JPS62199465A - 熱線放射ヘツド - Google Patents
熱線放射ヘツドInfo
- Publication number
- JPS62199465A JPS62199465A JP61041591A JP4159186A JPS62199465A JP S62199465 A JPS62199465 A JP S62199465A JP 61041591 A JP61041591 A JP 61041591A JP 4159186 A JP4159186 A JP 4159186A JP S62199465 A JPS62199465 A JP S62199465A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- substrate
- heat ray
- resistor
- air gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、赤外線、近赤外線、可視光線などを放射して
光プリンタ用ヘッドとして用いる熱線放射ヘッドに関す
る。
光プリンタ用ヘッドとして用いる熱線放射ヘッドに関す
る。
熱線放射ヘッドは放射体に通電して発熱発光させるもの
で、光プリンタ用ヘッドとしてＬＥＤアレイ等と同様に
用いられているものであシ、以下に図面に従って従来例
を説明する。
で、光プリンタ用ヘッドとしてＬＥＤアレイ等と同様に
用いられているものであシ、以下に図面に従って従来例
を説明する。
第３図は断面図であシ、図において１はガラス等の熱伝
導率の低い基板、２はエアギャップ３を設けてこの基板
１上に対向配置した金属電極、４はこの金属電極２間に
渡して配置した放射抵抗体でアシ、上記エアギャップ３
に該当する個所が放射部５となっていて基板１より浮い
た状態となっている。
導率の低い基板、２はエアギャップ３を設けてこの基板
１上に対向配置した金属電極、４はこの金属電極２間に
渡して配置した放射抵抗体でアシ、上記エアギャップ３
に該当する個所が放射部５となっていて基板１より浮い
た状態となっている。
このように構成される熱線放射ヘッドの製造方法の１例
としては以下のような方法がある。
としては以下のような方法がある。
すなわち、基板１に電極層と放射抵抗体層を順次成膜す
る。
る。
次にホトリソエツチングによシ放射抵抗体４をパターニ
ングする。
ングする。
次にホトリソにより放射部５以外をレジストで覆い、放
射部５の放射抵抗体４下の電極層をエツチングによシ除
去する。
射部５の放射抵抗体４下の電極層をエツチングによシ除
去する。
最後に放射抵抗体４のパターンをマスクに電極をエツチ
ングによりノミターニングすることによって製造してい
た。
ングによりノミターニングすることによって製造してい
た。
〔発明が解決しようとする問題点３
以上説明した熱線放射ヘッドによると・ギャップの高さ
は金属電極の厚さによって決る。そこで、実際には電極
は１．５〜５μｍ程度の厚さで形成するが、エツチング
の際のサイドエッチの問題から電極の厚さを厚くするこ
とは不都合であシ、その結果ギャップの高さを大きくと
ることは難しいものである。
は金属電極の厚さによって決る。そこで、実際には電極
は１．５〜５μｍ程度の厚さで形成するが、エツチング
の際のサイドエッチの問題から電極の厚さを厚くするこ
とは不都合であシ、その結果ギャップの高さを大きくと
ることは難しいものである。
従って、ギャップの高さが充分にとれないために放射抵
抗体が基板に接触することがアリ、その結果印字ドツト
間で輝度むらが生じて印字品質を低下させる原因となっ
ている。
抗体が基板に接触することがアリ、その結果印字ドツト
間で輝度むらが生じて印字品質を低下させる原因となっ
ている。
本発明は、放射抵抗体の放射部に該当するギャップの下
部の基板に凹部を設けて放射抵抗体と基板との距離を充
分にとった熱線放射ヘッドとすることを特徴とする。
部の基板に凹部を設けて放射抵抗体と基板との距離を充
分にとった熱線放射ヘッドとすることを特徴とする。
基板上に電極層と放射抵抗体層を順次成膜し、エツチン
グによシ放射抵抗体をバターニングし、放射部以外をレ
ジストで覆ってエツチングにより放射部下の電極層を除
去し、続いて基板もエツチングして溝を形成し、さらに
パターニングされた放射抵抗体をマスクに電極層のエツ
チングを行なって電極を形成することによシ熱線放射ヘ
ッドとし、このように構成された熱線放射ヘッドの電極
に通電することによシジュール熱によって放射抵抗体を
加熱して放射部よシ熱線放射を生じさせ、この熱線放射
を感光ドラムに放射して感光ドラムの感光体を感光して
印字を行なうことができる。
グによシ放射抵抗体をバターニングし、放射部以外をレ
ジストで覆ってエツチングにより放射部下の電極層を除
去し、続いて基板もエツチングして溝を形成し、さらに
パターニングされた放射抵抗体をマスクに電極層のエツ
チングを行なって電極を形成することによシ熱線放射ヘ
ッドとし、このように構成された熱線放射ヘッドの電極
に通電することによシジュール熱によって放射抵抗体を
加熱して放射部よシ熱線放射を生じさせ、この熱線放射
を感光ドラムに放射して感光ドラムの感光体を感光して
印字を行なうことができる。
以下に本発明の実施例を図面に従って説明する。
第２図は電子写真型プリンタの全体側面図である。図に
おいて、６は感光ドラムであり、矢印の方向に回転する
。７は帯電器、８は現像器、９は転写器、１０はクリー
ナであシ、一般に使用されている電子写真プロセスと同
様であって上記の順に配置されている。
おいて、６は感光ドラムであり、矢印の方向に回転する
。７は帯電器、８は現像器、９は転写器、１０はクリー
ナであシ、一般に使用されている電子写真プロセスと同
様であって上記の順に配置されている。
１ｇは記録紙でアシ、転写器９によってトナー像を転写
して定着盤１２を通過する。１３はロッドアレイレンズ
である。
して定着盤１２を通過する。１３はロッドアレイレンズ
である。
１４は熱線放射ヘッドである。この熱線放射ヘッドにつ
いて第１図に従って説明する。
いて第１図に従って説明する。
第１図は断面図であシ、図において１５はガラス等の熱
伝導率の低い基板、１６はギャップ１７を介して対向設
置している電極、１８はこの電極１６間にわたして配置
した放射抵抗体であり、上記ギャップ１７に該当する個
所が放射部１９となっている。２０はこの放射部１９に
該当する個所の基板１５に設けた溝である。
伝導率の低い基板、１６はギャップ１７を介して対向設
置している電極、１８はこの電極１６間にわたして配置
した放射抵抗体であり、上記ギャップ１７に該当する個
