ ”ｍ Ｌ Ｍ墨ＩＩ ｍ ／％ １８Ｋ ’１
本発明は、マイケルソン干渉計を用いた赤外分光光度針
において移動鏡の距離を検出するマイケルソン干渉計に
おける移動鏡距離検知機構に関するものである。
本発明は、マイケルソン干渉計を用いた赤外分光光度針
において移動鏡の距離を検出するマイケルソン干渉計に
おける移動鏡距離検知機構に関するものである。
第４図はマイケルソン干渉計における移動鏡距離検知機
構の従来例を示す図である。
構の従来例を示す図である。
マイケルソン干渉計を用いた赤外分光光度計の移動鏡距
離検知機構は、第４図に示すように移動鏡駆動部１１、
レーザー発振器１２、反射鏡１３ａと１３ｂ、プリズム
１４、移動鏡１５、及びホトダイオード１６から構成さ
れている。この移動鏡距離検知機構では、レーザー発振
器１２より発振されたレーザー光が反射鏡１３ａと１３
ｂを通してプリズム１４に入射する。その入射光は、こ
のプリズム１４によって、直接出力される光と移動鏡１
５を通して出力される光に分けられ、それらの光が干渉
を起こす。その干渉波は、参照レーザーインクフェログ
ラムとしてホトダイオード１６によって検出される。そ
こでこれをパルス（ＬＬ信号）に変換して、赤外光イン
クフェログラムのサンプリングパルス用として用いる。
離検知機構は、第４図に示すように移動鏡駆動部１１、
レーザー発振器１２、反射鏡１３ａと１３ｂ、プリズム
１４、移動鏡１５、及びホトダイオード１６から構成さ
れている。この移動鏡距離検知機構では、レーザー発振
器１２より発振されたレーザー光が反射鏡１３ａと１３
ｂを通してプリズム１４に入射する。その入射光は、こ
のプリズム１４によって、直接出力される光と移動鏡１
５を通して出力される光に分けられ、それらの光が干渉
を起こす。その干渉波は、参照レーザーインクフェログ
ラムとしてホトダイオード１６によって検出される。そ
こでこれをパルス（ＬＬ信号）に変換して、赤外光イン
クフェログラムのサンプリングパルス用として用いる。
なお、赤外光インクフェログラムのサンプリングは、移
動鏡１５が左端に来た時発生する白色光インクフェログ
ラムによるパルス（ＷＬ倍信号から数ポイント（ダミー
ポイント）後に開始する。
動鏡１５が左端に来た時発生する白色光インクフェログ
ラムによるパルス（ＷＬ倍信号から数ポイント（ダミー
ポイント）後に開始する。
上記従来の移動鏡距離検知機構では、移動鏡の往復運動
での往方向移動の時、レーザーパルスに同期して、赤外
インクフェログラムのサンプリングを行う片方向サンプ
リング方式が主流であった。
での往方向移動の時、レーザーパルスに同期して、赤外
インクフェログラムのサンプリングを行う片方向サンプ
リング方式が主流であった。
最近では、移動鏡の往復運動での往・復方向移動の時、
レーザーパルスに同期して、赤外インクフェログラムの
サンプリングを行う両方向サンプリング方式も既に実施
されている。しかし、この両方向サンプリング方式では
移動鏡の移動方向（往又は、復方向）を判定する具体的
な方法がまだ確立されていない。
レーザーパルスに同期して、赤外インクフェログラムの
サンプリングを行う両方向サンプリング方式も既に実施
されている。しかし、この両方向サンプリング方式では
移動鏡の移動方向（往又は、復方向）を判定する具体的
な方法がまだ確立されていない。
本発明は、上記の考察に基づくものであって、移動鏡の
移動方向（往又は、復方向）を容易に判定できるマイケ
ルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方式を提供す
ることを目的とするものである。
移動方向（往又は、復方向）を容易に判定できるマイケ
ルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方式を提供す
ることを目的とするものである。
そのために本発明のマイケルソン干渉計における移動鏡
移動方向判定方式は、移動鏡に凹部又は凸部を設け、該
凹部又は凸部と凹部又は凸部以外の部分との光路差を利
用して移動鏡の移動方向を判定することを特徴とするも
のである。
移動方向判定方式は、移動鏡に凹部又は凸部を設け、該
凹部又は凸部と凹部又は凸部以外の部分との光路差を利
用して移動鏡の移動方向を判定することを特徴とするも
のである。
本発明のマイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判
定方式では、２つのレーザー光によるインクフェログラ
ムは光路長の違いにより位相が異なるので、一方を参照
レーザーインクフェログラム、他方を方向判定レーザー
インクフェログラムとすると、参照レーザーインタフェ
