JPS62192016A - 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS62192016A JPS62192016A JP61034117A JP3411786A JPS62192016A JP S62192016 A JPS62192016 A JP S62192016A JP 61034117 A JP61034117 A JP 61034117A JP 3411786 A JP3411786 A JP 3411786A JP S62192016 A JPS62192016 A JP S62192016A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法
に関し、特に主磁極１ｔｉｌ＋磁型の垂直磁気記録用磁
気ヘッドおよびその製造方法に関する。
に関し、特に主磁極１ｔｉｌ＋磁型の垂直磁気記録用磁
気ヘッドおよびその製造方法に関する。
従来のこの種の垂直磁気記録用磁気ヘッドとしては、例
えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−５
８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−５
８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
特開昭（ｉｏ−１３６００４号公報に開示された垂直磁
気記録用磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対して
その一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基板
を表面を重ねるようにして接着し、接着された両法板の
隣合う面について非磁性セラミック基板側の面には磁気
記録用の主磁極の先端部分が磁性フェライ１一基板側の
面には磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように
主磁極を形成し、両法板の主磁極形成面を主磁極部を残
して講が露出するまで切除するとともに非磁性セラミッ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とする研磨
加工等を施し、磁性フェライト基板の溝を通して主磁極
にコイルを施して形成される。
気記録用磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対して
その一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基板
を表面を重ねるようにして接着し、接着された両法板の
隣合う面について非磁性セラミック基板側の面には磁気
記録用の主磁極の先端部分が磁性フェライ１一基板側の
面には磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように
主磁極を形成し、両法板の主磁極形成面を主磁極部を残
して講が露出するまで切除するとともに非磁性セラミッ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とする研磨
加工等を施し、磁性フェライト基板の溝を通して主磁極
にコイルを施して形成される。
また、特公昭５７−５８７３０号公報に開示された磁気
記録用磁気ヘッドは、磁性材料によるスライダ部裁体お
よび巻線部基体とこれら側基体表面側の非磁性材料によ
るギヤツブ部基体とからなるヘソドブロンク構造体を設
けるとともに、このヘッドプロ７り構造体の表面所定位
置に磁性材ネ：１の蒸着またはスパッタリングなどによ
って選択的にスライダ部、トラック部およびギャップ部
を薄膜形成させるようにしたものである。
記録用磁気ヘッドは、磁性材料によるスライダ部裁体お
よび巻線部基体とこれら側基体表面側の非磁性材料によ
るギヤツブ部基体とからなるヘソドブロンク構造体を設
けるとともに、このヘッドプロ７り構造体の表面所定位
置に磁性材ネ：１の蒸着またはスパッタリングなどによ
って選択的にスライダ部、トラック部およびギャップ部
を薄膜形成させるようにしたものである。
しかし、これら従来の垂直磁気記録用磁気ヘッドはいず
れも構造が複雑であり、したがって製造方法も複雑で寸
法精度の確保が困難であるという問題点があった。
れも構造が複雑であり、したがって製造方法も複雑で寸
法精度の確保が困難であるという問題点があった。
また、寸法精度が確保が困難なことにより、十分高い再
生出力を得ることができないという問題点があった。
生出力を得ることができないという問題点があった。
本発明の目的は、上述の点に鑑み、構造が筒車で寸法精
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用６■気ヘツドを提供する
ことにある。
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用６■気ヘツドを提供する
ことにある。
また、本発明の他の目的は、製造が容易で寸法精度を出
しやすい垂直磁気記録用磁気へノドの製造方法を提供す
ることにある。
しやすい垂直磁気記録用磁気へノドの製造方法を提供す
ることにある。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、主磁極励磁型の
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、非磁性体でなる基
板と、この基板の側面に形成された主磁極膜と、この主
磁極膜を被覆する保護膜と、上記基板を上記主磁ＦＩｉ
