JPS62136603U - - Google Patents

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JPS62136603U
JPS62136603U JP2404086U JP2404086U JPS62136603U JP S62136603 U JPS62136603 U JP S62136603U JP 2404086 U JP2404086 U JP 2404086U JP 2404086 U JP2404086 U JP 2404086U JP S62136603 U JPS62136603 U JP S62136603U
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JP
Japan
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displacement
output
electro
feedback signal
signal
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JP2404086U
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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の要部の一実施例を示す構成図
、第2図は従来の電圧信号帰還の電空ポジシヨナ
の構成を示すブロツク図、第3図は第2図におけ
る振動式力センサの構造を詳細に示す構造図、第
4図はデイジタル信号で平衡する系の第2の従来
例を示すブロツク図、第5図は周波数信号の位相
比較によつて系が平衡する第3の従来例を示すブ
ロツク図である。 12……入力処理回路、13……差動増幅器、
14……アクチユエータ、18……パイロツトリ
レー、19……空気圧バルブ、20……ステム、
21,22……変位電気信号変換器、210,2
30……振動式力センサ、214,232……振
動部、212,231……片持ばり、215,2
16,233,234……圧電素子、234〜2
38……スリツト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 入力電流を電圧信号に変換する入力処理手段と
    、この入力処理手段の出力と帰還信号との差に基
    づいてパイロツトリレーのフラツパを制御するア
    クチユエータ手段と、前記パイロツトリレーの出
    力が与えられる空気圧バルブに連動するステム変
    位が入力され前記帰還信号を出力する変位電気信
    号変換手段とを有する電空ポジシヨナにおいて、
    前記変位電気信号変換手段は一端が固定された片
    持ばりの一部に形成された薄肉状の振動部と、こ
    の振動部に配置された1対の圧電素子と、これ等
    の圧電素子が入出力端に結合された増幅器と、前
    記振動部の近傍に形成されたスリツトとを有し前
    記片持ばりの他端に前記ステム変位がバネ等の変
    位―力変換機構を介して結合され前記増幅器の出
    力に得られる前記ステム変位に対応した周波数に
    関連する前記帰還信号としたことを特徴とする電
    空ポジシヨナ。
JP2404086U 1986-02-21 1986-02-21 Pending JPS62136603U (ja)

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JP2404086U JPS62136603U (ja) 1986-02-21 1986-02-21

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JP2404086U JPS62136603U (ja) 1986-02-21 1986-02-21

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JPS62136603U true JPS62136603U (ja) 1987-08-28

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