JPS62196366A - 高透過率，低放射率物品 - Google Patents

高透過率，低放射率物品

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JPS62196366A
JPS62196366A JP61306193A JP30619386A JPS62196366A JP S62196366 A JPS62196366 A JP S62196366A JP 61306193 A JP61306193 A JP 61306193A JP 30619386 A JP30619386 A JP 30619386A JP S62196366 A JPS62196366 A JP S62196366A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、一般に金ＴｈＧｔ’化物フィルムのカソード
スパッタリングの技術に関し、ざらに特定的には金にお
よび金）ＩＡ酸化物の多層フィルムの磁気スパッタリン
グ技術に関する。
Ｇ１１ｌθｒ３’らの米ｅ％計第４．Ｑ　９４，７６５
号明細雀には、錫およびインジウムのような金属ケ、酸
素の制御された量で含有する低圧雰囲気中で、４００〒
より一龜においてガラスのような耐火性基体上にカン−
トスバッタリングするごとによる透明４を性物品の製造
が開示されている。
Ｇ１１ｌａｒｙの米国％Ｗ！＋ａＫ　４，１１３，５９
９号明細曹には、酸素の流量を調節して、一定の放電電
流？保ち、一方アルゴンの匝量を調節してスパッタリン
グ昆内に一定圧力？保つ、酸化インジウムの反応性浴増
のカソードスパッタリング技術が教示されている。
Ｃｈａｐｉｎの米Ｌｉ％許第４．１６６，０１８号明細
壱には、磁場ｔ１１層スパッタリング表面に隣接して形
成し、磁界はスパッタリング表面上の閉ループ浸食領域
上にアーチ形束蛛を含むスパッタリング装置が記載され
ている。
Ｇ１１ｌｅｒｙの米国Ｗｎｉｉ１４４．２０１，６４９
号明・細書には、まず基体の加熱前に低温において酸化
インジウムの極薄プライマ一層に浴層して、代表的に尚
いカソードスパッタリングｍｉにおいてカソードスパッ
タリングによって酸化インジウムの導電ｊ−の主厚全＃
看することによる、低抵抗酸化インジウム薄いフィルム
の製造方法が開示されている。
ＧｒＯｔｈの米国％Ｆｆ第４，６２八９６７号明細管に
は、ガラス板、ガラス表面上に・屈折率２より太を有す
る干渉フィルム、干渉フィルム上の熱反射金フィルムお
よび金フィルム上のクロム、鉄、ニッケル、ナタンまた
はごれらの合金の中和フィルムを含む、無彩色外観紮有
する熱反射パネルが開示されている。
三宅らの米国特許第４，３４９．４２５号明細曹には、
低電気抵抗率および高元学透明性を有するカドミウム−
酸化錫フィルム七形成する、アルゴン−酸素混合物中の
カドミウム−錫合金の直流反応性スパッタリングが開示
されている。
１（ａｒｔの米ＩＮ％、ｉ’ｌ・ｉ　４．４６２，８８
３号明細１には、銀、銀以外の金板の少ｉおよび金属酸
化物の反射防止層の層ｔガラスのような透明基体上にカ
ン−トスバッタリングするごとによって製造された低放
射率？Ｊ［が開示されている。反射防止層は、酸化錫、
ν化ナタン、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化ビスマス
または酸化ジルコニウムであってもよい。
Ｍａｕｅｒ　（１）再発行特許第２７，４７３号明細１
．には、洩々の金ｈ１歌化チタン、酸化鉛ぽたは紋化ビ
スマスのような透明材料の２層の間にはさ１れた金１だ
は鋼の薄層を含む多層透明物品が開示されている。
二ｌガラス窓ユニットのエネルギー効率の向上のために
、放射伝熱ｈｇ少することによってユニットの絶縁性能
全増大するガラス表面の１面上に被覆を与えるのが望ま
しい。従って被覆は放射線スペクトルの赤外腺波長範囲
において低放射率を有しなけれはならない。実用的理由
から、被覆は可視波長範囲内の茜透過率を有しなければ
ならない。美的理由から、被１！ｉは低視感反射率を有
しなけれはならす、セして重責的に無色であるのが好ま
しい。
前記のように、高透過率、低放射率被覆は、一般に可視
反射率孕減少させる金ｐＡ咳化物の誘電体層の間にはさ
１れている、赤外線反射率および低放射塞用の金属薄層
上官Ｌ０これらの多層フィルムは、代表的には、カン−
トスバッタリング、特にマグネトロンスパッタリングに
よって製造される。金８４は金または銅であってもよい
が、しかし一般に銀である。先行技術にＭｅ載された金
属酸化物層としては、酸化錫、酸化インジウム、Ｍ化チ
タン、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムおよ
び酸化鉛がある。ある場合は、これらの酸化物は、酸化
ビスマス中のマンガン、岐化錫中のインジウムおよびご
の逆のような他金鵬の少量を混入して、耐久性不良また
は周辺放射のような若干の欠点全克服する。しかしなが
ら、これらの金属酸化物は丁べて若干の欠陥で有する。
被覆は、使用時に二重ガラス窓ユニットの内部表面上に
保持でき、ごこで被覆は、その劣化奮起こす賛累および
環境物佃から保護されるが、取り扱い、包装洗浄および
製造と装置間に当面する他の製造プロセスに耐え得る耐
久性有効被覆は特に蹟マしい。これらの性３Ｉｌは、金
属酸化物に求められる。しかしながら、ｅ械的耐久性會
与える硬さ、化学的耐久性を与える不活性およびガラス
と金属層の両者に対する良好な接着の他に、釡属酸化物
は同様に下記の性質を有しなけれはならない。
金ｊｆ％酸化物は、適度の高屈折率、好ましくは２．０
より大？有して、金属ＩＶ！の反射ｒ減少し、従って被
覆製品の透過率を増進しなければならない。
また、金ｐＩ４＃Ｉｌ化物は最小吸収含有し、被覆製品
の透過率を最大にしなけれはならない。商業的理由から
、金Ｊｋ４酸化物は適度の価格で、マグネトロンスパッ
タリングによって比較的迅速な溶着速度を有し、しかも
無害でなければならない。
多分、最もＭ要であり、しかも満足するのが最も困難な
、金属酸化物フィルムの必要条件は、そのフィルムの金
属フィルムとの相互作用に関する。
金属酸化物フィルムは、下にある金属フィルム會外部物
質から保護する低多孔度および金属が別層の結着性を保
持する低拡散率會有しなければならない。最後に、しか
も就中、連続金属フィルムが最小抵抗および最大透過率
を有して溶着できるように、金属酸化物は金属層の溶着
