JPS62140734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62140734U JPS62140734U JP2821786U JP2821786U JPS62140734U JP S62140734 U JPS62140734 U JP S62140734U JP 2821786 U JP2821786 U JP 2821786U JP 2821786 U JP2821786 U JP 2821786U JP S62140734 U JPS62140734 U JP S62140734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- semiconductor device
- divided
- semiconductor substrate
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る半導体装置の一実施例
を示す図、第２図は、従来の半導体装置のパター
ンを説明する為の図、第３図は、モニターパター
ンの一実施例を示す図、第４図は、本考案に係る
半導体装置の他の実施例を示す図である。 Ａ：ウエハー、１：パターン、２，３：パター
ン、４：モニターパターン、５：導電層、６：導
電層、７：絶縁膜、イ乃至ホ，ａ，ｂ：スクライ
ブライン。
を示す図、第２図は、従来の半導体装置のパター
ンを説明する為の図、第３図は、モニターパター
ンの一実施例を示す図、第４図は、本考案に係る
半導体装置の他の実施例を示す図である。 Ａ：ウエハー、１：パターン、２，３：パター
ン、４：モニターパターン、５：導電層、６：導
電層、７：絶縁膜、イ乃至ホ，ａ，ｂ：スクライ
ブライン。
Claims (1)
- 半導体装置のパターンが、略左右対称のパター
ンであつて、該パターンが半導体基板上に連続的
に配配列されて焼き付けられ、該半導体基板上に
形成された個々のパターン毎に分割されて形成さ
れる半導体装置に於いて、分割される個々の半導
体装置のパターンにモニターパターンが設けられ
ていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2821786U JPS62140734U (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2821786U JPS62140734U (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140734U true JPS62140734U (ja) | 1987-09-05 |
Family
ID=30830972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2821786U Pending JPS62140734U (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62140734U (ja) |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP2821786U patent/JPS62140734U/ja active Pending