JPS62138073A - 真空内回転装置の起動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、真空容器内に回転電機を設置してなる真空内
回転装置の起動方法に係り、特に、起動時間の短縮化を
図れるようにした起動方法に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

ある種のプラントでは、真空容器内に回転電機を設置し
、この回転電機を真空雰囲気中で運転するようにしたも
のがある。第３図は、このような真空内回転装置の代表
的な例を示すもので、真空容器１内にロータ２とステー
タ３とからなるモータ４を設置している。そして、モー
タ４のステータコイル線端をハーメチックシール部５を
通して外部に設けられた図示しないモータ駆ｉ１］電源
に接続し、さらに真空容器１の排気口６をロータリ真空
ポンプ７に接続したものとなっている。なお。

図中８，９は軸受を示している。

ところで、上記のように構成された真空内回転装置を起
動するときには通常２次のような方法が採用されている
。すなわち、まずロータリ真空ポンプ７を動作させて真
空容器１内を真空引きする。

そして、真空容器１内の圧力が一定以下まで下がつだ時
点でモータ駆動電源を投入してモータ４を回転開始させ
るようにしている。

しかしながら、上記のような起動方法を採用した場合に
は次のような問題があった。すなわち。

モータ駆動電源として、モータ４を最も少ない電力で定
格回転数まで上昇させるように設計されたものを使用し
た場合には、定格回転数まで上昇させるのに相当の時間
を必要とする。これは次のような理由による。づなわち
、最も一般的なロータリ真空ポンプを使用して真空容器
内を排気した場合には、第４図に示すような排気特性し
か得ることができない。この図は横軸に真空ポンプを動
作開始させた時点からの経過時間を示し、縦軸に真空容
器内の圧力を示している。この図から判かるように排気
開始当初は急激に排気され、その後は漸次排気されるが
、その勾配は非常に緩やかなものとなる。これは真空容
器内の体積とロータリ真空ポンプの排気量との関係によ
って決り、特に。

真空容器の体積が大きく、ロータリ真空ポンプの排気量
が小さいとき顕著となる。したがって、前述のように設
計されたモータ駆動電源を使用し。

充分な排気を行なわずにモータ４を駆動開始さゼた場合
、供給電力量によって決まる回転数より風損分だけ低い
回転数でバランスし、真空容器１内の圧力が少しずつ低
下する分だけ回転数が徐々に上昇すると言った仔過を辿
りながら定格回転数まで上昇するので相当の時間を要す
ることになる。

このように、起動に長時間を要すると、真空容器１内を
繰返し大気圧に戻して運転するような場合には時間的な
損失を免れ得ないものとなる。

〔発明の目的〕

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、排気特性を大幅に改善すること
ができ、もって起動時間を短縮させ得る真空内回転装置
の起動方法を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明によれば、真空容器の外面を高温流体で加熱しな
がら上記真空容器内を所定圧力まで真空引きした後、上
記真空容器内に設置された回転電機を駆動するようにし
た真空内回転装置の起動方法が提供される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、高温流体を用いて真空容器を外面から
加熱するようにしているので、この加熱によって真空容
器の内壁面やモータ等の容器内装物を強制的に脱ガス処
理することができる。この脱ガス処理によって排気特性
を改善でき、短時間に一定圧力以下まで排気させること
ができる。この結果、起動時間の短縮化を達成すること
ができる。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。

第１図は９本発明方法が適用される真空内回転装置の模
式図である。この図では、第３図と同一部分に同一符号
が付されている。したがって１重複する部分の詳しい説
明は省略する。

この例では、真空容器１の外側に、真空容器１の壁を兼
用し、かつ真空容器１を取り囲む関係に流体通路１０が
設けられている。そして、流体通路１０の入口１１はバ
ルブ１２を介して高温水あるいは高温蒸気等の高温流体
供給源１３に接続されるとともにバルブ１４を介して低
温流体供給源１５に接続されている。

次に、第２図を参照しながら、この装置の起動手順を説
明する。まず、ロータリ真空ポンプ７を動作開始させる
。このようにロータリ真空ポンプ７を動作開始させると
、開始当初は第２図に示すように真空容器１内が急激に
排気され、続いて圧力変化勾配が緩やかとなる。この緩
やかになった時点Ｔ１で、バルブ１２を“開″にする。

バルブ１２が“開″に制御されると、流体通路１ｏ内に
高温流体が図中実線矢印で示すように流れる。このため
、真空容器１の壁が加熱され、この加熱によって真空容
器１の内面やモータ等の内装物が脱ガス処理される。こ
の脱ガスで真空容器１内は一時的に圧力上昇する。ロー
タリ真空ポンプ７による排気を継続させながら高温流体
を一定時間流し。

時点Ｔ２においてバルブ１２を゛閉゛′に制御する。

このバルブ？ｒｉ＋制御によって、脱ガスが止まり、真
空容器１内の圧力は再び低下する。そして２時点Ｔ１に
おける圧力より低下した時点Ｔ３において再びバルブ１
２を゛′開°′に制御して流体通路１０へ高温流体を一
定時間流す。以後、バルブ１２の開閉を繰り返しながら
真空容器１内を一定圧力以下まで排気する。そして、目
標圧力に達した時点でモータ４を駆動する。また、定常
運転に移行した時点でバルブ１４を゛開″に制御して流
体通路１０へ低温流体を流すようにする。

このような起動方法であると、真空容器１内を目標圧力
まで排気する時間を短縮でき、起動時間を短縮すること
ができる。すなわち、真空容器１を強制的に加熱して脱
ガス迅理するようにしているので、ロータリ真空ポンプ
７の吸引力だけで脱ガスさせる場合に比べて脱ガスに要
する時間を短縮でき、その結果、目標圧力に到達するま
での時間を短縮することができる。したがって、起動時
間の短縮化の実現に寄与することができる。

なお１本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、前記モータを駆動源として容器内の回転体を同軸で
駆動する等をはじめ種々変形できる。また、真空容器内
の圧力がある値まで低下した時点で流体通路１０に低温
流体を流すことによって目標圧力までの到達時間をさら
に短縮させるようにしてもよい。また、上述した実施例
では起動時に高温流体を通流させる流体通路に定常運転
時には低温流体を通流させ、流体通路を兼用させるよう
にしているが、それぞれ専用の流体通路を設警プるよう
にしてもよい。また、排気用のポンプはロータリ真空ポ
ンプに限られるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の起動方法が適用される真空内回転装置
の模式的構成図、第２図は本発明の起動方法を採用した
ときの排気特性を示す図、第３図は従来の起動方法を採
用した真空内回転装置の（Ｑ式的構成図、第４図は従来
の起動方法を採用したときの排気特性を示す図である。 １・・・真空容器、４・・・モータ、７・・・ロータリ
真空ポンプ、１３・・・高温流体供給源。 第１図 Ｉｌを　　ｎ 第２図 第３図 第４図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器内に回転電機を設置してなる真空内回転
   装置を起動するに当って、前記真空容器の外面を高温流
   体で加熱しながら上記真空容器内を所定圧力まで真空引
   きした後、前記回転電機を駆動するようにしたことを特
   徴とする真空内回転装置の起動方法。
2. （２）前記高温流体を、前記真空容器の外面に沿って設
   けられた通路を通して通流させるようにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の真空内回転装置の起
   動方法。
3. （３）前記通路は、定常運転時の低温流体通路を兼ねて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の真空
   内回転装置の起動方法。