用の良好な核生成表面を与えなければならない。連続お
よび不連続銀フィルムの特性は、その開示が参照するこ
とにより本明細齋に組み人ｎら詐る、Ｇ１１ｌｅｒｙら
の米国特許第４，４６２，８８４号明細★に記Ｖされて
いる。
一般的用途において金属酸化物多層フィルムの中、酸化
亜鉛および酸化ビスマスを含むものは耐久性が不十分で
あり、これらの酸化物は酸およびアルカリ薬剤の両者に
可苗性であり、多層フィルムは指紋によって分解し、し
かも塩、二酸化硫黄および湿度試験において破壊される
。酸化インジウム、好ましくは錫？用いてドーピング処
理された酸化インジウムは一層耐久性であり、しかも下
にある金属層上一層保護できる。しかしながら、インジ
ウムに徐々にスパッターリングし、しかも比較的高価で
ある。インジウムまたはアンチモンを用いてドーピング
処理できる酸化錫はまた一層耐久性であり、しかも下に
ある金属層を一層保護できるが銀フィルムの核生成に適
当な表面で与えず、高抵抗および低透過率が生じる。後
に溶着した銀フィルムの適切な核生成ケ生じる金属酸化
物フィルムの特性は確立されていない。しかしながら試
行錯誤実験は、前記の金Ｍ酸化’ｍ’ｒ用いて広〈実施
されている。
その開示が参照することによジ本明ａ曹に組みいれられ
るＦ、Ｈ，Ｇ１１ｌｅｒｙによる１９８４年１０月２９
日付米国特許出願第６６５，６８０号明細膏には、金属
合金の酸化物の新規なフィルム組成および高透過率、低
放射率被ｌｌとして使用する金属および金属合金酸化物
層の衝動、な多層フィルムが提供されている。
発明の要約 本発明は、酸化チタンのような特に耐薬品性材料の外部
保護ｊ−を与えることによって多層フィルム、竹に金属
および（または）金属合金酸化ｖｐＪ層および銀のよう
な会桐層上官Ｃ多層フィルムの耐久性を向上する。
好ましい態様の詳細な記載 好ましくは９ｍ！ｆｃは金属合金の酸化物？含むフィル
ム組成物は、カン−トスバッタリング、好ましくはマグ
ネトロンスパッタリングによって溶着されるのが好ヱし
い。啜１れる余積または金部合金元素を含むカンードタ
ーデットで装造する。
次いで、基体の表面に金属または金属合金鹸化物フィル
ムで溶着するために、好ましくは酸素全含有する反り性
雰囲気においてスパッターリングする。
本発明による好ましい金属合金酸化物は、亜鉛オ６よび
錫ｒ宮む分会の酸化物である。亜鉛／錫合全酸化物フィ
ルムは、好１しくに磁気的に増進されたカソードスパッ
タリングによって、本発明により溶着できる。またカン
−トスバッタリングは、本発明による高透過率、低放射
率フィルムの好ましい溶着方法である。このようなフィ
ルムは、代表的に多層、好ヱしくに酸化インジウムヱた
は酸化チタンあるいは好１しくは錫酸亜鉛を好１しく含
む亜鉛および錫の合金の酸化物のような反射防止金属酸
化物層の闇にはさまれた金または銀のような高反射金属
の層を宮む。
本発明による好ましい高透過率、低放射率多層フィルム
を製造するために、種々の金属合金ｔスパッターリング
して金属合金酸化物フィルムを形成できるが、錫および
亜鉛の合金が好ヱしい。時に好ましい合金は、亜鉛およ
び＊ｙｔ、好ヱしくに亜鉛１０％〜９０％および錫９０
％〜１０％の割付で宮Ｌ０好ましい亜鉛／錫合金は亜鉛
′５０％〜６０％、好ましくは亜鉛／錫比４１Ｊ　：　
６０〜６０：４０會有する範囲にある。最も好ましい範
囲は、錫対亜鉛４６：５４〜５０　：　５０鵞にである
。酸化雰囲気中において反応的にスパッターリングされ
た亜鉛／錫合金のカソードは、亜鉛、錫および酸素７１
−宮Ｃ１好ましくは錫酸亜鉛、Ｚｎ２５ｎＯ，ｋ　宮Ｃ
金属酸化物層の溶着が生じる。
従来のマグネトロンスパンｐ　ＩＪング処理においては
、スパッターリングさｔ］る材料のターゲット表面？！
−有するカソードと対向関係の液浸室内に基体を配置す
る。本発明による好ましい基体としては、′ｗｔ覆処塩
処理作条件によって有害な彰書會受けないガラス、セラ
ミックスおよびプラスチックスがある。
カソードは、任意の従来の設計、好ましくはｔ位源に接
Ｍされ、好ましくはスパン、タリング処理ヶ増進するた
めに磁昇と組み合せて用いられる延びた長方形設計のも
のであってもよい。少なくとも１個のカンードターケ１
ット衣面は、反応性雰囲気中においてスパッターされて
金属合金絃化物フィルムを形成する亜鉛／錫のような金
属合金？含４．４７８，７０２号明細査に教示された対
称に設計され、かつ配置された集成体が好ヱしい。
本発明の好ましい態様において、多層フィルムは、カソ
ードスパッタリングによって浴５Ｉｉされて、高透過率
、低放射率被覆を形成する。金属合金ターゲットに加え
て、少なくとも１個の他のカソードターゲット表面は、
スパッターリングされて反射金九層會形成する金属ｋｉ
ｄ、少なくとも１個の追加カソードターゲット表面は、
プライマ一層として溶着される金属を合釘。反射防止金
−合金酸化物フィルムと組み合せて反射金属フィルムを
有する耐久性多層被覆は、金属フィルムと金Ｎｒ４酸化
吻フィルムとの間の接着？向上するプライマ一層全用い
て、下記のように製造される。
清浄なガラス基体ｔ１好ｆしくはｉ　（］−４ｔｏｒｒ
未満、一層好ましくは２×１０″″ｓ　ｔｏｒｒ禾溝に
真空化された被覆層に配置する。不活性気体および反り
性気体、好ヱしくにアルゴンおよびば累の選ばれた雰囲
気ｔ１血中において圧力約５　Ｘ　１０−’ｔｏｒｒ〜
１０′″にｔｏｒｒに確立する。亜鉛／錫金稙合金のタ
ーゲット表面を有するカンードｔ１被覆される基体の表
面上で操作する。ターゲット金Ｊｔ１４にスパッターリ
ングし、室内の雰囲気と反応して、ガラス基体上に亜鉛
／錫合金酸化物被覆層で溶着する。
亜鉛／錫合金酸化物の初期層７ａ−溶着した後、被覆室
を真空化し、次いで純アルゴンのような不活性雰囲気を
圧力約５　×１Ｑ−４ｔｏｒｒ　％　１Ｑ−”　ｔｏｒ
ｒにおいて確立する。銅のような金属のターデッド表面
を有するカソードスパッタリングして、亜鉛／錫合金酸
化物層上にプライマ一層を溶着する。次いで銀のターゲ
ット表面を有するカソードスパッタリングして、銀フィ
ルムの、下にある金朧飲化物フィルムに対する接層を向
上さセるプライマ一層上に金属銀の反射層を溶着する。
次いで、反射Ｓ層上に銅のような金ｋｋスパッタリング
することによって追加プライマー鳩？溶着して、銀フィ
ルムと、後に溶着され、上に存在する金属酸化物フィル
ムとの間の接着？向上させる。
最後に、亜鉛／錫合金酸化物の第２ｌ−ｔ１第２プライ
マ一層上に、第１の亜鉛／錫合金酸化物層の溶着に用い