膜が上位となるように貼設された巻線用コアと、この巻
線用コアを接着材を介して固着するスライダとを備える
。
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、非磁性体でなる基
板と、この基板の側面に形成された主磁極膜と、この主
磁極膜を被覆する保護膜と、上記基板を上記主磁ＦＩｉ
膜が上位となるように貼設された巻線用コアと、この巻
線用コアを接着材を介して固着するスライダとを備える
。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法は
、基板上に主磁極膜を形成する工程と、上記主磁極膜を
所定の幅を有するストライプ状のパターンに加工する工
程と、上記主磁極膜を被覆する保護膜を形成する工程と
、上記基板を所望の寸法となるように切断する工程と、
上記基板を上記主磁極が巻線用コア上に位置するように
上記巻線用コアに貼設する工程と、スライダにＳ線用コ
アの両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
、基板上に主磁極膜を形成する工程と、上記主磁極膜を
所定の幅を有するストライプ状のパターンに加工する工
程と、上記主磁極膜を被覆する保護膜を形成する工程と
、上記基板を所望の寸法となるように切断する工程と、
上記基板を上記主磁極が巻線用コア上に位置するように
上記巻線用コアに貼設する工程と、スライダにＳ線用コ
アの両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、主磁極膜でビ
ック７ソブされた磁気信号は巻線用コアおよびスライダ
を含む閉磁路を通じてコイルに再生電圧を発生させる。
ック７ソブされた磁気信号は巻線用コアおよびスライダ
を含む閉磁路を通じてコイルに再生電圧を発生させる。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法で
は、主磁極膜が巻線用コア上に位置するように基板が巻
線用コアに貼設される。
は、主磁極膜が巻線用コア上に位置するように基板が巻
線用コアに貼設される。
第【図は本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録用磁
気ヘッドは、基板１と、この基板１に形成された主磁極
膜２と、この主磁極膜２を被ＩＷする保護膜３と、スラ
イダ５に巻線用コア７を固着する接着材４と、スライダ
５と、コイルを巻装するための巻線用コア７とから構成
されている。
ッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録用磁
気ヘッドは、基板１と、この基板１に形成された主磁極
膜２と、この主磁極膜２を被ＩＷする保護膜３と、スラ
イダ５に巻線用コア７を固着する接着材４と、スライダ
５と、コイルを巻装するための巻線用コア７とから構成
されている。
次に、このように構成された本実施例の磁気ヘッドの製
造方法について説明する。
造方法について説明する。
まず、第２図（８）に示すように、ガラス、結晶化ガラ
ス、フェライト、セラミック、Ａ １．０．、ＡｌｔＯ
ｚ Ｔｉｃ等の非磁性材でなる基板１上に、パーマロ
イ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ。
ス、フェライト、セラミック、Ａ １．０．、ＡｌｔＯ
ｚ Ｔｉｃ等の非磁性材でなる基板１上に、パーマロ
イ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ。
Ｃｏ−Ｈｒ−Ｔａ等のアモルファス金属等をスパッタリ
ングすることによって薄膜状の主磁極膜２を形成する。
ングすることによって薄膜状の主磁極膜２を形成する。
このとき形成される主磁極膜２の膜厚によって、記録線
密度が決定される。
密度が決定される。
続いて、第２図（ｂ）に示すように、主磁極膜２をウェ
ットエツチングあるいはドライエツチングすることによ
って所定の幅を有するストライブ状のパターンに加工す
る。このとき形成されるパターン幅がトラック幅となり
、トランク密度を決定する。
ットエツチングあるいはドライエツチングすることによ
って所定の幅を有するストライブ状のパターンに加工す
る。このとき形成されるパターン幅がトラック幅となり
、トランク密度を決定する。
次に、第２図（Ｃ１に示すように、主磁極膜２を被覆す
るようにＳ ｉｏｚ 、Ａｌｚｏｚ等の非磁性材をスパ
ッタリングすることによって保護膜３を形成する。
るようにＳ ｉｏｚ 、Ａｌｚｏｚ等の非磁性材をスパ
ッタリングすることによって保護膜３を形成する。
続いて、主磁極膜２等が形成された基板１を所望の寸法
となるように図中の一点鎖線に沿って切断する。
となるように図中の一点鎖線に沿って切断する。
このようにして得られた基板１を、第３図に示すように
、主磁極膜２が巻線用コア７上に位置するようにＭｎ−
Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト、アモルファス
金属等によって断面Ｃ字状に形成された巻線用コア７の
上面にガラス、樹脂等で貼設し、図中に示す一点鎖線に
沿って切断することにより所定寸法の巻線用コア７を得
る。
、主磁極膜２が巻線用コア７上に位置するようにＭｎ−
Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト、アモルファス
金属等によって断面Ｃ字状に形成された巻線用コア７の
上面にガラス、樹脂等で貼設し、図中に示す一点鎖線に
沿って切断することにより所定寸法の巻線用コア７を得
る。
この後、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト
