JPS62158334A - 開閉装置 - Google Patents
開閉装置Info
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- JPS62158334A JPS62158334A JP29881385A JP29881385A JPS62158334A JP S62158334 A JPS62158334 A JP S62158334A JP 29881385 A JP29881385 A JP 29881385A JP 29881385 A JP29881385 A JP 29881385A JP S62158334 A JPS62158334 A JP S62158334A
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- furnace
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- reaction tube
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 26
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、炉体を分割して開閉可能にした加熱炉の開
閉などに用いることができる開閉装置に係り、特に、任
意の開閉角度で停止可能にしたものに関する。
閉などに用いることができる開閉装置に係り、特に、任
意の開閉角度で停止可能にしたものに関する。
一般に、半導体装置の製造上用いられている加熱炉は、
半導体ウェー八を収容する円筒状の反応管の周面を覆う
形態を持ち、その反応管の周面に対して均等な加熱を行
うための発熱体を配設したものである。
半導体ウェー八を収容する円筒状の反応管の周面を覆う
形態を持ち、その反応管の周面に対して均等な加熱を行
うための発熱体を配設したものである。
そして、半導体ウェーハの加熱処理は、半導体ウェー八
を収容した反応管を加熱炉の端面開口部から挿入して行
い、加熱処理を終了した半導体ウェーハは反応管を加熱
炉の端面開口部から引き出して行うこととしている。
を収容した反応管を加熱炉の端面開口部から挿入して行
い、加熱処理を終了した半導体ウェーハは反応管を加熱
炉の端面開口部から引き出して行うこととしている。
ところで、加熱炉に対して反応管を長手方向に出入させ
ることは、加熱炉の端面側に反応管を出入させるための
反応管の長さ以上のスペースを必要とするとともに、そ
の出入時間が長く、とりわけ、冷却のために加熱炉から
反応管を引き出す際に、加熱炉の余熱が反応管内の半導
体ウェーハに作用し、冷却速度に限界がある。
ることは、加熱炉の端面側に反応管を出入させるための
反応管の長さ以上のスペースを必要とするとともに、そ
の出入時間が長く、とりわけ、冷却のために加熱炉から
反応管を引き出す際に、加熱炉の余熱が反応管内の半導
体ウェーハに作用し、冷却速度に限界がある。
このため、半導体ウェーハの冷却について、半導体装置
によっては、その急速冷却の効果が直接にその特性に影
響を与える場合があり、急速冷却の要請が高まっている
。
によっては、その急速冷却の効果が直接にその特性に影
響を与える場合があり、急速冷却の要請が高まっている
。
このような要請に応えるために、炉体を分割して開閉可
能にし、その開閉によって半導体ウェーハを収容した反
応管の着脱を行うことにより、半導体ウェーハの急速な
加熱および冷却を実現した加熱炉が提案されている。
能にし、その開閉によって半導体ウェーハを収容した反
応管の着脱を行うことにより、半導体ウェーハの急速な
加熱および冷却を実現した加熱炉が提案されている。
そこで、この発明は、分割された炉体などの開閉部材の
開閉を行つ開閉装置を提供することを目的とする。
開閉を行つ開閉装置を提供することを目的とする。
この発明の開閉装置は、支持軸６を中心にした回動によ
って開閉可能に取り付けられた開閉部材（第１図に示す
容器２Ａ、２Ｂ、第２図に示す炉体３０Ａ、３０Ｂ）と
、支持部材（支持板４）に直線方向に移動可能に取り付
けられた移動体（スライダ１２）とを前記開閉部材の支
持軸から離間した位置と前記移動体との間に移動体の移
動を伝達する伝達部材（リンクアーム１４）を介して連
結し、前記移動体を移動することによって前記支持軸を
中心にして前記開閉部材を回動させて開閉するものであ
る。
って開閉可能に取り付けられた開閉部材（第１図に示す
容器２Ａ、２Ｂ、第２図に示す炉体３０Ａ、３０Ｂ）と
、支持部材（支持板４）に直線方向に移動可能に取り付
けられた移動体（スライダ１２）とを前記開閉部材の支
持軸から離間した位置と前記移動体との間に移動体の移
動を伝達する伝達部材（リンクアーム１４）を介して連
結し、前記移動体を移動することによって前記支持軸を
中心にして前記開閉部材を回動させて開閉するものであ
る。
移動体を直線方向に移動させることによって、その直線
移動が伝達部材から開閉部材の支持軸に対して離間した
位置に加わり、開閉部材は支持軸を中心にして回動し、
開閉される。
移動が伝達部材から開閉部材の支持軸に対して離間した
位置に加わり、開閉部材は支持軸を中心にして回動し、
開閉される。
そして、この発明の開閉装置において、開閉部材に対し
て伝達部材は、たとえば、支持軸を中心にして移動体の