たと本質的に同じ条件下に溶着する。
本発明の最も好ましい態様においては、保６オーバーコ
ー）ｋ最終金屑酸化物フィルム上に溶着する。保護オー
バーコートは、Ｇ１１ｌＪｒｊらによる、１９８３年９
月９日付木国４’１ｌｔｌａ第５３０．５７０号明細畳
に開示されたような金属の層上、金属酸化物フィルム上
にスパッタリングすることによって溶着されるのが好ま
しい。保護オーバーコートの好ましい金属としては、ス
テンレス鋼またはインコネルのような鉄ｆたはニッケル
の合金がある。
チタンは、その高透過率の故に最も好ましいオーバーコ
ートである。
本発明により、多層フィルムの耐薬品性は、酸化チタン
’ｋｔｆＪ保護被覆會多層フィルム上に溶着することに
よって最も向上する。好１しくに、酸化チタン保護被覆
は、比較的高溶着速度および低圧、好１しくは約５ミリ
トルにおいてカソードスパッタリングすることによって
溶着される。＃に化チタンを宮む保護被覆は、酸素の十
分な雰囲気中においでチタンをスパッタリングして醇化
チタンを直接俗情することによって形成でざる。本発明
の別の頭株においては、酸化チタンを含む保護被覆は、
不活性芥囲気中においてチタンｔスパッタリングしてチ
タン含有フィルムｒｔ＊着し、このチタン含有フィルム
を次いで至気のような酸化雰囲気にさらすことによって
酸化チタンに酸化するごとにより形成できる。
本発明は、下記の特別の例の記載からさらに理解される
。例において、亜鉛／錫合金酢化物フィルムは錫酸亜鉛
と呼ぶが、フィルム組成は正確にｚｎ２ｓｎ０４である
必要はない。
例 ソーダ石灰シリカガラス基体上に多Ｉ−フィルムｔ−溶
着して、高透過率、低放射率破覆生成物會製造する。５
インチＸ１フインチ（１２，７ｃｍ　Ｘ　４３−２ｃｒ
Ｉｔ）の固定カソードは、亜鉛５２．４ｉｋｉ％および
錫４７．６″Ｍｔｈ１［％からなる亜鉛／錫合金のヌパ
ツタリング表面で含む。真空化して、アルボフッＭ素５
０１５０の雰囲気において圧力４ミリトル七確立する被
覆室にソーダ石灰シリカガラス基体全配置する。カンー
ド會、電力１．７ｋＷにおいて磁界中でスパッターリン
グしたが、一方ガラス七速度１１０インチ（２，８ｍ　
）　／分においてスパッタリング夛面上を通過して搬送
する。錫酸亜鉛のフィルム上１ガラス基体上に溶着する
＠６バスによって、フィルム厚約５４０オングストロー
ムを生ｇしく透過率がガラス基体についての９０％から
錫酸亜鉛被覆ガラス基体についての８５％に減少する。
次に銅ターゲツトを有する固定カソードスパッタリング
して錫緻亜船上に銅プライマ一層會生成し、透過率を約
８０．６　’Ｊ６に減少する。次に、アルゴンガスの雰
囲気中で圧力４ミリトルにおいて銀カンードターケ９ッ
トｒスパッタリングすることによって、銅ゾライマ一層
上に銀層ｒａｗする。
銀カンードターゲット下？同じ速度で通過する基体に用
いて、フィルム厚約９０オングストロームに相当する銀
１０ミクログラム／αにの溶着に２パスが必要であり、
被ｔｊｆ基体の透過率が約７０．６％に減少する。銀層
上に第２の銅プライマ一層をスパッターリングして、錫
酸亜鉛の最終反射防止層を溶着する前に、接Ｗｋ向上さ
せ、かつ銀層を保護する。銅プライマ一層は透過率上減
少させるので、その厚さはできるだけ小さいのが好まし
い。
銅プライマ一層は、アルゴン中で圧力４ミリトルにおい
て最小電力で銅ターゲツトにスパッタリングすることに
よって溶着される。試料の透過率は、第２鋼グライマ一
層のＭ着後、６８．６％に減少する０次に、亜鉛／錫合
金カンードターゲットｔ１酸化雰曲気中においてスパッ
ターリングして錫酸亜鉛フィルムを生成する。速度１１
０インチ（２，８ｍ）／分における４パスによって、フ
ィルム厚約４６０オングストロームを生成し、被覆生成
物の透過率が６８．３％から８３．２％に増大する。
多層液ｉは、被覆面からの視覚反射率５％およびガラス
の非被覆面からの視覚反射玉６％と共に表面抵抗１０オ
ーム／平方および両面から僅かに青味′ｔ−帯びた反射
率に有する。最後に圧力６ミリトルにおいてアルゴンと
酸素の等容を含む雰囲気中で１０ｋＷにおいて５インチ
×１フインテ（１２，７３Ｘ　４５．２ｃｒｌＬ　）の
固定チタンカソードｔスパッタＩＪングする。基体の速
度１１０インチ（２，８ｍ＞７分における２パスは、厚
さ約１５オングストローム〜２０オングストロームの酸
化チタンの保護被覆の溶着に十分である。酸化チタンの
保護被覆は、多層被覆の抵抗および反射率の性質に著し
く影響セず、そして透過率全豹１％より多くは変化さ雀
ない。
本発明のプライマー１―の結果として、金属フィルムと
金に４酸化物フイルムとの間のすぐれた接着から生じた
被覆物品の丁ぐれた針久性扛、被覆表面を湿布ｔもって
拭うことからなる簡単な琴耗試験によって容易に示され
る。本発明によるプライマ一層のない、錫酸亜鉛／銀／
錫酸亜鉛會用いて被覆された表面は、湿布の数回のパス
後の反射率が約６係から約１８係に増大し、上層錫酸亜
鉛および下にある銀フィルムの両者の除去が分かる。
対照的に、湿布ｔもって長時間激しく華俸するごとによ
って、本発明のプライマ一層を含む錫酸亜鉛／′Ｍ／銀
／銅／錫酸亜鉛Ｍ覆物品に明白な変化は生じない。
好ましい酸化チタン保護液８１は、厚さ約１Ｄオングス
トローム〜５０オングストロームの範囲内に有する。ｊ
豊さ約２０オングストロームのＭ　化ｆタン保護液ｔｊ
Ｅ’に用いて、この例による多層被覆の耐久性は、環境
臨度において、２ｉ／２％塩亀液中で２時間から２２時
間に増大し、そして１５０″Ｆ（約６６°Ｃ）において
説イオン水′（＋−言有するＱ−パネルクーリーブラン
ド凝締試験機モデルＱ、ＣＴ　−ＡＤＯ＠用いて行なわ
れたクリーブランド湿度試験において５時間から１週間
に増大する。
前記の例は、本発明を具体的に説明するために与えられ
る。生成物および方法の種々の修正が含まれる。例えば
、他の被覆組成物は、本発明の範囲内である。亜鉛／錫
合金ｔスパッターリングする場合、亜鉛と錫の割合によ
り、被覆は、錫酸亜鉛に加えて、酸化亜鉛と酸化錫の広
く変化する量を含有し得る。撞々の金橋フィルムと金Ｊ
ｆ４酸化物フィルムとの間の接着に、本発明によるプラ
イマ一層によって向上する。処理には、非常な高臨を費
しない故に、鴇々のプラスチックスのようなガラス以外
の基体が被覆されるごとができる。固定基体と共に走査
カンードを使用できる。気体の圧力および一度のような
処理パラメーターは、広範囲に変化し得る。プライマ一
層は、インジウムのような他の金属または酸化鋼あるい