、アモルファス金属等からなる第４図に示すような断面
コの字型のスライダ５の前端面の右側部寄りに、巻線用
コア７の両端部をガラス、樹脂等からなる接着材４で接
着する。
、アモルファス金属等からなる第４図に示すような断面
コの字型のスライダ５の前端面の右側部寄りに、巻線用
コア７の両端部をガラス、樹脂等からなる接着材４で接
着する。
しかる後に、スライダ５の上面部を研削加工してエアグ
ループ５ａおよびパッド面５ｂを形成し、巻線用コア７
にコイルを巻装することにより、本実施例の垂直磁気記
録用磁気ヘッドが製造される。
ループ５ａおよびパッド面５ｂを形成し、巻線用コア７
にコイルを巻装することにより、本実施例の垂直磁気記
録用磁気ヘッドが製造される。
なお、上記垂直磁気記録用ｉｆｆ気ヘッドの製造方法に
おいては、主磁極膜２および保護膜３をスパッタリング
で形成するようにしたが、これらは蒸着、メッキ、イオ
ンブレーティング等の他の方法によって形成することも
できる。
おいては、主磁極膜２および保護膜３をスパッタリング
で形成するようにしたが、これらは蒸着、メッキ、イオ
ンブレーティング等の他の方法によって形成することも
できる。
また、スライダ５に巻線用コア７を固着した後にエアグ
ループ５ａおよびパッド面５ｂを形成するようにしたが
、これらは巻線用コア７の貼設以前にあらかじめ形成し
ておいてもよい。
ループ５ａおよびパッド面５ｂを形成するようにしたが
、これらは巻線用コア７の貼設以前にあらかじめ形成し
ておいてもよい。
次に、このようにして製造された本実施例の磁気ヘッド
を用いて垂直磁気記録媒体に記録および再生を行うには
、スライダ５のパッド而５ｂ上に垂直磁気記録媒体を！
！置し、コイルに信号電流を通電しながら垂直磁気記録
媒体を移動させる。すると、コイルに誘導された磁束が
Ｓ線用コア７および橿めて薄い主磁極膜２を介して高磁
束密度となって垂直磁気記録媒体に作用し、垂直磁気記
録媒体を厚み方向に磁化して信号の記録を行う。
を用いて垂直磁気記録媒体に記録および再生を行うには
、スライダ５のパッド而５ｂ上に垂直磁気記録媒体を！
！置し、コイルに信号電流を通電しながら垂直磁気記録
媒体を移動させる。すると、コイルに誘導された磁束が
Ｓ線用コア７および橿めて薄い主磁極膜２を介して高磁
束密度となって垂直磁気記録媒体に作用し、垂直磁気記
録媒体を厚み方向に磁化して信号の記録を行う。
また、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドを用いて垂
直磁気記録媒体から記録信号を再生するには、垂直磁気
記録媒体に残留磁気の形で記録された信号を主磁極膜２
でピックアップすることにより、コイルに誘導電圧とし
て再生出力を取り出す。
直磁気記録媒体から記録信号を再生するには、垂直磁気
記録媒体に残留磁気の形で記録された信号を主磁極膜２
でピックアップすることにより、コイルに誘導電圧とし
て再生出力を取り出す。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッ
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トランク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信頼性が高い記録および再生を行うことが
できる、 ■ 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間の機械的信頼性が高い、 等の効果がある。
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トランク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信頼性が高い記録および再生を行うことが
できる、 ■ 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間の機械的信頼性が高い、 等の効果がある。
また、本発明の垂直Ｖｆｉ気記録用磁気ヘッドの製造方
法によれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られるので、
量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、精度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
法によれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られるので、
量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、精度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
第１図は、本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気
ヘッドの斜視図、 第２図（ａｌ〜（ｃｌは、第１図中に示した基板の順次
の製造工程を示す斜視図、 第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製造工程を示
す斜視図、 第４図は、第１図中に示したスライダの製造工程を示す
斜視図である。 図において、 ｌ・・・・・基板、 ２・・・・・主磁極１）り、 ３ ・・・・保護膜、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・スライダ、 ５ａ・・・・エアグループ、 ５ｂ・ ・ ・ ・バッド面、 ７・・・・・巻線用コアである。 第１図 第２図 第３図