移動方向と直交する位置に一端を回動可能に取り付けれ
ば、移動体の直線方向の移動を効率よく、開閉部材に伝
達することができ、移動体の移動によって、所望の開閉
角度を得ることができるとともに、その開閉駆動の負荷
が小さく、モータなどの駆動機構は小出力のもので容易
に駆動できる。
て伝達部材は、たとえば、支持軸を中心にして移動体の
移動方向と直交する位置に一端を回動可能に取り付けれ
ば、移動体の直線方向の移動を効率よく、開閉部材に伝
達することができ、移動体の移動によって、所望の開閉
角度を得ることができるとともに、その開閉駆動の負荷
が小さく、モータなどの駆動機構は小出力のもので容易
に駆動できる。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は、この発明の開閉装置の実施例を示す。
第１図に示すように、開閉部材として円筒体を直径方向
に２分割した加熱などに用いる容器２Ａ、２Ｂが設置さ
れ、容器２Ａ、２Ｂの各端面には、支持部材としての支
持板４が取り付けられている。
に２分割した加熱などに用いる容器２Ａ、２Ｂが設置さ
れ、容器２Ａ、２Ｂの各端面には、支持部材としての支
持板４が取り付けられている。
第１図は、各容器２Ａ、２Ｂが閉じられた状態を示して
おり、容器２Ａ、２Ｂの内部には加熱対象物が収容され
る。そして、各支持板４は、その角部に取り付けた支持
軸６を介して支柱８に回動可能に支持されている。
おり、容器２Ａ、２Ｂの内部には加熱対象物が収容され
る。そして、各支持板４は、その角部に取り付けた支持
軸６を介して支柱８に回動可能に支持されている。
支柱８はＴ字型を成し、その内面側に配設したレール１
０には、直線方向に移動可能に移動体としてのスライダ
１２が取り付けられている。この実施例のスライダ１２
は水平方向に移動可能に設置されており、このスライダ
１２と支持板４との間には、伝達部材としてのリンクア
ーム１４がビン１６．１８を介して取り付けられている
。この実施例の場合、支持軸６を中心にして、スライダ
１２の移動方向に直行する方向の支持軸６から一定の間
隔だけ離間させた位置にリンクアーム１４の一端が取り
付けられ、その他端はスライダ１２のほぼ中心部に取り
付けられている。
０には、直線方向に移動可能に移動体としてのスライダ
１２が取り付けられている。この実施例のスライダ１２
は水平方向に移動可能に設置されており、このスライダ
１２と支持板４との間には、伝達部材としてのリンクア
ーム１４がビン１６．１８を介して取り付けられている
。この実施例の場合、支持軸６を中心にして、スライダ
１２の移動方向に直行する方向の支持軸６から一定の間
隔だけ離間させた位置にリンクアーム１４の一端が取り
付けられ、その他端はスライダ１２のほぼ中心部に取り
付けられている。
そして、支柱８の間には、モータなどの回転駆動手段に
よって回転される駆動軸２０が取り付けられ、その周面
に回転力を伝達するアーム２２を取り付け、このアーム
２２はスライダ１２の壁面に一定の間隔をおいて取り付
けられた係合軸２４ａ、２４ｂの間隔内に挿入されてい
る。
よって回転される駆動軸２０が取り付けられ、その周面
に回転力を伝達するアーム２２を取り付け、このアーム
２２はスライダ１２の壁面に一定の間隔をおいて取り付
けられた係合軸２４ａ、２４ｂの間隔内に挿入されてい
る。
したがって、駆動軸２０を矢印ａ、ｂの方向に回転する
と、その回転方向に応じてアーム２２が矢印ｃ、ｄの方
向に回転変位することによって、スライダＩ２を水平方
向に移動させ、この結果、容器２Ａ、２Ｂを開閉できる
。
と、その回転方向に応じてアーム２２が矢印ｃ、ｄの方
向に回転変位することによって、スライダＩ２を水平方
向に移動させ、この結果、容器２Ａ、２Ｂを開閉できる
。
また、各容器２Ａ、２Ｂは各支持軸６を中心にして回動
するとともに、スライダ１２およびリンクアーム１４は
上下対象に設置されているため、容器２Ａ、２Ｂの回動
のための重量は、リンクアーム１４を介してスライダ１
２上で相殺されるため、スライダ１２の移動を停止する
だけで、任意の角度に容器２Ａ、２Ｂを開いて固定する
ことができる。しかも、このような重量バランスによっ
て小さな駆動力で開閉操作を行うことができ、モータな
どの回転駆動機構に対して大きな負荷を与えない利点が
ある。
するとともに、スライダ１２およびリンクアーム１４は
上下対象に設置されているため、容器２Ａ、２Ｂの回動
のための重量は、リンクアーム１４を介してスライダ１
２上で相殺されるため、スライダ１２の移動を停止する
だけで、任意の角度に容器２Ａ、２Ｂを開いて固定する
ことができる。しかも、このような重量バランスによっ
て小さな駆動力で開閉操作を行うことができ、モータな
どの回転駆動機構に対して大きな負荷を与えない利点が
ある。
第２図は、この発明の開閉装置を実施した加熱炉を示す
。
。
この加熱炉は、炉本体を縦方向に分割して２つの炉体３
０Ａ、３０Ｂとし、各炉体３０Ａ、３０Ｂを開閉可能に
構成したものであり、その内部に形成された収容部３２
には、加熱対象物としての半導体ウェーハを入れた円筒
状の反応管が設置される。
０Ａ、３０Ｂとし、各炉体３０Ａ、３０Ｂを開閉可能に
構成したものであり、その内部に形成された収容部３２
には、加熱対象物としての半導体ウェーハを入れた円筒
状の反応管が設置される。