は酸化インジウムのような酸化物を含み得る。他の化学
抵抗材料の保護′ｖｔ覆は、金属または酸化物状態で溶
着できる。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規
定される。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）（ａ）透明非金属基体、 （ｂ）前記基体の表面上に溶着された金属酸化物を含む
    第１の透明反射防止フィルム、 （ｃ）前記第１の反射防止金属酸化物フィルムのあとに
    溶着された透明赤外線反射金属フィルム、 （ｄ）前記赤外線反射金属フィルムのあとに溶着された
    金属酸化物を含む第２の透明反射防止フィルム および （ｅ）前記第２の反射防止金属酸化物フィルムのあとに
    溶着された保護金属酸化物オーバーコート を含むことを特徴とする、高透過率低放射率物品。
  2. （２）基体がガラスである、特許請求の範囲第１項に記
    載の物品。
  3. （３）反射金属フィルムが銀である、特許請求の範囲第
    ２項に記載の物品。
  4. （４）金属酸化物が亜鉛および錫を含む合金の酸化物反
    応生成物である、特許請求の範囲第３項に記載の物品。
  5. （５）金属合金の酸化物反応生成物を含む透明フィルム
    が錫酸亜鉛を含む、特許請求の範囲第４項に記載の物品
    。
  6. （６）反射金属フィルムと透明金属酸化物反射防止フィ
    ルムとの間に溶着され、銅、インジウムおよびこれらの
    酸化物からなる群から選ばれたプライマーフィルムをさ
    らに含む、特許請求の範囲第１項に記載の物品。
  7. （７）プライマーフィルムが銅を含む、特許請求の範囲
    第６項に記載の物品。
  8. （８）保護金属酸化物オーバーコートが酸化チタンを含
    む、特許請求の範囲第１項に記載の物品。
  9. （９）酸化チタンオーバーコートの厚さが約１０オング
    ストローム〜５０オングストロームである、特許請求の
    範囲第８項に記載の物品。
  10. （１０）酸化チタンオーバーコートの厚さが約１５オン
    グストローム〜２０オングストロームである、特許請求
    の範囲第９項に記載の物品。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01301537A (ja) * 1988-04-01 1989-12-05 Ppg Ind Inc 高透過性低放射性物品及びその製法
JPH01317136A (ja) * 1988-04-04 1989-12-21 Ppg Ind Inc 高透過性及び低放射性を有する物品及びその製造方法
JPH029731A (ja) * 1988-04-01 1990-01-12 Ppg Ind Inc 灰色高透過性低放射性物品及びその製法
JP2020510596A (ja) * 2017-03-01 2020-04-09 ガーディアン・グラス・エルエルシーＧｕａｒｄｉａｎ Ｇｌａｓｓ， Ｌｌｃ 銀系赤外線（ＩＲ）反射層を保護するための銀ドープ保護層を有する（低放射率）ｌｏｗ−Ｅコーティングを有するコーティングされた物品、及びその製造方法

Families Citing this family (142)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786563A (en) * 1985-12-23 1988-11-22 Ppg Industries, Inc. Protective coating for low emissivity coated articles
JPH0832436B2 (ja) * 1986-11-27 1996-03-29 旭硝子株式会社 透明導電性積層体
US4859532A (en) * 1986-11-27 1989-08-22 Asahi Glass Company Ltd. Transparent laminated product
US5059295A (en) * 1986-12-29 1991-10-22 Ppg Industries, Inc. Method of making low emissivity window
US5270517A (en) * 1986-12-29 1993-12-14 Ppg Industries, Inc. Method for fabricating an electrically heatable coated transparency
CA1331867C (en) * 1986-12-29 1994-09-06 James Joseph Finley Low emissivity film for high temperature processing
DE3716860A1 (de) * 1987-03-13 1988-09-22 Flachglas Ag Verfahren zum herstellen einer vorgespannten und/oder gebogenen glasscheibe mit silberschicht, danach hergestellte glasscheibe sowie deren verwendung
US5178966A (en) * 1987-03-26 1993-01-12 Ppg Industries, Inc. Composite with sputtered films of bismuth/tin oxide
US4938857A (en) * 1987-03-26 1990-07-03 Ppg Industries, Inc. Method for making colored metal alloy/oxynitride coatings
US4806221A (en) * 1987-03-26 1989-02-21 Ppg Industries, Inc. Sputtered films of bismuth/tin oxide
US4883721A (en) * 1987-07-24 1989-11-28 Guardian Industries Corporation Multi-layer low emissivity thin film coating
US5318685A (en) * 1987-08-18 1994-06-07 Cardinal Ig Company Method of making metal oxide films having barrier properties