ログラムに対して方向判定レーザーインクフェログラム
が進み位相か遅れ位相かにより移動鏡の移動方向が判定
できる。
定方式では、２つのレーザー光によるインクフェログラ
ムは光路長の違いにより位相が異なるので、一方を参照
レーザーインクフェログラム、他方を方向判定レーザー
インクフェログラムとすると、参照レーザーインタフェ
ログラムに対して方向判定レーザーインクフェログラム
が進み位相か遅れ位相かにより移動鏡の移動方向が判定
できる。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明に係るマイケルソン干渉計における移動
鏡移動方向判定方式の１実施例を説明するための図、第
２図は移動鏡の往復運動でのインクフェログラムの波形
図、第３図はインクフェログラムによる方向判定を説明
するための図である。
鏡移動方向判定方式の１実施例を説明するための図、第
２図は移動鏡の往復運動でのインクフェログラムの波形
図、第３図はインクフェログラムによる方向判定を説明
するための図である。
第１図において、１は移動鏡駆動部、２ａと２ｂはレー
ザー発振器、３ａと３ｂは反射鏡、４はプリズム、５は
移動鏡、６は移動鏡凸部、６ａと６ｂはホトダイオード
を示す。
ザー発振器、３ａと３ｂは反射鏡、４はプリズム、５は
移動鏡、６は移動鏡凸部、６ａと６ｂはホトダイオード
を示す。
本発明に係るマイケルソン干渉計における移動鏡移動方
向判定方式は、レーザー光の光路長を異にするように移
動鏡に凹部又は凸部を設け、この凹部又は凸部と他の部
分とにおけるレーザー光のインクフェログラムを得、こ
れらの位相関係を比較をすることによって移動鏡の移動
方向を判定することを基本としている。従ってその具体
的な構成は、第１図に示すように２個のレーザー発振器
２ａと２ｂを設けて２本のレーザー光を発生させ、ｂを
付は加えると共に、移動鏡５のレーザー光が当たる部分
にλ／８波長の厚さの鏡（移動鏡凸部６）を張り合わせ
たものである。このように構成することによって、従来
のレーザー光１本の入射から２本人対とし、一方のレー
ザー光に対しては、移動鏡５のレーザー光が当たる部分
に張り合わせたλ／８波長の厚さの鏡（移動鏡凸部６）
でレーザー反射位置をλ／８ずらした鏡面を作っている
。
向判定方式は、レーザー光の光路長を異にするように移
動鏡に凹部又は凸部を設け、この凹部又は凸部と他の部
分とにおけるレーザー光のインクフェログラムを得、こ
れらの位相関係を比較をすることによって移動鏡の移動
方向を判定することを基本としている。従ってその具体
的な構成は、第１図に示すように２個のレーザー発振器
２ａと２ｂを設けて２本のレーザー光を発生させ、ｂを
付は加えると共に、移動鏡５のレーザー光が当たる部分
にλ／８波長の厚さの鏡（移動鏡凸部６）を張り合わせ
たものである。このように構成することによって、従来
のレーザー光１本の入射から２本人対とし、一方のレー
ザー光に対しては、移動鏡５のレーザー光が当たる部分
に張り合わせたλ／８波長の厚さの鏡（移動鏡凸部６）
でレーザー反射位置をλ／８ずらした鏡面を作っている
。
第１図ｔａ＋の移動鏡部分を上から見た状態を示したの
が第１図（ｂｌであり、この図から明らかなように移動
鏡部分に参照用レーザー光を入射して参照レーザーイン
クフェログラムを得、また、λ／８波長の厚さの鏡を張
り合わせた部分に方向判定用レーザー光を入射して方向
判定用レーザーインクフェログラムを得ている。
が第１図（ｂｌであり、この図から明らかなように移動
鏡部分に参照用レーザー光を入射して参照レーザーイン
クフェログラムを得、また、λ／８波長の厚さの鏡を張
り合わせた部分に方向判定用レーザー光を入射して方向
判定用レーザーインクフェログラムを得ている。
次に、上記構成のマイケルソン干渉計における移動鏡距
離検知機構の動作を説明する。第２図には、それぞれ移
動鏡５を往又は、復方向に移動させた時、インクフェロ
グラム値が干渉波形上でａ。
離検知機構の動作を説明する。第２図には、それぞれ移
動鏡５を往又は、復方向に移動させた時、インクフェロ
グラム値が干渉波形上でａ。
ｂ、ｃと順に変化してゆ（様子を示している。また、第
３図には、往方向、ストップ、復方向に移動鏡を移動さ
せた時の時間に対する変化を示している。これに対して
電気回路では、サンプリングパルスを作るため第３図（
Ｃ１及び（ｄｌに示すようにゼロクロス検出を行う。こ
れらの波形を観察すると明らかなように、その２つのパ
ルス波形には、次のような関係がある。
３図には、往方向、ストップ、復方向に移動鏡を移動さ
せた時の時間に対する変化を示している。これに対して
電気回路では、サンプリングパルスを作るため第３図（
