JPS62114403A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS62114403A JPS62114403A JP60254187A JP25418785A JPS62114403A JP S62114403 A JPS62114403 A JP S62114403A JP 60254187 A JP60254187 A JP 60254187A JP 25418785 A JP25418785 A JP 25418785A JP S62114403 A JPS62114403 A JP S62114403A
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- JP
- Japan
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- traveling
- truck
- cores
- iron core
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B13/00—Other railway systems
- B61B13/08—Sliding or levitation systems
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3204—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Transportation (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、搬送物を支持するために電磁石を用い、荷
重支持媒体中の空隙に非磁性体の隔壁を挿入することに
より、走行台車の走行空間と搬送物の走行空間を完全に
絶縁してクリーン搬送装置として使用できる搬送装置に
関する。
重支持媒体中の空隙に非磁性体の隔壁を挿入することに
より、走行台車の走行空間と搬送物の走行空間を完全に
絶縁してクリーン搬送装置として使用できる搬送装置に
関する。
［従来技術と問題点］
従来、この種の搬送装置は荷受皿に直接取り付けられた
車輪や摺動ガイドによって高清浄雰囲気に保たれた空間
内を案内移動するように構成されているが、これらの車
輪や摺動部から摩擦により生じる塵埃が空間を汚染する
ため、半導体産業やバイオ産業などでは、車輪等の材質
や摺動メカニズムの改良に数多くの工夫が凝らされてき
た。しかしながら、これらの改善策では本質的に摩′擦
を零にすることはできないので、抜本的な改善が望まれ
ていた。
車輪や摺動ガイドによって高清浄雰囲気に保たれた空間
内を案内移動するように構成されているが、これらの車
輪や摺動部から摩擦により生じる塵埃が空間を汚染する
ため、半導体産業やバイオ産業などでは、車輪等の材質
や摺動メカニズムの改良に数多くの工夫が凝らされてき
た。しかしながら、これらの改善策では本質的に摩′擦
を零にすることはできないので、抜本的な改善が望まれ
ていた。
そこで、本出願人は走行台車の下面に電磁石を設け、隔
壁を介して可動鉄心及び荷受皿を吊り下げた形の搬送装
置を提案した（特願昭５９−１２６９５０号参照）。第
４図はこの搬送装置の一部を切り欠いた断面図及び側面
図で、下部に清浄室１を、また上部に駆動室２を設け、
この／′？を冷室１と駆動室２の隔壁３はプラスチック
などの非磁性体から構成され、さらに清浄室１内には、
被搬送物４を載置する荷受皿５が配置されている。また
この荷受皿５は隔壁３に対面する位置に磁極面を有する
吸引磁極６を設けている。
壁を介して可動鉄心及び荷受皿を吊り下げた形の搬送装
置を提案した（特願昭５９−１２６９５０号参照）。第
４図はこの搬送装置の一部を切り欠いた断面図及び側面
図で、下部に清浄室１を、また上部に駆動室２を設け、
この／′？を冷室１と駆動室２の隔壁３はプラスチック
などの非磁性体から構成され、さらに清浄室１内には、
被搬送物４を載置する荷受皿５が配置されている。また
この荷受皿５は隔壁３に対面する位置に磁極面を有する
吸引磁極６を設けている。
一方、駆動室２には、電磁石７とこの電磁石の吸引力を
制御する電磁石制御装置８及び荷受皿５の上部との間隔
を検出する近接センサ９を装着した走行台車１０が配置
され、この走行台車１０の側面に設けられた走行車輪１