各炉体３０Ａ、３０Ｂの内部には、断熱材３４を介在さ
せて発熱体３６がそれぞれ設置され、各炉体３０Ａ、３
０Ｂの端面側には支持板４が固定されている。各炉体３
０Ａ、３０Ｂは、各支持板４の接合側の角部に支持軸６
を貫通させて支持台３８の支柱８に回動可能に支持させ
ている。
せて発熱体３６がそれぞれ設置され、各炉体３０Ａ、３
０Ｂの端面側には支持板４が固定されている。各炉体３
０Ａ、３０Ｂは、各支持板４の接合側の角部に支持軸６
を貫通させて支持台３８の支柱８に回動可能に支持させ
ている。
そして、各支持板４には、支持軸６の上方または下方の
角部に炉体３０Ａ、３０Ｂを開閉するためのリンクアー
ム１４を取り付け、各リンクアーム１４の他端は、支柱
８に水平方向に配設したレール１０上を水平方向に移動
可能に設置したスライダ１２に支持軸６を介して回動可
能に取り付けられている。したがって、炉体３０Ａ、３
０Ｂは、スライダ１２を水平方向に移動することによっ
て、支持軸６を中心に回動することにより開閉すること
ができる。
角部に炉体３０Ａ、３０Ｂを開閉するためのリンクアー
ム１４を取り付け、各リンクアーム１４の他端は、支柱
８に水平方向に配設したレール１０上を水平方向に移動
可能に設置したスライダ１２に支持軸６を介して回動可
能に取り付けられている。したがって、炉体３０Ａ、３
０Ｂは、スライダ１２を水平方向に移動することによっ
て、支持軸６を中心に回動することにより開閉すること
ができる。
このような加熱炉を用いて加熱処理を行う場合、発熱体
３６を駆動して炉体３０Ａ、３０Ｂの前置加熱を行った
後、駆動軸２０を矢印ａの方向に回転させると、第３図
の（Ａ）に示すように、スライダ１２を矢印ｅの方向に
移動させ、炉体３０Ａ、３０Ｂを開くことができる。
３６を駆動して炉体３０Ａ、３０Ｂの前置加熱を行った
後、駆動軸２０を矢印ａの方向に回転させると、第３図
の（Ａ）に示すように、スライダ１２を矢印ｅの方向に
移動させ、炉体３０Ａ、３０Ｂを開くことができる。
所定の開度が得られた位置で、駆動軸２０の回転を止め
、半導体ウェーハ４０を収容した反応管４２を矢印ｆの
方向に移動させて炉体３０Ａ、３０Ｂの収容部３２内に
設置した後、駆動軸２０を矢印すの方向に回転させてス
ライダ１２を矢印ｇの方向に移動させて、第３図の（Ｂ
）に示すように、炉体３０Ａ、３０Ｂを閉じる。閉じた
炉体３０Ａ、３０Ｂは、急速に加熱し、その加熱温度を
所望の値に維持して所定の加熱処理を行った後、駆動軸
２０を再び矢印ａの方向に回転させて、スライダ１２を
矢印ｅの方向に移動させて、第３図の（Ａ）に示すよう
に、炉体３０Ａ、３０Ｂを開き、反応管４２を矢印りの
方向に搬出し、半導体ウェーハ４０を冷却する。
、半導体ウェーハ４０を収容した反応管４２を矢印ｆの
方向に移動させて炉体３０Ａ、３０Ｂの収容部３２内に
設置した後、駆動軸２０を矢印すの方向に回転させてス
ライダ１２を矢印ｇの方向に移動させて、第３図の（Ｂ
）に示すように、炉体３０Ａ、３０Ｂを閉じる。閉じた
炉体３０Ａ、３０Ｂは、急速に加熱し、その加熱温度を
所望の値に維持して所定の加熱処理を行った後、駆動軸
２０を再び矢印ａの方向に回転させて、スライダ１２を
矢印ｅの方向に移動させて、第３図の（Ａ）に示すよう
に、炉体３０Ａ、３０Ｂを開き、反応管４２を矢印りの
方向に搬出し、半導体ウェーハ４０を冷却する。
したがって、半導体ウェーハ４０の加熱処理およびその
冷却処理を、炉体３０Ａ、３０Ｂの開閉によって、即座
に行うことができ、特に、反応管４２の着脱時間が短縮
され、その操作も容易になり、半導体ウェーハ４０の急
速な加熱および冷却を行うことができる。
冷却処理を、炉体３０Ａ、３０Ｂの開閉によって、即座
に行うことができ、特に、反応管４２の着脱時間が短縮
され、その操作も容易になり、半導体ウェーハ４０の急
速な加熱および冷却を行うことができる。
なお、実施例では容器や加熱炉の開閉を例に取って説明
したが、この発明はこのような装置以外で開閉を必要す
るものに利用できる。
したが、この発明はこのような装置以外で開閉を必要す
るものに利用できる。
以上説明したように、この発明によれば、分割された炉
体などの開閉部材を小さいな駆動力によって容易に開閉
することができ、その開閉角度を重量的な平衡によって
、何等の固定力を要することなく、任意の角度に停止す
ることができる６
体などの開閉部材を小さいな駆動力によって容易に開閉
することができ、その開閉角度を重量的な平衡によって
、何等の固定力を要することなく、任意の角度に停止す
ることができる６
第１図はこの発明の開閉装置の実施例を示す斜視図、第
２図はこの発明の開閉装置の実施例である加熱炉を示す
斜視図、第３図は炉体の開閉を示す図である。 ２Ａ、２Ｂ・・・開閉部材としての容器、４・・・支持
板、６・・・支持軸、１２・・・移動体としてのスライ
ダ、１４・・・伝達部材としてのリンクアーム。 特許出願人 テルサームコ株式会社 代理人 弁理士 畝 本 正 − 第３ （Ｂ） 図
２図はこの発明の開閉装置の実施例である加熱炉を示す
斜視図、第３図は炉体の開閉を示す図である。 ２Ａ、２Ｂ・・・開閉部材としての容器、４・・・支持
板、６・・・支持軸、１２・・・移動体としてのスライ
ダ、１４・・・伝達部材としてのリンクアーム。 特許出願人 テルサームコ株式会社 代理人 弁理士 畝 本 正 − 第３ （Ｂ） 図
Claims (2)