US4861680A (en) * 1988-02-11 1989-08-29 Southwall Technologies Bronze-grey glazing film and window made therefrom
DE3806124A1 (de) * 1988-02-26 1989-09-07 Leybold Ag Verfahren zum herstellen von scheiben aus mineralglas mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit niedriger sonnenenergietransmission sowie durch das verfahren hergestellte scheiben
US4902580A (en) * 1988-04-01 1990-02-20 Ppg Industries, Inc. Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides
US5902505A (en) * 1988-04-04 1999-05-11 Ppg Industries, Inc. Heat load reduction windshield
AU633263B2 (en) * 1988-07-25 1993-01-28 Libbey-Owens-Ford Co. Sputtered multi-layer color compatible solar control coating
US5308706A (en) * 1988-07-27 1994-05-03 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Heat reflecting sandwich plate
US5112693A (en) * 1988-10-03 1992-05-12 Ppg Industries, Inc. Low reflectance, highly saturated colored coating for monolithic glazing
GB8900165D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
GB8900166D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
US6274244B1 (en) * 1991-11-29 2001-08-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Multilayer heat processable vacuum coatings with metallic properties
TW219953B (ja) * 1991-09-30 1994-02-01 Ppg Industries Inc
US5705278A (en) * 1991-09-30 1998-01-06 Ppg Industries, Inc. Heat processable metallic vacuum coatings
DE4135701C2 (de) * 1991-10-30 1995-09-28 Leybold Ag Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung
US6793781B2 (en) 1991-11-29 2004-09-21 Ppg Industries Ohio, Inc. Cathode targets of silicon and transition metal
US5709938A (en) * 1991-11-29 1998-01-20 Ppg Industries, Inc. Cathode targets of silicon and transition metal
US5302449A (en) 1992-03-27 1994-04-12 Cardinal Ig Company High transmittance, low emissivity coatings for substrates
US5296302A (en) * 1992-03-27 1994-03-22 Cardinal Ig Company Abrasion-resistant overcoat for coated substrates
US5344718A (en) * 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass
US5589280A (en) * 1993-02-05 1996-12-31 Southwall Technologies Inc. Metal on plastic films with adhesion-promoting layer
US5965278A (en) * 1993-04-02 1999-10-12 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making cathode targets comprising silicon
US5376455A (en) * 1993-10-05 1994-12-27 Guardian Industries Corp. Heat-treatment convertible coated glass and method of converting same
DE4336321A1 (de) * 1993-10-25 1995-04-27 Ver Glaswerke Gmbh Beschußhemmende Panzerglasscheibe für Kraftfahrzeuge
DE69428253T2 (de) 1993-11-12 2002-06-27 Ppg Industries Ohio, Inc. Haltbare Sputterschicht aus Metalloxid
FR2719037B1 (fr) * 1994-04-26 1996-05-15 Thomson Tubes Electroniques Procédé de dépôt d'un revêtement conducteur sur un substrat de verre.