所が放射部１９となっている。２０はこの放射部１９に
該当する個所の基板１５に設けた溝である。
以下に上記構成による熱線放射ヘッドの製造方法の１例
を示す。
を示す。
基板１５には無アルカリガラスを用いた。
この基板１５上にＯｒ １２０ＯＡ、Ａｕ ２．５μｍ
。
。
スパッタ法により成膜して電極層および放射抵抗体層を
形成した。
形成した。
次に、ホトリンエツチングによすＴａＣヲパ’７−ニン
グして放射抵抗体１８を形成する。
グして放射抵抗体１８を形成する。
次に、ホ） ＩＪソにより放射部１９以外をレジストで
覆ってＣｒ、ＡｕのエツチングにＩＪ放射部１９下の電
極層を除去する。
覆ってＣｒ、ＡｕのエツチングにＩＪ放射部１９下の電
極層を除去する。
続いて除去された電極層をマスクに放射部１９下の基板
１５をエツチングして３μｍの溝２０を形成する。
１５をエツチングして３μｍの溝２０を形成する。
続いてレジストを除去し、放射抵抗体１８のパターンを
マスクにＣｒ、Ａｕのエツチングを行なって電極１６を
形成して熱線放射ヘッドとする。
マスクにＣｒ、Ａｕのエツチングを行なって電極１６を
形成して熱線放射ヘッドとする。
以上の如く本方法によると、放射部下の電極層をエツチ
ングした後、それをマスクにして基板をエツチングする
ことができ、特別にマスク工程を必要としない処に特徴
がある。また、上記材料および成膜方法、エツチング方
法等は上記に限定されるものでは無く、各膜厚、溝の深
さも求められる性能に応じて定めればよい。
ングした後、それをマスクにして基板をエツチングする
ことができ、特別にマスク工程を必要としない処に特徴
がある。また、上記材料および成膜方法、エツチング方
法等は上記に限定されるものでは無く、各膜厚、溝の深
さも求められる性能に応じて定めればよい。
以上詳細に説明した本発明によると、放射抵抗体の放射
部下の基板に溝を形成して充分に大きなエアギャップを
形成したことにより、放射抵抗体が基板に接地すること
が無くなり、発光むらの少ない信頼性の高い熱線放射ヘ
ッドとすることができる。
部下の基板に溝を形成して充分に大きなエアギャップを
形成したことにより、放射抵抗体が基板に接地すること
が無くなり、発光むらの少ない信頼性の高い熱線放射ヘ
ッドとすることができる。
また、溝の深さを所定深さにすることにょシェアギャッ
プの高さを電極厚に関係なく定めることができるために
電極厚を厚くする必要が無く、エツチングの際のサイド
エッチによる電極幅の細少化の問題を無くすことができ
る効果を有する。
プの高さを電極厚に関係なく定めることができるために
電極厚を厚くする必要が無く、エツチングの際のサイド
エッチによる電極幅の細少化の問題を無くすことができ
る効果を有する。
第１図は、本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本
発明の熱線放射ヘッドを用いた電子写真プリンタの側面
図、第３図は従来例の熱線放射ヘッドの断面図である。 １５・・・基板 １６・・・電極 １Ｔ・・・エアギャ
ップ１８・・・放射抵抗体 １９・・・放射部 ２０・
・・溝特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 本類熱線放射ヘッドを用い几プリンタの側面図軸 ２
宣 へ 従来例の断面図 閣 ３ ロ
発明の熱線放射ヘッドを用いた電子写真プリンタの側面
図、第３図は従来例の熱線放射ヘッドの断面図である。 １５・・・基板 １６・・・電極 １Ｔ・・・エアギャ
ップ１８・・・放射抵抗体 １９・・・放射部 ２０・
・・溝特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 本類熱線放射ヘッドを用い几プリンタの側面図軸 ２
宣 へ 従来例の断面図 閣 ３ ロ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に設けた電極間に放射抵抗体をわたし、電極
間の基板と放射抵抗体との間にエアギャップを形成し、
その個所の放射抵抗体を放射部とした熱線放射ヘッドに
おいて、 放射部下の基板に溝を設けてエアギャップの高さを大き
くしたことを特徴とする熱線放射ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61041591A JPS62199465A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 熱線放射ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61041591A JPS62199465A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 熱線放射ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199465A true JPS62199465A (ja) | 1987-09-03 |
Family
ID=12612660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61041591A Pending JPS62199465A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 熱線放射ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199465A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009119850A (ja) * | 2007-10-23 | 2009-06-04 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子とその製造方法、サーマルヘッドおよびプリンタ |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP61041591A patent/JPS62199465A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009119850A (ja) * | 2007-10-23 | 2009-06-04 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子とその製造方法、サーマルヘッドおよびプリンタ |
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