JPS62109972A - イオンプレ−テイング装置 - Google Patents
イオンプレ−テイング装置Info
- Publication number
- JPS62109972A JPS62109972A JP25043885A JP25043885A JPS62109972A JP S62109972 A JPS62109972 A JP S62109972A JP 25043885 A JP25043885 A JP 25043885A JP 25043885 A JP25043885 A JP 25043885A JP S62109972 A JPS62109972 A JP S62109972A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion plating
- crucible
- evaporated
- discharge
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野、′
本発明は、ｉ−■膜を形成するためのイオンプレーティ
ング装置に関する。
ング装置に関する。
［従来の技術Ｊ１
第２図は、従来のイオンプレーティング装置の一例を示
す概略図てめろ。この装置は、ベルジャー！内の下方に
設けられｆこルツボ２（蒸発部）内で蒸彦［４料３を蒸
発させ、ヘルジャーｌ内の上方に配置されかつ負の電圧
が印加された基板・１に付佇さ０゛ろようにしたちので
ある。この装置では、ルツボ２の−に方に、正の電圧か
印加されルツボ２との間にグロー放電を生じる放電電極
５が１投けられており、このグロー放電によって、蒸発
した蒸着材料３を正イオン化するようにしている。
す概略図てめろ。この装置は、ベルジャー！内の下方に
設けられｆこルツボ２（蒸発部）内で蒸彦［４料３を蒸
発させ、ヘルジャーｌ内の上方に配置されかつ負の電圧
が印加された基板・１に付佇さ０゛ろようにしたちので
ある。この装置では、ルツボ２の−に方に、正の電圧か
印加されルツボ２との間にグロー放電を生じる放電電極
５が１投けられており、このグロー放電によって、蒸発
した蒸着材料３を正イオン化するようにしている。
「発明が解決しようとする問題点。
前記のイオンプレーティング装置では１．！＆？１￥電
極５とルツボ２との距離が小さく、また放電電極５自体
ら小さいｆこめ、グロー放電が生しる範囲（第２図にお
いて５ａで示す）か狭く、蒸発し１こ蒸着材料か１−分
にイオン化されない（ずなイっちイオン化、１人か低い
）という欠点を有していた。
極５とルツボ２との距離が小さく、また放電電極５自体
ら小さいｆこめ、グロー放電が生しる範囲（第２図にお
いて５ａで示す）か狭く、蒸発し１こ蒸着材料か１−分
にイオン化されない（ずなイっちイオン化、１人か低い
）という欠点を有していた。
本発明は、前記従来の装置かもつ上記のよ・〕な問題を
解消しｆこイオンプレーティング装置を提１ｊ（するこ
とを目的とする。
解消しｆこイオンプレーティング装置を提１ｊ（するこ
とを目的とする。
ｇ問題点を解決するための手段」
本発明のイオンプレーティング装置は、放電電極か蒸発
物質の流路方向に互いに離間されて多段配置され、蒸発
部から遠いものほど高い正の電圧か印加されていること
を特徴とする。
物質の流路方向に互いに離間されて多段配置され、蒸発
部から遠いものほど高い正の電圧か印加されていること
を特徴とする。
「作用 」
本発明では、複数個の放電電極によって、ルツボ上方の
広範囲にわたってグロー放電を起こし、蒸着（４科をイ
オン化する。
広範囲にわたってグロー放電を起こし、蒸着（４科をイ
オン化する。
「実施例」
以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細に６悦明す
る。
る。
第１図中、符号Ｉは上部が半球状に形成されたベルジャ
ーであって、このペルジャー１内部の空気は、ベルジャ
ーｌの下部に形成された排気口６から排気されろように
なっている。上記へルンヤー１の内部下方には、蒸着材
料３の入ったルツボ２か設けられており、電子銃７を作
動させることによって、ルツボ２内の蒸着材料を加熱し
て蒸発させるようになっている。符号１１，１２．１３
は放電電極であって、これら放電電極Ｉｆ、 １２．１
３には、正の高電圧が印加され、各電極間およびルツボ
２との間でグロー放電を起こし、このグロー放電中を通
過ずろ蒸発物質を正イオン化するようになっている。一
方、ベルツヤ−１内の上部には、負の電圧か印加された
基板４が配置され、さらにその背後ニアタるペルジャー
１の半球部内面にはペルジャー！内面に蒸発物質が付着
するのを防ぐための防若板９が設けられている。また、
符号１０はシャッタである。
ーであって、このペルジャー１内部の空気は、ベルジャ
ーｌの下部に形成された排気口６から排気されろように
なっている。上記へルンヤー１の内部下方には、蒸着材
料３の入ったルツボ２か設けられており、電子銃７を作
動させることによって、ルツボ２内の蒸着材料を加熱し
て蒸発させるようになっている。符号１１，１２．１３
は放電電極であって、これら放電電極Ｉｆ、 １２．１
３には、正の高電圧が印加され、各電極間およびルツボ
２との間でグロー放電を起こし、このグロー放電中を通
過ずろ蒸発物質を正イオン化するようになっている。一
方、ベルツヤ−１内の上部には、負の電圧か印加された
基板４が配置され、さらにその背後ニアタるペルジャー
１の半球部内面にはペルジャー！内面に蒸発物質が付着
するのを防ぐための防若板９が設けられている。また、
符号１０はシャッタである。
上記放電電極１１，１２．１３は、ルツボ２の上方に同
軸に蒸発物質の流路方向に離間して配置された複数（こ
の実施例では３つ）の円弧状の電極である。
軸に蒸発物質の流路方向に離間して配置された複数（こ
の実施例では３つ）の円弧状の電極である。
そして、７１１ｆ極１１と電極１２との間、電極１２と
電極１３との間、’２１１を極１３とルツボ２との間に
は、それぞれ電源＋４．１５．１６が接続されており、
ルツボ２から遠い位置にある電極はど高い正の電圧が印
加されている。
電極１３との間、’２１１を極１３とルツボ２との間に
は、それぞれ電源＋４．１５．１６が接続されており、
ルツボ２から遠い位置にある電極はど高い正の電圧が印
加されている。
次いで、上記構成からなるイオンプレーティング装置を
使用するには、まず、ペルジャ一部内が必要な真空開に