Ｃ１及び（ｄｌに示すようにゼロクロス検出を行う。こ
れらの波形を観察すると明らかなように、その２つのパ
ルス波形には、次のような関係がある。
ただし、「↑」及び「↓」はそれぞれ立ち上がり及び立
ち下がり、Ｈ及びＬはそれぞれハイレベル及びローレベ
ルを示している。
ち下がり、Ｈ及びＬはそれぞれハイレベル及びローレベ
ルを示している。
よって、電気回路で上記の表に示した関係、例えば参照
レーザインタフェログラムによるパルス（ゼロクロス検
出）の立ち上がり時及び立ち下がり時に方向判定レーザ
インタフェログラムによるパルス（ゼロクロス検出）が
ｒＨＪかｒＬＪがを検知することによって移動鏡の移動
状態（往方向、復方向）が判明する。
レーザインタフェログラムによるパルス（ゼロクロス検
出）の立ち上がり時及び立ち下がり時に方向判定レーザ
インタフェログラムによるパルス（ゼロクロス検出）が
ｒＨＪかｒＬＪがを検知することによって移動鏡の移動
状態（往方向、復方向）が判明する。
なお、本発明は、種々の変形が可能であり、上記実施例
に限定されるものではない。例えば■移動鏡によって反
射する２つのレーザー光のうち一方の光路にλ／８波長
の鏡を張り合わせることによって光路の差をλ／４波長
短くしたが、逆に一方の光路にλ／８波長の開部分を設
けて光路の差をλ／４波長長くしてもよい。しかし、そ
の時の方向判定レーザーインクフェログラムは、第３図
に示す波形が反転したものとして得られる。また、■動
作の部分の表で示した関係を下記の表のように変えて移
動鏡の移動状Ｇ（往・復方向）を検知してもよい。
に限定されるものではない。例えば■移動鏡によって反
射する２つのレーザー光のうち一方の光路にλ／８波長
の鏡を張り合わせることによって光路の差をλ／４波長
短くしたが、逆に一方の光路にλ／８波長の開部分を設
けて光路の差をλ／４波長長くしてもよい。しかし、そ
の時の方向判定レーザーインクフェログラムは、第３図
に示す波形が反転したものとして得られる。また、■動
作の部分の表で示した関係を下記の表のように変えて移
動鏡の移動状Ｇ（往・復方向）を検知してもよい。
さらには、■参照レーザー光を方向判定レーザー光、方
向判定レーザー光を参照レーザー光として、本発明によ
る方法（上記の変形■、■も含む）に適用できることは
いうまでもない。
向判定レーザー光を参照レーザー光として、本発明によ
る方法（上記の変形■、■も含む）に適用できることは
いうまでもない。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、レー
ザ発振器を２つにすると共に一方のレーザ光の光路とな
る移動鏡の部分に凹／凸を設け、それぞれのレーザイン
タフェログラムを比較するので、簡単な構成の変更によ
り移動鏡の移動状態（往・復方向）を検知することがで
き、両方向のサンプリングが可能となる。
ザ発振器を２つにすると共に一方のレーザ光の光路とな
る移動鏡の部分に凹／凸を設け、それぞれのレーザイン
タフェログラムを比較するので、簡単な構成の変更によ
り移動鏡の移動状態（往・復方向）を検知することがで
き、両方向のサンプリングが可能となる。
第１図は本発明に係るマイケルソン干渉計における移動
鏡距離検知機構マイケルソン干渉計における移動鏡移動
方向判定方式の１実施例を説明するための図、第２図は
移動鏡の往復運動でのインクフェログラムの波形図、第
３図はインクフェログラムによる方向判定を説明するた
めの図、第４図はマイケルソン干渉計における移動鏡距
離検知箭襟／ｌ’Ｘ 伜古哉１太ニー −？ ｌ”ηプ
七 ２１・・・移動鏡駆動部、２ａと２ｂ・・・レー
ザ発振器、３ａと３ｂ・・・反射鏡、４・・・プリズム
、５・・・移動鏡、６・・・移動鏡凸部、６ａと６ｂ・
・・ホトダイオード。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 第１因 （ｆｌ） （ｂ） ギ’Ｉ 照 第２図
鏡距離検知機構マイケルソン干渉計における移動鏡移動
方向判定方式の１実施例を説明するための図、第２図は
移動鏡の往復運動でのインクフェログラムの波形図、第
３図はインクフェログラムによる方向判定を説明するた
めの図、第４図はマイケルソン干渉計における移動鏡距
離検知箭襟／ｌ’Ｘ 伜古哉１太ニー −？ ｌ”ηプ
七 ２１・・・移動鏡駆動部、２ａと２ｂ・・・レー
ザ発振器、３ａと３ｂ・・・反射鏡、４・・・プリズム
、５・・・移動鏡、６・・・移動鏡凸部、６ａと６ｂ・
・・ホトダイオード。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 第１因 （ｆｌ） （ｂ） ギ’Ｉ 照 第２図
Claims (2)
- （１）移動鏡に凹部又は凸部を設け、該凹部又は凸部と
