JPS62123732A - プロ−ブカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、プローブカード、特に半導体ウェハ上に形成
される各ペレットの回路を検査するプローブカードに適
用して有効な技術に関する。

［背景技術〕 半導体ウェハ（以下単にウェハと言う）の表面に形成さ
れた各ベレッｌ−８Ｎ域の回路形成状態を検査するため
に、プローブカードと呼ばれる複数の接触子を有する補
助具をウェハの所定位置に当接して、該プローブカード
に接続されるケーブルを経て、予めテストプログラムが
入力された大型のホストコンピュータに信号を送り、こ
れによりペレットの良否を検査することが知られている
。

ところで、上記構造のプローブカードを用いてウェハの
検査を行った場合、プローブカードとホストコンピュー
タとの距離が離れている場合には、接続用のケーブルに
も所定の長さが必要となる。

しかし、ケーブルが長くなると、ペレットから取り出さ
れた信号は、ケーブルを伝送される間に波形が歪み、ま
た信号伝達速度も遅くなるため、検査が不正確となった
り、検査効率が低下するという問題のあることが本発明
者によって明らかにされた。

なお、プローブカードを用いたウェハ検査の技術として
詳しく述べである例としては、株式会社工業調査会、昭
和５８年１１月１５日発行「電子材料１９８３年１１月
号別冊、超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック」、Ｐ１
９５〜Ｐ１９８があ［発明の目的］ 本発明の目的は、正確でしかも高効率なウェハ検査を行
うことのできるプローブカードを提供することにある。

本発明の他の目的は、ウェハの検査システムを小型化す
ることにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、プローブカード自体に検査回路が形成された
構造とすることにより、被検査回路からの出力信号が検
査回路を経て前処理された情報の状態でホストコンピュ
ータに伝送することができるため、ケーブルを介しても
波形に歪みを生じることなく、正確な情報を伝送するこ
とができる。

また、これにより、ケーブルによる信号の遅延を防止す
ることができる。

さらに、プローブカード自体に検査回路を形成すること
により、検査システムを小形化することができる。

［実施例１コ 第ＬＩＤは、本発明の一実施例であるプローブカードを
示す断面図、第２図はその平面図である。

本実施例１のプローブカード１は被検査物としてのウェ
ハ２上に形成された各ペレットの信号出力状態の良否を
検査するためのものであり、このウェハ２は所定の拡散
層、配線およびパッドが形成された状態のものである。

プローブ本体３は、たとえばシリコンカーバイド（Ｓ　
ｉ　Ｃ）等からなり、中央にプローブ穴４の開設された
ドーナソツ状の平面形状を有している。

このプローブ穴４の周囲からは所定方向に複数の接触子
、すなわちプローブ針５が突設されている。

このプローブ針５はプローブ本体３を表裏方向に貫通す
るスルーホール配線６によって表面側に設けられたバン
ブ電極７ａと電気的に接続されている。また、プローブ
本体３の周縁部近傍には所定の配線層８が形成されてお
り、この配線層８の一端側はバンブ電極７ｂに接続され
ており、他端側には電極９が形成され、該電極には外部
出力用ケーブル１０が接続されている。

一方、前記プローブ本体３の表面側にはバンプ電極７ａ
、７ｂを介してプローブウェハ１１が回路形成面をプロ
ーブ本体３の表面側に対向した状態で取付けられている
。このプローブウェハ１１の回路形成面にはプローブ針
５から取り出された出力信号に対応する検査回路１２が
形成されており、この検査回路１２はその入出力側をバ
ンブ電極７ａ、７ｂと電気的に接続されている。なお、
この検査回路１２は、通常の半導体装置のウェハの製造
と同様に、酸化・拡散等の工程を経て形成されるもので
ある。なお、このプローブウェハ１１の中央にはプロー
ブ本体３のプローブ穴４に対応して検査用穴１３が開設
されているが、この検査用穴１３は、プローブウェハ１
１の製造工程において、検査回路１２の形成前に開設し
てもよいし、あるいは形成後であってもよい。

上記のようにして得られたプローブカード１は、たとえ
ば図示しないウエハプローバに装着された状態でウェハ
２の検査が行われる。すなわち、検査作業ではまずプロ
ーブ本体３から突設されているプローブ針５の先端を、
それぞれ被検査物であるウェハ２上の各ベレット２１の
パッド２２に当接させて、このパッド２２とプローブ針
５との電気的接続を図る。ベレット２１のパッド２２か
らの出力信号はプローブ針５を介してプローブウェハｌ
ｌ上に形成された検査回路１２に送られる。

ここで、この出力信号に基づいて所定の前検査が行われ
、出力信号は所定の検査情報として検査回路１２から出
力される。この検査情報はバンブ電極７ｂ、プローブ本
体３の配線層８、および外部出力用ケーブル１０を経て
図示しないホストコンピュータに送られる。

このように、本実施例によれば、プローブカードｌ自体
、すなわちプローブ本体３に実装されたプローブウェハ
１１に検査回路１２が形成されており、ベレット２１か
らの出力信号に基づいて、所定の前検査を行い、検査情
報に変換して出力するため、外部出力用ケーブルｌＯを
経ても影響を受けることなく、ホストコンピューターに
よって正確でしかも高効率なウェハ検査を行うことがで
きる。

［効果］ （１）、被検査物の各信号出力に対応した検査回路が形
成されたプローブカード構造とすることにより、被検査
回路からの出力信号が検査回路を経て前処理された情報
の状態でホストコンピュータに伝送することができるた
め、ケーブルを介しても波形に歪みを生じることなく、
正確な情報を伝送することができる。

（２）、前記（１）により、ウェハ検査を正確に行うこ
とができる。

（３）、前記（１）により、前処理した状態で検査情報
をホストコンピュータに伝送することができるため、ケ
ーブルによる信号の遅延を防止することができる。

（４）、プローブカード自体に検査回路を形成すること
により、ホストコンピュータの規模を小形化することが
でき、この結果検査システム全体の小形化を図ることが
できる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、検査回路についてはウェハ上に形成した場合に
ついて説明したが、これに限るものではなく、プローブ
本体上にパッケージングされた半導体装置として実装さ
れたものであってもよい。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、半導体ウェハの検査を行うプロ
ーブカードに適用した場合について説明したが、これに
限定されるものではなく、たとえば他の電子装置の検査
に用いられるプローブカードに適用しても有効な技術で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例であるプローブカードを示
す断面図、 第２図は実施例のプローブカードを示す平面図である。 １・・・プローブカード、２・・・ウェハ、３・・・プ
ローブ本体、４・・・プローブ穴、５・・・プローブ針
、６・・・スルーホール配線、７ａ、７ｂ・・・バンブ
電極、８・・・配線層、９・・・電極、１０・・・外部
出力用ケーブル、１１・・・プローブウェハ、１２・・
・検査回路、２１・・・ベレット、２２・・・パッド。 第　　１　　図 第　　２　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検査物の各信号出力に対応した検査回路が形成さ
   れてなることを特徴とするプローブカード。 ２、検査回路が半導体基板上に形成されてなることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のプローブカード。 ３、半導体ウェハ検査用のプローブカードであることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載のプ
   ローブカード。