なるまで、排気口６がら空気を排気する。次に、電子銃
７を作動させて蒸着材料３を＾発させ、同時に各ｔｉ！
１電電極１１，１２．１３に通電し、各電極間ｔらびに
、最下部の放１［電極１３とルツボ２との間にグロー放
電を起こす。すると、蒸発物質はごのグロー放’ｌ”Ｉ
ｔの中を通過する際に正イオン化され、負の電位となっ
ている基板に引き寄せられて基板・１表面にブレーティ
ングされる。
使用するには、まず、ペルジャ一部内が必要な真空開に
なるまで、排気口６がら空気を排気する。次に、電子銃
７を作動させて蒸着材料３を＾発させ、同時に各ｔｉ！
１電電極１１，１２．１３に通電し、各電極間ｔらびに
、最下部の放１［電極１３とルツボ２との間にグロー放
電を起こす。すると、蒸発物質はごのグロー放’ｌ”Ｉ
ｔの中を通過する際に正イオン化され、負の電位となっ
ている基板に引き寄せられて基板・１表面にブレーティ
ングされる。
このような構成からなるイオンプレーティング装置にう
っては、３つの放７Ｔ３．電極１１．１２．１３によっ
て、各電庫１１，１２．１３間ならびに最下部の電極１
３とルツボ２との間で、広範囲に亙ってグロー放電を起
こすので、この中を通る蒸発物質を効率良く正イオン化
し、イオン化率を高めろことができる。
っては、３つの放７Ｔ３．電極１１．１２．１３によっ
て、各電庫１１，１２．１３間ならびに最下部の電極１
３とルツボ２との間で、広範囲に亙ってグロー放電を起
こすので、この中を通る蒸発物質を効率良く正イオン化
し、イオン化率を高めろことができる。
また、正イオン化された蒸発物質は、晧１反・１に至る
間に、」１方に位置する円弧状の放１■電極ＩＩ（お上
び１２）から反発力を受け、その流路が収束されろ。し
たかって、本実施例にあっては、上述した高いイオン化
率と用よって、蒸発物質を効率良くノＩ（Ｖ２１上に付
青さ仕る二とかでき、蒸音（４月３の１し留まりを向］
二することがてきろ。
間に、」１方に位置する円弧状の放１■電極ＩＩ（お上
び１２）から反発力を受け、その流路が収束されろ。し
たかって、本実施例にあっては、上述した高いイオン化
率と用よって、蒸発物質を効率良くノＩ（Ｖ２１上に付
青さ仕る二とかでき、蒸音（４月３の１し留まりを向］
二することがてきろ。
１−発明の幼果一
本発明のｒオンブレーテ、ｆング装置は、反数の放電電
極を蒸発物質の流路方向に離間して設け、広範囲にわた
ってグロー放電を起こし、蒸着ｔ材料をイオン化するの
で、蒸着十材料の蒸気を効率良く正イオン化することか
でさ、イオン化率を高めろことか可能である。
極を蒸発物質の流路方向に離間して設け、広範囲にわた
ってグロー放電を起こし、蒸着ｔ材料をイオン化するの
で、蒸着十材料の蒸気を効率良く正イオン化することか
でさ、イオン化率を高めろことか可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第２図は１
ｆ来例を示す側断面図である。 １・・ベルツヤ−２・ルツボ（蒸発部）３ 林４１材料
４ ・基板 ７・電子銃 １０ ンヤソタ＋１．１２．１
３ 放電電極 出願人 石川８播［傅重工業昧式会社 暫・、、１゜ 代理人 弁理士 占賀正武−・・・。 −゛ニー・・３′
ｆ来例を示す側断面図である。 １・・ベルツヤ−２・ルツボ（蒸発部）３ 林４１材料
４ ・基板 ７・電子銃 １０ ンヤソタ＋１．１２．１
３ 放電電極 出願人 石川８播［傅重工業昧式会社 暫・、、１゜ 代理人 弁理士 占賀正武−・・・。 −゛ニー・・３′
Claims (1)
- ベルジャー内の一端に配置された蒸発部内で材料を蒸発
させ、正イオン化した蒸発物質を、ベルジャー内の他端
に配置されかつ負の電圧が印加された基板に付着させる
イオンプレーティング装置であって、蒸発物質の流れる
流路内で上記蒸発部との間にグロー放電を生じる放電電
極が設けられているものにおいて、上記放電電極は蒸発
物質の流路方向に互いに離間されて多段配置され、蒸発
部から遠いものほど高い正の電圧が印加されていること
を特徴とするイオンプレーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25043885A JPS62109972A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | イオンプレ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25043885A JPS62109972A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | イオンプレ−テイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109972A true JPS62109972A (ja) | 1987-05-21 |
Family
ID=17207877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25043885A Pending JPS62109972A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | イオンプレ−テイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62109972A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2482303A3 (en) * | 2011-01-28 | 2013-08-21 | United Technologies Corporation | Deposition apparatus and methods |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP25043885A patent/JPS62109972A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2482303A3 (en) * | 2011-01-28 | 2013-08-21 | United Technologies Corporation | Deposition apparatus and methods |
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