JPS6220137A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6220137A JPS6220137A JP60159001A JP15900185A JPS6220137A JP S6220137 A JPS6220137 A JP S6220137A JP 60159001 A JP60159001 A JP 60159001A JP 15900185 A JP15900185 A JP 15900185A JP S6220137 A JPS6220137 A JP S6220137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- polymer film
- recording media
- film
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
現在実用に供されている酸化鉄微粒子、成力は合金微粒
子を高分子フィルム上に結合剤で固定した。いわゆる塗
布型磁気テープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体による
記録密度の向上には限界がみえはじめたため、新しい製
法により得られる強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁
気記録媒体の実用化が望まれるようになっている。
子を高分子フィルム上に結合剤で固定した。いわゆる塗
布型磁気テープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体による
記録密度の向上には限界がみえはじめたため、新しい製
法により得られる強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁
気記録媒体の実用化が望まれるようになっている。
現在検討されている代表的な製法は、電子ビーム蒸着法
、スパッタリング法、湿式めっき法であるが、そのうち
電子ビーム蒸着法が生産性の面で最も有望といえる。〔
例えば外国論文誌アイイーイーイートランザクション
オン マグネテックス（Ｉ Ｅ Ｅ Ｅ Ｔｒａｎｓａ
ｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ｍａｇｎｅｔｉｃｓ ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ ２０．＆１ 、ＰＰ、５１〜５６（１９８４
） 参照〕第２図は従来の磁気記録層の形成に用いられ
た蒸着装置の内部構成図である。第２図において、１は
円筒状キャン、２は基板で、３は巻出し軸、４は巻取り
軸、６は蒸発源、６は蒸気流、了はマスク、８，９．１
０は夫々放電電極、１１はガイドローラ、１２はエキス
パンダローラである。
、スパッタリング法、湿式めっき法であるが、そのうち
電子ビーム蒸着法が生産性の面で最も有望といえる。〔
例えば外国論文誌アイイーイーイートランザクション
オン マグネテックス（Ｉ Ｅ Ｅ Ｅ Ｔｒａｎｓａ
ｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ｍａｇｎｅｔｉｃｓ ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ ２０．＆１ 、ＰＰ、５１〜５６（１９８４
） 参照〕第２図は従来の磁気記録層の形成に用いられ
た蒸着装置の内部構成図である。第２図において、１は
円筒状キャン、２は基板で、３は巻出し軸、４は巻取り
軸、６は蒸発源、６は蒸気流、了はマスク、８，９．１
０は夫々放電電極、１１はガイドローラ、１２はエキス
パンダローラである。
これらの構成要素は真空容器内に配置され、真空ポンプ
で排気され、必要に応じて外部より導入された酸素ガス
等の雰囲気中で電子ビーム蒸着を行うように働く。
で排気され、必要に応じて外部より導入された酸素ガス
等の雰囲気中で電子ビーム蒸着を行うように働く。
巻出し軸３を出た高分子フィルムから成る基板２は、放
電電極８でグロー放電処理され、エキスパンダローラ１
２でしわをのばされて円筒状キャン１に沿って矢印Ａの
方向に移動しながら限定された蒸気流６に露呈され、こ
の場合は刻々と変わる入射角で積分型の斜め蒸着による
磁気記録層の形成が行われる。磁気記録層の形成を終え
た基板は、放電電極９，１０に挾１れた形で放電処理さ
れ、再びエキスパンダ１２でシワを伸ばされて、巻取シ
軸４で巻取られる。
電電極８でグロー放電処理され、エキスパンダローラ１
２でしわをのばされて円筒状キャン１に沿って矢印Ａの
方向に移動しながら限定された蒸気流６に露呈され、こ
