JPS62109183A - 金属表面のダレ欠陥検出方法 - Google Patents
金属表面のダレ欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS62109183A JPS62109183A JP60250433A JP25043385A JPS62109183A JP S62109183 A JPS62109183 A JP S62109183A JP 60250433 A JP60250433 A JP 60250433A JP 25043385 A JP25043385 A JP 25043385A JP S62109183 A JPS62109183 A JP S62109183A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、画像処理により、（直方体形状の）金属チッ
プの精密加工平面において、研磨による、ダレを検出す
る方法に関するものである。
プの精密加工平面において、研磨による、ダレを検出す
る方法に関するものである。
金属チップ平面の欠陥検出方法として、従来１従を高速
化したロボットのサーボ制御装置の改良に関するもので
ある。
化したロボットのサーボ制御装置の改良に関するもので
ある。
グラインダによる鋳仕上作業を自動化するためにティー
チングプレイバノクロざノドが用いられる。
チングプレイバノクロざノドが用いられる。
この鋳仕上ロボットは、鋳物に生じる鋳バリを除去する
ために予めグラインダに鋳バリ位置が接して動く軌道を
教示しておき、その軌道をロボットが再生してグライン
ダにワークを押し付は鋳仕上を行うものである。
ために予めグラインダに鋳バリ位置が接して動く軌道を
教示しておき、その軌道をロボットが再生してグライン
ダにワークを押し付は鋳仕上を行うものである。
一般にこの動作は文献「高速位置決め制御技術」（総合
技術センター発行）のディジタルサーボ方式または文献
「メカトロニクスのための新しいサーゲ技術テキスト」
（精機学会講習会テキスト）のソフトウェアサーボ方式
で各軸のサーボモータが、制御されることにより行れる
。この制御は位置決めを行うとき目標値とフィードバッ
ク値（現在値）を演算し、その偏差に比例（メカ設計、
ハードウェアの設計で定まる一定の値に比例）した出部
４で適切なしきい値で２値化して、明部の面積を求める
ことにより、欠陥の有無を判定する。
技術センター発行）のディジタルサーボ方式または文献
「メカトロニクスのための新しいサーゲ技術テキスト」
（精機学会講習会テキスト）のソフトウェアサーボ方式
で各軸のサーボモータが、制御されることにより行れる
。この制御は位置決めを行うとき目標値とフィードバッ
ク値（現在値）を演算し、その偏差に比例（メカ設計、
ハードウェアの設計で定まる一定の値に比例）した出部
４で適切なしきい値で２値化して、明部の面積を求める
ことにより、欠陥の有無を判定する。
以上のような従来技術において、目視による方法では、
多大な時間を要し、また、長時間の作業では疲労も多く
、検査者の健康を著しく害するものである。
多大な時間を要し、また、長時間の作業では疲労も多く
、検査者の健康を著しく害するものである。
また、画像処理による方法では、第７図のダレ１部の高
さＨが数μｍ程度では、入射角が非常に小さくなり、ダ
レ１８（Ｓで反射した光はほぼ真上に進み、コノトラス
ト差がほとんどつかないためＫ、検出できない。しかも
、検出できたとしてもこの照明方では必ずダレ１部が暗
部となるため、微小な面積のダレは検出できず、又、被
検物体３．１個１個について毎回明部面積の総画素数を
計測することＫなり、処理時間として、仮にダレ部分を
明部とし、その面積を計測する方法と比べ倍以上の処理
時間を要する。
さＨが数μｍ程度では、入射角が非常に小さくなり、ダ
レ１８（Ｓで反射した光はほぼ真上に進み、コノトラス
ト差がほとんどつかないためＫ、検出できない。しかも
、検出できたとしてもこの照明方では必ずダレ１部が暗
部となるため、微小な面積のダレは検出できず、又、被
検物体３．１個１個について毎回明部面積の総画素数を
計測することＫなり、処理時間として、仮にダレ部分を
明部とし、その面積を計測する方法と比べ倍以上の処理
時間を要する。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、従来の画像処理の問題点を解決するために、
第１図に示すように、被検物体の載った検査ステージ２
を研削方向に傾けることにより、ハーフミラ−７により
、光軸上からの光を、ダレ１部のみで反射するようにし
たものである。
第１図に示すように、被検物体の載った検査ステージ２
を研削方向に傾けることにより、ハーフミラ−７により
、光軸上からの光を、ダレ１部のみで反射するようにし
たものである。
本発明は第１図のように作用する。第１図において、（
ａ）は被検物体３断面図、（ｂ）はＩＴＶカメラの画像
である。矢印Ｃは、研削方向である。光軸上から、落射
された光は、ダレ１面だけで反射し、その他の平面では
、入射角θをもって、反射するように検査ステー−）２
をθだけ傾ける。レンズ６により、ＩＴＶカメラ５で結
像した被検物体表面は、（ｂ）のようにダレ１部のみが
明るく、その他の平面は、暗部として、コントラスト差
がつく。
ａ）は被検物体３断面図、（ｂ）はＩＴＶカメラの画像
である。矢印Ｃは、研削方向である。光軸上から、落射
された光は、ダレ１面だけで反射し、その他の平面では
、入射角θをもって、反射するように検査ステー−）２
をθだけ傾ける。レンズ６により、ＩＴＶカメラ５で結
像した被検物体表面は、（ｂ）のようにダレ１部のみが
明るく、その他の平面は、暗部として、コントラスト差
がつく。
この画像を処理部４に入力し、適切なしきい値で２値化
した結果、ダレ１部だけが、明部として残るため、この
明部の面積、即ち画素を計測すればダレ１部の面積がわ
かる。もし、ダレ１が無いときは、明部の画素は無いも
のと考えてよい。これは、従来、ダレが無いときでも、
明部の画素数即ち、被検物体３千面全部の面積を計測す
るのと比べ、処理時間は格段に短縮される。
した結果、ダレ１部だけが、明部として残るため、この
明部の面積、即ち画素を計測すればダレ１部の面積がわ
かる。もし、ダレ１が無いときは、明部の画素は無いも
のと考えてよい。これは、従来、ダレが無いときでも、
明部の画素数即ち、被検物体３千面全部の面積を計測す