１がレール１２上を走行することによって移動可能にさ
れている。
制御する電磁石制御装置８及び荷受皿５の上部との間隔
を検出する近接センサ９を装着した走行台車１０が配置
され、この走行台車１０の側面に設けられた走行車輪１
１がレール１２上を走行することによって移動可能にさ
れている。
この従来の搬送装置はこのように構成したので、荷受皿
５の上に搬送物を載置し、電磁石制御装置により電磁石
７を励磁すると、電磁石７は隔壁３を介して吸引磁極６
を吸引して荷受皿５を浮上させる。
５の上に搬送物を載置し、電磁石制御装置により電磁石
７を励磁すると、電磁石７は隔壁３を介して吸引磁極６
を吸引して荷受皿５を浮上させる。
このとき、近接センサ９により荷受皿５の上部の近接度
を検出し、この検出信号によって電磁石制御装置４は荷
受皿５の上部との間隔が一定になるように電磁石７の吸
引力を制御する。荷受皿５が浮上すると、集電器１３か
ら給電することによって走行台車１０が駆動され、それ
に従って荷受皿５は浮上したまま走行する。
を検出し、この検出信号によって電磁石制御装置４は荷
受皿５の上部との間隔が一定になるように電磁石７の吸
引力を制御する。荷受皿５が浮上すると、集電器１３か
ら給電することによって走行台車１０が駆動され、それ
に従って荷受皿５は浮上したまま走行する。
このように従来の搬装置では、走行台車１０の駆動メカ
ニズムから摩擦により塵埃が発生しても、清浄室１と駆
動室２が隔壁３によって分離されているので、清浄室１
内を清浄に保つことができる。
ニズムから摩擦により塵埃が発生しても、清浄室１と駆
動室２が隔壁３によって分離されているので、清浄室１
内を清浄に保つことができる。
しかしながら、この装置では、清浄室１が駆動室２の下
部に設けられているので、建屋内の天井直下を搬送する
場合に適しているが、床面に近い空間や生産設備の近辺
を搬送する場合、搬送物が走行台車及び駆動室２の下部
に位置しているのでそのハンドリングや搬送物の監視が
できないという不都合があった。
部に設けられているので、建屋内の天井直下を搬送する
場合に適しているが、床面に近い空間や生産設備の近辺
を搬送する場合、搬送物が走行台車及び駆動室２の下部
に位置しているのでそのハンドリングや搬送物の監視が
できないという不都合があった。
［発明の目的］
本発明は、半導体やバイオ関係の製造工場における製品
や材料を運ぶ装置で、搬送装置の可動部のように摩擦等
により塵埃を発生する部分を、限定した空間に隔離した
装置であり、しかも可動部の上側に搬送物を載置する荷
受皿を設けた搬送装置を提供することを目的とする。
や材料を運ぶ装置で、搬送装置の可動部のように摩擦等
により塵埃を発生する部分を、限定した空間に隔離した
装置であり、しかも可動部の上側に搬送物を載置する荷
受皿を設けた搬送装置を提供することを目的とする。
［発明の達成手段］
本発明によれば、走行方向に対して走行台車の左右に電
磁石を設け、この左右の電磁石の可動鉄心で走行台車を
包むように連絡し、この連絡部の上に荷受皿を設けるこ
とによって、上記目的を達成する。
磁石を設け、この左右の電磁石の可動鉄心で走行台車を
包むように連絡し、この連絡部の上に荷受皿を設けるこ
とによって、上記目的を達成する。
より詳細に述べるならば、走行台車の両側に、複数個の
コ字型の鉄心の両端にコイルを巻いた電磁石またはＥ型
鉄心の中央にコイルを巻いた電磁石を、その磁極面が下
になるように設け、該磁極面と一定の空隙を保って上方
に吸引されている可動鉄心に、上記走行台車に対して鞍
状をなして荷受皿を支えている荷重支持板を取付けるこ
とによって、前記目的を達成しようとするものである。
コ字型の鉄心の両端にコイルを巻いた電磁石またはＥ型
鉄心の中央にコイルを巻いた電磁石を、その磁極面が下
になるように設け、該磁極面と一定の空隙を保って上方
に吸引されている可動鉄心に、上記走行台車に対して鞍
状をなして荷受皿を支えている荷重支持板を取付けるこ
とによって、前記目的を達成しようとするものである。
［作 用コ
上記の構成によって、被搬送物を搬送する場合は、荷受
皿に被搬送物を載置した後、吸引磁石を励磁して荷受皿
を走行チューブの上部で浮上した状態に保持し、走行チ
ューブ内で走行台車を移動させることにより、走行台車
の移動による発塵の影響を被搬送物に与えることがない
。
皿に被搬送物を載置した後、吸引磁石を励磁して荷受皿
