JPS6217121U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6217121U JPS6217121U JP1985107782U JP10778285U JPS6217121U JP S6217121 U JPS6217121 U JP S6217121U JP 1985107782 U JP1985107782 U JP 1985107782U JP 10778285 U JP10778285 U JP 10778285U JP S6217121 U JPS6217121 U JP S6217121U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stage
- exposure mask
- detection means
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例の概略構成図である
。 １…ウエハ、２…ステージ、３…駆動回路、４
…レーザ干渉計、５…制御回路、６…マスク、７
…支持台、８，８…デイテクタ。
。 １…ウエハ、２…ステージ、３…駆動回路、４
…レーザ干渉計、５…制御回路、６…マスク、７
…支持台、８，８…デイテクタ。
Claims (1)
- 少なくとも２点に放射性物質を導入したウエハ
を載置するステージと、該ステージを駆動制御す
るステージ制御手段と、露光用マスクを支持する
支持手段と、放射線を検出する検出手段とを備え
、該検出手段は前記露光用マスクにおける前記ウ
エハの放射性物質を導入した点に対応する点上に
位置し、前記検出手段にて放射線を検出する事で
前記ウエハと前記露光用マスクとのアライメント
をとる事を特徴とするマスクアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985107782U JPS6217121U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985107782U JPS6217121U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217121U true JPS6217121U (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=30984376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985107782U Pending JPS6217121U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217121U (ja) |
-
1985
- 1985-07-15 JP JP1985107782U patent/JPS6217121U/ja active Pending
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