るのと比べ、処理時間は格段に短縮される。
本発明の実施ｆＦＩＪを第２図に示している。
第２図は、ノ！ワーステアリング用の油圧偏心ポンプの
羽根Ｃ以下べ〜７１２）の表面のダレ欠陥を検出する装
置の概略図である。
羽根Ｃ以下べ〜７１２）の表面のダレ欠陥を検出する装
置の概略図である。
ベーン１２は、寸法が縦９ＩＩｍ、横９簡、厚さ２■で
、研削方向の両端の５μｍ以上の高さのダレについて、
欠陥とするものである。
、研削方向の両端の５μｍ以上の高さのダレについて、
欠陥とするものである。
傾斜ステージ２は、定盤１７に対して１°傾け、ハーフ
ミラ−７で光源８からの光を、元軸上から落射し、レン
ズ６により、上方のＩＴＶカメラ５に結像する。
ミラ−７で光源８からの光を、元軸上から落射し、レン
ズ６により、上方のＩＴＶカメラ５に結像する。
結像された１画像は、処理部４に入力され、適切なしき
い値で２値化し、合否の判定を制御部９に信号として送
る。この信号をうけて、欠陥があるべ−７１２は、ブツ
シャ１１により、８０品パレット１３に落とされる。
い値で２値化し、合否の判定を制御部９に信号として送
る。この信号をうけて、欠陥があるべ−７１２は、ブツ
シャ１１により、８０品パレット１３に落とされる。
第３図は、ＩＴＶカメラ５で結像したべ一ノ像を２値化
した図で、（ａｉが合格品、（ｂ）は、ダレ欠陥のある
ものである。
した図で、（ａｉが合格品、（ｂ）は、ダレ欠陥のある
ものである。
このように、合格品での２値化画像は、暗部のみであり
、ダレ１がある２値化画像は、明部１８が現れる。
、ダレ１がある２値化画像は、明部１８が現れる。
この装置では、検査ステージ２の傾きが一方向だけであ
るため、ベーン１２の片側にあるダレ１しか検出できな
いが、第４図に示しているように、他の方向にも傾ける
ことによって、両側のダレ１について検出できる。
るため、ベーン１２の片側にあるダレ１しか検出できな
いが、第４図に示しているように、他の方向にも傾ける
ことによって、両側のダレ１について検出できる。
本発明は、金属チップの表面画像処理において、検査ス
テージを傾けることにより、以下の効果を有する。
テージを傾けることにより、以下の効果を有する。
１）研削によって生じる数μｍの微小なダレを検出する
ことができる。
ことができる。
２）ダレ欠陥のみを明部とし、処理することにより、処
理時間を短縮できる。
理時間を短縮できる。
第１図（ａ）は、本発明の原理を示す図、第１図（ｂｌ
はＩＴＶの画像の一例を示す図、 第２図は、本発明の一実施例を示す装置概略図、第３図
は、合格品とダレ欠陥品の画像を２値化した画像を示す
図、 第４図は、本発明の他の例を示す検査ステージを左右に
傾けたときの図、 第５図は、ダレ欠陥の形状を説明する図、第６図は、従
来の検査方法を示す図、 第７図は、画像処理による従来技術を説明する図である
。 １：ダレ、２：検査ステージ、３：被検査体、４：処理
部、５ ： ＩＴＶカメラ、８二光源、９：制御部 代理人 弁理士 高 石 橘 馬 ゛第３図 第４図 第６図 第７図 拡大図
はＩＴＶの画像の一例を示す図、 第２図は、本発明の一実施例を示す装置概略図、第３図
は、合格品とダレ欠陥品の画像を２値化した画像を示す
図、 第４図は、本発明の他の例を示す検査ステージを左右に
傾けたときの図、 第５図は、ダレ欠陥の形状を説明する図、第６図は、従
来の検査方法を示す図、 第７図は、画像処理による従来技術を説明する図である
。 １：ダレ、２：検査ステージ、３：被検査体、４：処理
部、５ ： ＩＴＶカメラ、８二光源、９：制御部 代理人 弁理士 高 石 橘 馬 ゛第３図 第４図 第６図 第７図 拡大図
Claims (1)
- 小形の金属チップの精密加工平面において、研磨加工に
より生じる平面隅のダレ欠陥を画像処理により検出する
方法において、金属チップ平面上から落射照明し、金属
チップを載せた検査ステージを微小に傾けることによっ
て、欠陥部分のみで、反射した光を金属チップ上のＩＴ
Ｖカメラで受光し、その明部の画素数を計測することに
より欠陥を検出することを特徴とした金属表面のダレ欠
陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60250433A JPS62109183A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 金属表面のダレ欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60250433A JPS62109183A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 金属表面のダレ欠陥検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109183A true JPS62109183A (ja) | 1987-05-20 |
Family
ID=17207807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60250433A Pending JPS62109183A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 金属表面のダレ欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62109183A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0720231A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-24 | Nec Corp | 送信モード自動選択ソノブイ管制装置及び管制方法 |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP60250433A patent/JPS62109183A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0720231A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-24 | Nec Corp | 送信モード自動選択ソノブイ管制装置及び管制方法 |
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