を走行チューブの上部で浮上した状態に保持し、走行チ
ューブ内で走行台車を移動させることにより、走行台車
の移動による発塵の影響を被搬送物に与えることがない
。
［発明の実施例］
第１図は本発明による走行搬送装置の側面図、第２図は
第１図の走行台車の裏面図、第３図は第１図の正面図で
、非磁性体の透明体で−作られた走行チューブ１４は下
部中央に設けた２本の走行軌道体１５の側面に固着され
、この２本の走行軌道体１５の間の走行チューブ１４内
に給電線１６が走行軌道体１５と平行に設置されている
。また走行軌道体１５の上部を走行する走行輪１７及び
走行軌道体１５の内側面に接触する案内軸１８は走行台
車１９に取り付けられ、走行輪１７の軸に設けられた傘
歯車２０は走行台車１９に装着された走行用モータ２１
の軸に取り付けられた傘歯車２２と係合している。走行
輪１７及び走行軌道体１５を挟むように走行台車１９か
ら固定鉄心２３が垂下され、この固定鉄心２３にマグネ
ットコイル２４が巻き付けられている。なお、この固定
鉄心２３及びマグネットコイル２４はそれぞれ走行台車
１９の左右前後にそれぞれ一組づつ設けられている。
第１図の走行台車の裏面図、第３図は第１図の正面図で
、非磁性体の透明体で−作られた走行チューブ１４は下
部中央に設けた２本の走行軌道体１５の側面に固着され
、この２本の走行軌道体１５の間の走行チューブ１４内
に給電線１６が走行軌道体１５と平行に設置されている
。また走行軌道体１５の上部を走行する走行輪１７及び
走行軌道体１５の内側面に接触する案内軸１８は走行台
車１９に取り付けられ、走行輪１７の軸に設けられた傘
歯車２０は走行台車１９に装着された走行用モータ２１
の軸に取り付けられた傘歯車２２と係合している。走行
輪１７及び走行軌道体１５を挟むように走行台車１９か
ら固定鉄心２３が垂下され、この固定鉄心２３にマグネ
ットコイル２４が巻き付けられている。なお、この固定
鉄心２３及びマグネットコイル２４はそれぞれ走行台車
１９の左右前後にそれぞれ一組づつ設けられている。
また走行台車１９にマグネットコイル２４の磁力を制御
する制御装置２５が設けられ、この制御装置２５及び走
行用モータ２１に給電線１６と接触する集電器２６から
電力が供給される。さらに、固定鉄心２３の磁極面に対
向して固定鉄心２３の下部に可動鉄心２７が設けられ、
この可動鉄心２７は走行チューブ１４の外側をかかえる
ように鞍状に荷受皿２８から垂下された非磁性体の荷重
支持体２９により支持されている。
する制御装置２５が設けられ、この制御装置２５及び走
行用モータ２１に給電線１６と接触する集電器２６から
電力が供給される。さらに、固定鉄心２３の磁極面に対
向して固定鉄心２３の下部に可動鉄心２７が設けられ、
この可動鉄心２７は走行チューブ１４の外側をかかえる
ように鞍状に荷受皿２８から垂下された非磁性体の荷重
支持体２９により支持されている。
また走行台車１９にギャップセンサ３０が設けられ、こ
のギャップセンサ３０は可動鉄心２７に設けられたトゲ
３１との間のギャップを検出し、固定鉄心２３と可動鉄
心２７の間のギャップを一定とする信号を制御装置２５
へ送出する。
のギャップセンサ３０は可動鉄心２７に設けられたトゲ
３１との間のギャップを検出し、固定鉄心２３と可動鉄
心２７の間のギャップを一定とする信号を制御装置２５
へ送出する。
このように構成した本実施例の搬送装置では、給電線１
６と接触する集電器２６から制御装置２５に電力が供給
されると、ギャップセンサ３０からの信号によって固定
鉄心２３と可動鉄心２７の間隔が一定になるように荷受
皿２８を浮上させる。そして集電器２６から走行用モー
タ２１に電力を供給することによって走行台車１９を駆
動し、この駆動に伴って可動鉄心２７が固定鉄心に引き
付けられ、荷受皿２８が駆動される。
６と接触する集電器２６から制御装置２５に電力が供給
されると、ギャップセンサ３０からの信号によって固定
鉄心２３と可動鉄心２７の間隔が一定になるように荷受
皿２８を浮上させる。そして集電器２６から走行用モー
タ２１に電力を供給することによって走行台車１９を駆
動し、この駆動に伴って可動鉄心２７が固定鉄心に引き
付けられ、荷受皿２８が駆動される。
このように本実施例では、走行台車１９は走行チューブ
１４内を走行するので、走行輸１７が走行軌道体１５上
を走行するときに発生する塵埃は全てこの走行チューブ
１４内より外に出ないので、該受皿２８が設けられた空