US6673438B1 (en) * 1994-05-03 2004-01-06 Cardinal Cg Company Transparent article having protective silicon nitride film
US5514476A (en) * 1994-12-15 1996-05-07 Guardian Industries Corp. Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom
GB9500333D0 (en) * 1995-01-09 1995-03-01 Pilkington Plc Coatings on glass
GB9500330D0 (en) * 1995-01-09 1995-03-01 Pilkington Plc Coatings on glass
US5557462A (en) * 1995-01-17 1996-09-17 Guardian Industries Corp. Dual silver layer Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom
US5770321A (en) * 1995-11-02 1998-06-23 Guardian Industries Corp. Neutral, high visible, durable low-e glass coating system and insulating glass units made therefrom
MX9605168A (es) * 1995-11-02 1997-08-30 Guardian Industries Sistema de recubrimiento con vidrio de baja emisividad, durable, de alto funcionamiento, neutro, unidades de vidrio aislante elaboradas a partir del mismo, y metodos para la fabricacion de los mismos.
US5821001A (en) 1996-04-25 1998-10-13 Ppg Industries, Inc. Coated articles
US5942338A (en) * 1996-04-25 1999-08-24 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated articles
US5851679A (en) * 1996-12-17 1998-12-22 General Electric Company Multilayer dielectric stack coated part for contact with combustion gases
US20030039843A1 (en) * 1997-03-14 2003-02-27 Christopher Johnson Photoactive coating, coated article, and method of making same
US20020155299A1 (en) 1997-03-14 2002-10-24 Harris Caroline S. Photo-induced hydrophilic article and method of making same
US7096692B2 (en) 1997-03-14 2006-08-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Visible-light-responsive photoactive coating, coated article, and method of making same
US20050096288A1 (en) * 1997-06-13 2005-05-05 Aragene, Inc. Lipoproteins as nucleic acid vectors
US6495251B1 (en) 1997-06-20 2002-12-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon oxynitride protective coatings
US6132881A (en) * 1997-09-16 2000-10-17 Guardian Industries Corp. High light transmission, low-E sputter coated layer systems and insulated glass units made therefrom
US6007901A (en) * 1997-12-04 1999-12-28 Cpfilms, Inc. Heat reflecting fenestration products with color corrective and corrosion protective layers
ES2226085T5 (es) 1997-12-11 2008-03-16 Saint-Gobain Glass France Sustrato transparente provisto de capas delgadas con propiedades de reflexion en el infrarrojo.
US6514621B1 (en) * 1997-12-24 2003-02-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Patterned coated articles and methods for producing the same
EP0939062A1 (de) * 1998-02-26 1999-09-01 Glas Trösch Holding AG Optisch transparenter Gegenstand, insbesondere Fenstereinheit, mit einem mehrschichtigen beschichtungsensemble sowie Verfaheren zu dessen Herstellung
DE19848751C1 (de) 1998-10-22 1999-12-16 Ver Glaswerke Gmbh Schichtsystem für transparente Substrate
US6398925B1 (en) * 1998-12-18 2002-06-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods and apparatus for producing silver based low emissivity coatings without the use of metal primer layers and articles produced thereby
CZ20012219A3 (cs) 1998-12-18 2002-02-13 Glaverbel Zasklívací tabule a způsob její výroby
US6610410B2 (en) 1998-12-18 2003-08-26 Asahi Glass Company, Limited Glazing panel
US6797388B1 (en) 1999-03-18 2004-09-28 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby
CN1095367C (zh) * 1999-04-16 2002-12-04 武汉田田金龙药业有限责任公司 一种酶水解法制备液体阿胶的方法
US6582799B1 (en) 1999-06-02 2003-06-24 Ppg Industries Ohio, Inc. Laminated transparency
US6849328B1 (en) 1999-07-02 2005-02-01 Ppg Industries Ohio, Inc. Light-transmitting and/or coated article with removable protective coating and methods of making the same
US20070036989A1 (en) * 1999-11-24 2007-02-15 Ppg Industries Ohio, Inc. Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles
AU1625701A (en) 1999-11-24 2001-06-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles
US20020136905A1 (en) * 1999-11-24 2002-09-26 Medwick Paul A. Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles
JP3477148B2 (ja) * 1999-12-02 2003-12-10 カーディナル・シージー・カンパニー 耐曇り性透明フィルム積層体
US7361404B2 (en) 2000-05-10 2008-04-22 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated article with removable protective coating and related methods
US7323249B2 (en) * 2000-08-31 2008-01-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby
US6677063B2 (en) 2000-08-31 2004-01-13 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby
US7311961B2 (en) * 2000-10-24 2007-12-25 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making coated articles and coated articles made thereby
US6869644B2 (en) * 2000-10-24 2005-03-22 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making coated articles and coated articles made thereby
US20020172775A1 (en) * 2000-10-24 2002-11-21 Harry Buhay Method of making coated articles and coated articles made thereby
DE10063180A1 (de) * 2000-12-18 2002-06-27 Bayer Ag Vorrichtung zur Erzeugung von Lichtsignalen
US20020120916A1 (en) * 2001-01-16 2002-08-29 Snider Albert Monroe Head-up display system utilizing fluorescent material