凹部又は凸部以外の部分との光路差を利用して移動鏡の
移動方向を判定することを特徴とするマイケルソン干渉
計における移動鏡移動方向判定方式。 - （２）一方の光路によるレーザー光のゼロクロス点を検
知し、該ゼロクロス点における立ち上がり又は立ち下が
りの方向と他方のレーザー光のレベルとの組み合わせに
より移動鏡の移動方向を判定することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のマイケルソン干渉計における移
動鏡移動方向判定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24348085A JPS62103531A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | マイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24348085A JPS62103531A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | マイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103531A true JPS62103531A (ja) | 1987-05-14 |
Family
ID=17104514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24348085A Pending JPS62103531A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | マイケルソン干渉計における移動鏡移動方向判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103531A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63308524A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 干渉装置 |
| WO1991016606A1 (fr) * | 1990-04-18 | 1991-10-31 | Advantest Corporation | Interferometre michelson |
| JPH0635227U (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | 株式会社アマダ | 自動仕分け装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59164926A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-18 | ニコレット・インストルメント・コ−ポレ−ション | 干渉分光計 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP24348085A patent/JPS62103531A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59164926A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-18 | ニコレット・インストルメント・コ−ポレ−ション | 干渉分光計 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63308524A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 干渉装置 |
| WO1991016606A1 (fr) * | 1990-04-18 | 1991-10-31 | Advantest Corporation | Interferometre michelson |
| US5270790A (en) * | 1990-04-18 | 1993-12-14 | Advantest Corporation | Moving reflector driving part of a Michelson inteferometer |
| JPH0635227U (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | 株式会社アマダ | 自動仕分け装置 |
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