の場合は刻々と変わる入射角で積分型の斜め蒸着による
磁気記録層の形成が行われる。磁気記録層の形成を終え
た基板は、放電電極９，１０に挾１れた形で放電処理さ
れ、再びエキスパンダ１２でシワを伸ばされて、巻取シ
軸４で巻取られる。
所定の長さの電子ビーム蒸着が終了したら、巻取り軸４
に巻取られた状態の加工済基板は、大気中に取り出され
、熱処理、コーティング処理等の複数の加工工程を経て
、磁気テープや磁気ディスクなどの磁気記録媒体となる
。
に巻取られた状態の加工済基板は、大気中に取り出され
、熱処理、コーティング処理等の複数の加工工程を経て
、磁気テープや磁気ディスクなどの磁気記録媒体となる
。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した方法では、ガイドローラ。
円筒状キャン等の回転体と、移動する基板が完全に同期
した状態で運動しないので、基板に極めて浅いスリ傷が
予期以上に発生することがあり、短波長ディジタル記録
に供した時にブロックエラーレイトがテープの長手位置
で異常に増加することがあるため改良が望まれていた。
した状態で運動しないので、基板に極めて浅いスリ傷が
予期以上に発生することがあり、短波長ディジタル記録
に供した時にブロックエラーレイトがテープの長手位置
で異常に増加することがあるため改良が望まれていた。
本発明は上記した問題点に鑑みてなされたもので、基板
と回転体との間に相対運動が起らないようにすることで
ブロックエラーレイトの改良された高密度磁気記録媒体
を大量に生産することの出来る磁気記録媒体の製造方法
を提供するものである。
と回転体との間に相対運動が起らないようにすることで
ブロックエラーレイトの改良された高密度磁気記録媒体
を大量に生産することの出来る磁気記録媒体の製造方法
を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、高分子フィルムを巻取υながら回転支持体に
沿わせて強磁性金属を電子ビーム蒸着する方法にあって
、高分子フィルムを巻出し直後に静電帯電せしめ、巻取
シ直前に除電することを特徴とするものである。
造方法は、高分子フィルムを巻取υながら回転支持体に
沿わせて強磁性金属を電子ビーム蒸着する方法にあって
、高分子フィルムを巻出し直後に静電帯電せしめ、巻取
シ直前に除電することを特徴とするものである。
作 用
本発明は上記した方法にょ９、ガイドローラ。
エキスパンダローラ、円筒状キャン等の回転体と高分子
フィルムの間に引力が働くため、相対運動せず、完全に
同期して運動するので、柔かい高分子フィルムにスリ傷
が入ることがないので、スリ傷が入ることでできるフィ
ルムのくずがトリガーとなるブロックエラーレイトが異
常増加することは長手で全くみられないようにできるこ
ととなる。
フィルムの間に引力が働くため、相対運動せず、完全に
同期して運動するので、柔かい高分子フィルムにスリ傷
が入ることがないので、スリ傷が入ることでできるフィ
ルムのくずがトリガーとなるブロックエラーレイトが異
常増加することは長手で全くみられないようにできるこ
ととなる。
実施例
以下、本発明の実施例の磁気記録媒体の製造方法につい
て図面を参照しながら説明する。
て図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明を実施するために用いる蒸着装置の内部
構成図である。
構成図である。
第１図において、１３は円筒状キャン、１４は高分子フ
ィルムから成る基板、１５は巻出し軸、１６は巻取り軸
、１了は電子ビーム蒸発源、１８は蒸気流、１９はマス
ク、２ｏは高分子フィルムを巻出し直後に静電帯電せし
めるだめの高圧グローブである。２１．２２は除電のた
めのグロー放電電極で、２３は蒸着前のグロー放電処理
またはイオンエツチング処理などの目的に使用出来る放
電電極、２４はガイドローラ、２６はエキスパンダロー
ラである。
ィルムから成る基板、１５は巻出し軸、１６は巻取り軸
、１了は電子ビーム蒸発源、１８は蒸気流、１９はマス
ク、２ｏは高分子フィルムを巻出し直後に静電帯電せし
めるだめの高圧グローブである。２１．２２は除電のた
めのグロー放電電極で、２３は蒸着前のグロー放電処理
またはイオンエツチング処理などの目的に使用出来る放
電電極、２４はガイドローラ、２６はエキスパンダロー
ラである。
２０は、この場合はタングステンカーバイドのホイスカ
ーを先端に保持した電極で、接地電位に対して負の１０
０ＫＶを印加し、強電界により電子を放出させてフィル
ムを帯電させるようにしたものである。高圧グローブ２
ｏの作用によりフィルムは静電帯電し、２４．２５．１
３等の巻取り系構成要素と接しながら移動する際も、夫