間に塵が発生しない。
１４内を走行するので、走行輸１７が走行軌道体１５上
を走行するときに発生する塵埃は全てこの走行チューブ
１４内より外に出ないので、該受皿２８が設けられた空
間に塵が発生しない。
なお、上記実施例において、固定鉄心２３としてコ字型
鉄心を用いた例で説明したが、Ｅ字型鉄心を用いてその
中央にマグネットコイルを巻いてもよいことは言うまで
もない。
鉄心を用いた例で説明したが、Ｅ字型鉄心を用いてその
中央にマグネットコイルを巻いてもよいことは言うまで
もない。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、荷受
皿を走行チューブの上部に設けたので、電磁石の吸引力
を利用して搬送物を支持する搬送装置として、水平面に
簡単に設置できるので、荷受皿に設けた搬送物のハンド
リングや監視に都合が良いという利点がある。
皿を走行チューブの上部に設けたので、電磁石の吸引力
を利用して搬送物を支持する搬送装置として、水平面に
簡単に設置できるので、荷受皿に設けた搬送物のハンド
リングや監視に都合が良いという利点がある。
第１図は本発明による搬送装置の側面図、第２図は第１
図の走行台車の裏面図、第３図は第１図の正面図、第４
図は従来の磁気浮上搬送車の概略構成図である。
図の走行台車の裏面図、第３図は第１図の正面図、第４
図は従来の磁気浮上搬送車の概略構成図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、走行台車の両側に、複数個のコ字型の鉄心の両端に
コイルを巻いた電磁石またはＥ型鉄心の中央にコイルを
巻いた電磁石を、その磁極面が下になるように設け、該
磁極面と一定の空隙を保って上方に吸引されている可動
鉄心に、上記台車に対して鞍状をなして荷受皿を支えて
いる荷重支持板を取付けた搬送装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の搬送装置において、上
記走行台車の電磁石の吸引面と可動鉄心の空隙を通り、
上記走行台車本体をトンネル状に覆って走行軌道側面に
その両端を固定した走行チューブを設けたことを特徴と
する搬送装置。 ３、特許請求の範囲第１項記載の搬送装置において、上
記走行台車の走行輪が走る１対の軌道の内側に上記走行
台車の案内軸、集電器及び給電線が配置されることを特
徴とする搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254187A JPS62114403A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 搬送装置 |
| US06/929,594 US4766993A (en) | 1985-11-13 | 1986-11-10 | Conveying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254187A JPS62114403A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114403A true JPS62114403A (ja) | 1987-05-26 |
Family
ID=17261443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60254187A Pending JPS62114403A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 搬送装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4766993A (ja) |
| JP (1) | JPS62114403A (ja) |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| WO2017126535A1 (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社ＥｘＨ | 運搬機器、コネクタ |
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-
1986
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