JPS62109444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62109444U JPS62109444U JP20244485U JP20244485U JPS62109444U JP S62109444 U JPS62109444 U JP S62109444U JP 20244485 U JP20244485 U JP 20244485U JP 20244485 U JP20244485 U JP 20244485U JP S62109444 U JPS62109444 U JP S62109444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- silicon
- support
- carbide support
- heat insulating
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 1
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
第１図は本考案に係る炭化珪素質支持台の斜視
図、第２図は炭化珪素質支持台を構成する基板の
拡大正面図である。 符号の説明、１０…炭化珪素質支持台、１１…
基板、１１ａ…脚部、１１ｂ…切欠部、１２…連
結棒、２０…断熱部、２１…ボルト、３０…取り
出し具、４０…ウエハー。
図、第２図は炭化珪素質支持台を構成する基板の
拡大正面図である。 符号の説明、１０…炭化珪素質支持台、１１…
基板、１１ａ…脚部、１１ｂ…切欠部、１２…連
結棒、２０…断熱部、２１…ボルト、３０…取り
出し具、４０…ウエハー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 炉等の高温雰囲気内に対して取り出し具に
よつて出入され各種台上に載置される炭化珪素質
支持台であつて、 この炭化珪素質支持台の、少なくともこれを出
入する前記取り出し具または前記各種台との接触
部に、断熱部を形成したことを特徴とする炭化珪
素質支持台。 (2) 前記断熱部は、ジルコニア、窒化珪素、石
英によつて形成したものである実用新案登録請求
の範囲第１項に記載の炭化珪素質支持台。 (3) 前記炭化珪素質支持台自体は、多孔質炭化
珪素質焼結体の開放気孔内に金属シリコンを含浸
したものである実用新案登録請求の範囲第１項ま
たは第２項に記載の炭化珪素質支持台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20244485U JPS62109444U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20244485U JPS62109444U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109444U true JPS62109444U (ja) | 1987-07-13 |
Family
ID=31166830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20244485U Pending JPS62109444U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62109444U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170951U (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-07 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP20244485U patent/JPS62109444U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170951U (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-07 |