ヘッドの斜視図、 第２図（ａｌ〜（ｃｌは、第１図中に示した基板の順次
の製造工程を示す斜視図、 第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製造工程を示
す斜視図、 第４図は、第１図中に示したスライダの製造工程を示す
斜視図である。 図において、 ｌ・・・・・基板、 ２・・・・・主磁極１）り、 ３ ・・・・保護膜、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・スライダ、 ５ａ・・・・エアグループ、 ５ｂ・ ・ ・ ・バッド面、 ７・・・・・巻線用コアである。 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、 非磁性体でなる基板と、この基板の側面に形成された主
磁極膜と、この主磁極膜を被覆する保護膜と、上記基板
を上記主磁極膜が上位となるように貼設された巻線用コ
アと、この巻線用コアを接着材を介して固着するスライ
ダとを備えることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッ
ド。 - （２）基板上に主磁極膜を形成する工程と、上記主磁極
膜を所定の幅を有するストライプ状のパターンに加工す
る工程と、上記主磁極膜を被覆する保護膜を形成する工
程と、上記基板を所望の寸法となるように切断する工程
と、上記基板を上記主磁極が巻線用コア上に位置するよ
うに上記巻線用コアに貼設する工程と、スライダに巻線
用コアの両端部を接着材を介して接着する工程とを含む
ことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034117A JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| KR1019860007898A KR900004742B1 (ko) | 1986-02-19 | 1986-09-22 | 수직 자기기록용 자기헤드 및 그 제조방법 |
| US06/948,024 US4768121A (en) | 1986-02-19 | 1986-12-31 | Magnetic head formed by composite main pole film and winding core for perpendicular magnetic recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034117A JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62192016A true JPS62192016A (ja) | 1987-08-22 |
| JPH0345446B2 JPH0345446B2 (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=12405315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61034117A Granted JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4768121A (ja) |
| JP (1) | JPS62192016A (ja) |
| KR (1) | KR900004742B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01302504A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-12-06 | Seagate Technol | 垂直磁気記録システムの磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JPH02244420A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-28 | Tdk Corp | 浮動型磁気ヘッド |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5001589A (en) * | 1989-05-31 | 1991-03-19 | Seagate Technology, Inc. | Tungsten and tantalum diffusion barriers for Metal-In-Gap magnetic heads |
| US5270888A (en) * | 1992-02-21 | 1993-12-14 | Applied Magnetics Corporation | Composite slider head with reduced readback oscillation |
| WO1995010109A1 (en) * | 1993-10-07 | 1995-04-13 | Digital Equipment Corporation | Uniform fly height slider with decreased sensitivity to roll moments |
| US6416880B1 (en) * | 1993-12-09 | 2002-07-09 | Seagate Technology, Llc | Amorphous permalloy films and method of preparing the same |
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