CN1501892A (zh) * 2001-03-20 2004-06-02 PPG��ҵ����˾ 形成压花和/或花纹玻璃的方法和设备及由其形成的玻璃制品
DE10115196A1 (de) * 2001-03-27 2002-10-17 Pilkington Deutschland Ag Glasscheibe als Vorprodukt für eine thermisch vorgespannte und/oder gebogene Glasscheibe mit Sonnenschutz- und/oder Low-E-Beschichtung
US20030049464A1 (en) 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6942923B2 (en) 2001-12-21 2005-09-13 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
US7232615B2 (en) * 2001-10-22 2007-06-19 Ppg Industries Ohio, Inc. Coating stack comprising a layer of barrier coating
US6730389B2 (en) 2001-10-25 2004-05-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated substrate having a frequency selective surface
US6589658B1 (en) 2001-11-29 2003-07-08 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US6586102B1 (en) 2001-11-30 2003-07-01 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US6830817B2 (en) * 2001-12-21 2004-12-14 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
US6770321B2 (en) 2002-01-25 2004-08-03 Afg Industries, Inc. Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings
JP4949609B2 (ja) * 2002-02-11 2012-06-13 ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド 日射コントロール被覆
AU2003225135A1 (en) * 2002-04-25 2003-11-11 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making coated articles having an oxygen barrier coating and coated articles made thereby
WO2003091471A2 (en) * 2002-04-25 2003-11-06 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated articles having a protective coating and cathode targets for making the coated articles
US7588829B2 (en) * 2002-05-31 2009-09-15 Ppg Industries Ohio, Inc. Article having an aesthetic coating
KR20040015833A (ko) * 2002-08-13 2004-02-21 정용석 물받이 기능을 구비한 우산
US20040112411A1 (en) * 2002-09-10 2004-06-17 Boykin Cheri M. Method and apparatus for cleaning a photoactive and/or hydrophilic surface
AU2003275273A1 (en) * 2002-09-27 2004-04-19 Ppg Industries Ohio, Inc. Apparatus and method for producing float glass having reduced defect density
KR20050084671A (ko) * 2002-11-05 2005-08-26 엔.브이. 베카에르트 에스.에이. 적외선 반사층 구조
US6811884B2 (en) * 2002-12-24 2004-11-02 Ppg Industries Ohio, Inc. Water repellant surface treatment and treated articles
CN1777690B (zh) * 2003-03-28 2010-11-03 Ppg工业俄亥俄公司 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材
US20040202890A1 (en) 2003-04-08 2004-10-14 Kutilek Luke A. Methods of making crystalline titania coatings
FR2856627B1 (fr) 2003-06-26 2006-08-11 Saint Gobain Substrat transparent muni d'un revetement avec proprietes de resistance mecanique
US20050208319A1 (en) * 2004-03-22 2005-09-22 Finley James J Methods for forming an electrodeposited coating over a coated substrate and articles made thereby
US9051211B2 (en) * 2004-04-27 2015-06-09 Ppg Industries Ohio, Inc. Effects of methods of manufacturing sputtering targets on characteristics of coatings
US20050238923A1 (en) * 2004-04-27 2005-10-27 Thiel James P Hybrid coating stack
US20060029754A1 (en) * 2004-08-05 2006-02-09 Medwick Paul A Coated substrate with improved solar control properties
US7947373B2 (en) * 2004-10-14 2011-05-24 Pittsburgh Glass Works, Llc High luminance coated glass
US7223940B2 (en) * 2005-02-22 2007-05-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Heatable windshield
EP1866151B1 (en) * 2005-03-31 2010-03-10 Cardinal CG Company Haze-resistant low-emissivity coatings
US7771858B2 (en) * 2005-07-12 2010-08-10 Gm Global Technology Operations, Inc. Coated steel bipolar plates
US7335421B2 (en) * 2005-07-20 2008-02-26 Ppg Industries Ohio, Inc. Heatable windshield
SE530464C2 (sv) * 2005-08-02 2008-06-17 Sunstrip Ab Nickel-aluminiumoxid-belagd solabsorbator
KR101211747B1 (ko) * 2005-09-22 2012-12-12 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 산화물 재료 및 스퍼터링 타겟
US7601486B2 (en) * 2005-12-15 2009-10-13 Texas Instruments Incorporated Ultra dark polymer
PT1979677E (pt) * 2006-01-27 2013-01-07 Fosbel Intellectual Ltd Melhorias de longevidade e desempenho de pontas de tocha
JP4552950B2 (ja) 2006-03-15 2010-09-29 住友金属鉱山株式会社 ターゲット用酸化物焼結体、その製造方法、それを用いた透明導電膜の製造方法、及び得られる透明導電膜
CN100595172C (zh) * 2006-10-19 2010-03-24 林嘉宏 可钢化低辐射镀膜玻璃及其生产方法
US20080280147A1 (en) * 2007-05-09 2008-11-13 Thiel James P Vehicle transparency
US8686319B2 (en) * 2007-05-09 2014-04-01 Ppg Industries Ohio, Inc. Vehicle transparency heated with alternating current
US8658289B2 (en) * 2007-11-16 2014-02-25 Ppg Industries Ohio, Inc. Electromagnetic radiation shielding device
US8085460B2 (en) * 2008-08-28 2011-12-27 Ppg Industries Ohio, Inc Electrochromic device
US8049949B2 (en) * 2008-08-29 2011-11-01 Ppg Industries Ohio, Inc. Multi-layer electrode for high contrast electrochromic devices
US7907322B2 (en) * 2008-10-23 2011-03-15 Ppg Industries Ohio, Inc. Electrochromic device
DK2429965T3 (da) 2009-05-08 2020-09-28 Vitro Flat Glass Llc Solstyringsbelægning med høj solvarmeindvindingskoefficient
RU2517491C2 (ru) * 2009-06-12 2014-05-27 Ппг Индастриз Огайо, Инк. Авиационное остекление, обладающее солнцезащитными свойствами