々のローラ、キャン表面と垂直方向に静電引力の作用で
密着するため相互に清シが生じないので、スリ傷の発生
を完全に抑制した上で蒸着し１巻取ることができる。
ーを先端に保持した電極で、接地電位に対して負の１０
０ＫＶを印加し、強電界により電子を放出させてフィル
ムを帯電させるようにしたものである。高圧グローブ２
ｏの作用によりフィルムは静電帯電し、２４．２５．１
３等の巻取り系構成要素と接しながら移動する際も、夫
々のローラ、キャン表面と垂直方向に静電引力の作用で
密着するため相互に清シが生じないので、スリ傷の発生
を完全に抑制した上で蒸着し１巻取ることができる。
長尺を巻き上げた時に静電帯電したま＼にすると、巻取
り軸に対して垂直応力が積算されるためにフィルムに横
シワが入ったシするので、除電する必要がある。除電は
非接触が望ましいので、良く知られるグロー放電中を通
過させ、イオンが電子のいずれかを極性に応じて利用す
れば良い。
り軸に対して垂直応力が積算されるためにフィルムに横
シワが入ったシするので、除電する必要がある。除電は
非接触が望ましいので、良く知られるグロー放電中を通
過させ、イオンが電子のいずれかを極性に応じて利用す
れば良い。
高分子フィルムとして厚み１ｏμｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルムを３，０００ｍ準備し、円筒状キャ
ンの直径１ｍの直下３０ｚに電子ビーム蒸発源を配し、
４Ｘ１０’Ｔｏｒｒの酸素分圧〔予め真空容器内ばＩ
Ｘｌ ０−６Ｔｏｒｒまで排気した〕中で９０度から蒸
着をはじめて、最小入射角４５度までの斜め蒸着を行い
、厚み０．１μｍ、保磁力１ｏ５０（Ｏｅ）のＣｏ −
Ｎ ｉ −０（Ｎｉ ２０ｗｔ％）膜を形成し、その上
にステアリン酸を４０人真空蒸着し、平坦化し、スリッ
トして８Ｍ１幅の磁気テープを得た。
フタレートフィルムを３，０００ｍ準備し、円筒状キャ
ンの直径１ｍの直下３０ｚに電子ビーム蒸発源を配し、
４Ｘ１０’Ｔｏｒｒの酸素分圧〔予め真空容器内ばＩ
Ｘｌ ０−６Ｔｏｒｒまで排気した〕中で９０度から蒸
着をはじめて、最小入射角４５度までの斜め蒸着を行い
、厚み０．１μｍ、保磁力１ｏ５０（Ｏｅ）のＣｏ −
Ｎ ｉ −０（Ｎｉ ２０ｗｔ％）膜を形成し、その上
にステアリン酸を４０人真空蒸着し、平坦化し、スリッ
トして８Ｍ１幅の磁気テープを得た。
市販の８ミリビデオテープレコーダでＰＣＭ録音、再生
を行い、ブロックエラーレイトを全長にわたり測定した
。
を行い、ブロックエラーレイトを全長にわたり測定した
。
比較例も同じ手順でテープ化して測定した。
本発明は、−１０ＱＫｖで静電帯電させた場合で、比較
例は、グローブ電圧をｏ■とした場合である。
例は、グローブ電圧をｏ■とした場合である。
除電処理は８０Ｈｚ、３００Ｖ、ＩＡ、０．１５Ｔｏｒ
ｒのアルゴングローで基板の両面を処理することで共通
にした。
ｒのアルゴングローで基板の両面を処理することで共通
にした。
９０ｍをカセットに入れて、任意抽出で５０巻。
エラーレイトを測定したところ、本発明は平均で１０−
４のエラーレイトで最大値が２．Ｉ Ｘ １０−４であ
ったのに対して、比較例は平均値が３．９ Ｘ １０
で最大値が２×１０−２と大きかった上に、６０巻中
子、２Ｘ１０ を越えるカセットが３１巻あった。
４のエラーレイトで最大値が２．Ｉ Ｘ １０−４であ
ったのに対して、比較例は平均値が３．９ Ｘ １０
で最大値が２×１０−２と大きかった上に、６０巻中
子、２Ｘ１０ を越えるカセットが３１巻あった。
以上のように本実施例によれば、巻出し直後の高分子フ
ィルムを静電帯電することで、ガイドローラ、エキスパ
ンダローラ、円筒状キャン等と同期して移動巻取られる
ので、スリ傷発生が防げ。
ィルムを静電帯電することで、ガイドローラ、エキスパ
ンダローラ、円筒状キャン等と同期して移動巻取られる
ので、スリ傷発生が防げ。
けずりとられた高分子フィルムの構成材料が磁気記録層
表面に付着してブロックエラーレイトの異常をもたらす
ことがなくなるものである。
表面に付着してブロックエラーレイトの異常をもたらす
ことがなくなるものである。
なお前述の本発明の実施例において、回転支持体は円筒
状キャ／としたが、回転ベルト及び回転キャンと回転ベ
ルトとの組み合わせにおいても同様の効果をもたらすも
のである。
状キャ／としたが、回転ベルト及び回転キャンと回転ベ
ルトとの組み合わせにおいても同様の効果をもたらすも
のである。
静電帯電の方法は、電子注入、イオン注入、或いはこの
両者の組み合わせを基本にして、具体化すればよく、そ
の方法による差異は特にない。
両者の組み合わせを基本にして、具体化すればよく、そ
の方法による差異は特にない。
本発明により磁気記録媒体を得るだめに用いられる材料