- （１）支持軸を中心にした回動によって開閉可能に取り
付けられた開閉部材と、支持部材に直線方向に移動可能
に取り付けられた移動体とを前記開閉部材の支持軸から
離間した位置と前記移動体との間に移動体の移動を伝達
する伝達部材を介して連結し、前記移動体を移動するこ
とによって前記支持軸を中心にして前記開閉部材を回動
させて開閉することを特徴とする開閉装置。 - （２）前記開閉部材に対して前記伝達部材は、前記支持
軸を中心にして前記移動体の移動方向と直交する位置に
一端を回動可能に取り付けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の開閉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29881385A JPS62158334A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29881385A JPS62158334A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158334A true JPS62158334A (ja) | 1987-07-14 |
| JPH03772B2 JPH03772B2 (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=17864553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29881385A Granted JPS62158334A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62158334A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230092A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 外部加熱装置 |
| JP2002174562A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Isao Kikuchi | 空気圧機器の検査装置 |
| JP2011091386A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び半導体装置の作製方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5166507U (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-26 | ||
| JPS5526715A (en) * | 1978-08-16 | 1980-02-26 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Data string rearrangement unit |
| JPS5674746A (en) * | 1979-11-22 | 1981-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | Data processing unit |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP29881385A patent/JPS62158334A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5166507U (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-26 | ||
| JPS5526715A (en) * | 1978-08-16 | 1980-02-26 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Data string rearrangement unit |
| JPS5674746A (en) * | 1979-11-22 | 1981-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | Data processing unit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230092A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 外部加熱装置 |
| JP2002174562A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Isao Kikuchi | 空気圧機器の検査装置 |
| JP2011091386A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び半導体装置の作製方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03772B2 (ja) | 1991-01-08 |
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