EP2457413B1 (en) 2009-07-21 2018-03-28 PPG Industries Ohio, Inc. Enhanced bus bar system for aircraft transparencies
JP5389616B2 (ja) * 2009-11-18 2014-01-15 日東電工株式会社 赤外線反射基板
US10654748B2 (en) 2010-03-29 2020-05-19 Vitro Flat Glass Llc Solar control coatings providing increased absorption or tint
US9932267B2 (en) 2010-03-29 2018-04-03 Vitro, S.A.B. De C.V. Solar control coatings with discontinuous metal layer
US10654747B2 (en) 2010-03-29 2020-05-19 Vitro Flat Glass Llc Solar control coatings with subcritical copper
JP5912642B2 (ja) * 2012-02-20 2016-04-27 日本電気硝子株式会社 ガラス板の搬送装置及びその搬送方法
US20140113120A1 (en) 2012-10-19 2014-04-24 Ppg Industries Ohio, Inc. Anti-color banding topcoat for coated articles
JP6000991B2 (ja) 2013-01-31 2016-10-05 日東電工株式会社 赤外線反射フィルム
EP4324797A3 (en) * 2013-03-12 2024-07-24 Vitro Flat Glass LLC Solar control coatings providing increased absorption or tint
JP5859476B2 (ja) 2013-04-11 2016-02-10 日東電工株式会社 赤外線反射フィルム
DE102013104702B4 (de) 2013-05-07 2014-12-11 Schott Ag Beschichtete Glaskeramikplatte
JP6423198B2 (ja) 2014-08-05 2018-11-14 日東電工株式会社 赤外線反射フィルム
US20190043640A1 (en) 2017-08-04 2019-02-07 Vitro Flat Glass, LLC Protective Layer Over a Functional Coating
US10650935B2 (en) 2017-08-04 2020-05-12 Vitro Flat Glass Llc Transparent conductive oxide having an embedded film
US20190040523A1 (en) 2017-08-04 2019-02-07 Vitro Flat Glass, LLC Method of Decreasing Sheet Resistance in an Article Coated with a Transparent Conductive Oxide
KR102711802B1 (ko) 2018-02-15 2024-09-30 비트로 플랫 글래스 엘엘씨 규소 질화물 및/또는 규소 산소질화물을 함유하는 보호 코팅을 갖는 코팅된 물품
CN113678032B (zh) 2019-03-28 2025-02-28 维特罗平板玻璃有限责任公司 具有高可见光反射和中性色的制品
US12284770B2 (en) 2020-02-14 2025-04-22 Vitro Flat Glass Llc Low sheet resistance coating
CA3172339A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26 Pilkington Group Limited Coated glass articles
FR3151325A1 (fr) 2023-07-21 2025-01-24 Saint-Gobain Glass France Vitrage multiple comprenant un revetement antisolaire et un revetement antireflet
WO2025128814A1 (en) 2023-12-13 2025-06-19 Vitro Flat Glass Llc Functional coating with improved thermal stress properties

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5976534A (ja) * 1982-09-21 1984-05-01 ピルキントン・ブラザ−ズ・ピ−エルシ− 低放射率コーテイングで被覆した透明基板およびその製造方法
JPS59184745A (ja) * 1983-03-25 1984-10-20 フラツハグラ−ス，アクチエンゲゼルシヤフト 透明な基体にコ−テイングを行う方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US27473A (en) * 1860-03-13 Window-screen
DE1088198B (de) * 1955-12-23 1960-09-01 Libbey Owens Ford Glass Co Verfahren zum Herstellen eines elektrisch leitenden, durchsichtigen, anorganischen Gegenstandes mit erhoehter Haerte und Lichtdurchlaessigkeit
US4094763A (en) * 1970-07-31 1978-06-13 Ppg Industries, Inc. Sputter coating of glass with an oxide of a metal having an atomic number between 48 and 51 and mixtures thereof
USRE27473E (en) 1970-10-21 1972-09-05 Thin film coating for sunglasses
US4166018A (en) * 1974-01-31 1979-08-28 Airco, Inc. Sputtering process and apparatus
US4349425A (en) * 1977-09-09 1982-09-14 Hitachi, Ltd. Transparent conductive films and methods of producing same
US4113599A (en) * 1977-09-26 1978-09-12 Ppg Industries, Inc. Sputtering technique for the deposition of indium oxide
US4201649A (en) * 1978-11-29 1980-05-06 Ppg Industries, Inc. Low resistance indium oxide coatings
DE2924833C3 (de) * 1979-06-20 1982-05-19 Bfg Glassgroup, Paris Wärmereflexionsscheibe mit farbneutraler Außenansicht und deren Verwendung als Außenscheibe einer Mehrscheibenanordnung
EP0035906B2 (en) * 1980-03-10 1989-11-08 Teijin Limited Selectively light-transmitting laminated structure
NO157212C (no) * 1982-09-21 1988-02-10 Pilkington Brothers Plc Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne.
AU561315B2 (en) * 1984-10-29 1987-05-07 Ppg Industries Ohio, Inc. Sputtering films of metal alloy oxide
US4902581A (en) * 1984-12-17 1990-02-20 Ppg Industries, Inc. Architectural coating with interference colors

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5976534A (ja) * 1982-09-21 1984-05-01 ピルキントン・ブラザ−ズ・ピ−エルシ− 低放射率コーテイングで被覆した透明基板およびその製造方法
JPS59184745A (ja) * 1983-03-25 1984-10-20 フラツハグラ−ス，アクチエンゲゼルシヤフト 透明な基体にコ−テイングを行う方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01301537A (ja) * 1988-04-01 1989-12-05 Ppg Ind Inc 高透過性低放射性物品及びその製法
JPH029731A (ja) * 1988-04-01 1990-01-12 Ppg Ind Inc 灰色高透過性低放射性物品及びその製法
JPH01317136A (ja) * 1988-04-04 1989-12-21 Ppg Ind Inc 高透過性及び低放射性を有する物品及びその製造方法
JP2020510596A (ja) * 2017-03-01 2020-04-09 ガーディアン・グラス・エルエルシーＧｕａｒｄｉａｎ Ｇｌａｓｓ， Ｌｌｃ 銀系赤外線（ＩＲ）反射層を保護するための銀ドープ保護層を有する（低放射率）ｌｏｗ−Ｅコーティングを有するコーティングされた物品、及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
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DK618586A (da) 1987-06-24
DK618586D0 (da) 1986-12-19
EP0226993A1 (en) 1987-07-01
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GR3000824T3 (en) 1991-11-15
US4716086A (en) 1987-12-29
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ES2015525B3 (es) 1990-09-01

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