は、ポリエチレンテレフタレートフィルムの他に、ポリ
カーボネート、ポリサル７オン。
は、ポリエチレンテレフタレートフィルムの他に、ポリ
カーボネート、ポリサル７オン。
ポリアミド、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート等
のフィ／ｌ／ Ａ 、 Ｃｏ −Ｎ ｉ−０の他に、Ｃ
ｏ −０゜Ｃｏ −Ｃｒ 、 Ｃｏ −Ｔｉ 、
Ｇｏ −Ｓｉ 、 Ｃｏ −Ｔａ 。
のフィ／ｌ／ Ａ 、 Ｃｏ −Ｎ ｉ−０の他に、Ｃ
ｏ −０゜Ｃｏ −Ｃｒ 、 Ｃｏ −Ｔｉ 、
Ｇｏ −Ｓｉ 、 Ｃｏ −Ｔａ 。
Ｃｏ −Ｗ 、Ｃｏ −Ｍｏ 、Ｃｏ −Ｍｇ 、
Ｃｏ−Ｃｒ −Ｇａ。
Ｃｏ−Ｃｒ −Ｇａ。
Ｃｏ−Ｒｕ−０等の強磁性金属等がある。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長ディジタル記録に
おいても極めてエラーレイトの少ない長尺の媒体または
大面積の媒体材料を大量生産することができるといっだ
すぐれた効果を得ることができる。
おいても極めてエラーレイトの少ない長尺の媒体または
大面積の媒体材料を大量生産することができるといっだ
すぐれた効果を得ることができる。
第１図は本発明を実施するために用いる蒸着装置の一例
の内部構成図、第２図は従来の蒸着装置の内部構成図で
ある。 １３・・−・・・円筒状キャン、１４・・・・・基板（
高分子フィルム）、１７・・・・・・電子ビーム蒸発源
、２ｏ・・・・・・高圧プローブ、２１．２２・・・・
・・グロー放電電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１３
−一一円筒イ大午イン
の内部構成図、第２図は従来の蒸着装置の内部構成図で
ある。 １３・・−・・・円筒状キャン、１４・・・・・基板（
高分子フィルム）、１７・・・・・・電子ビーム蒸発源
、２ｏ・・・・・・高圧プローブ、２１．２２・・・・
・・グロー放電電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１３
−一一円筒イ大午イン
Claims (1)
- 高分子フィルムを巻取りながら回転支持体に沿わせて強
磁性金属を蒸着する方法にあって、高分子フィルムを巻
出し直後に静電帯電せしめ、巻取り直前に除電すること
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159001A JPS6220137A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159001A JPS6220137A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6220137A true JPS6220137A (ja) | 1987-01-28 |
Family
ID=15684060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60159001A Pending JPS6220137A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6220137A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010163693A (ja) * | 2010-04-12 | 2010-07-29 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6057539A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS6089828A (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP60159001A patent/JPS6220137A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6057539A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS6089828A (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010163693A (ja) * | 2010-04-12 | 2010-07-29 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式真空蒸着方法 |
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