JPS62201811U - - Google Patents

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JPS62201811U
JPS62201811U JP9170486U JP9170486U JPS62201811U JP S62201811 U JPS62201811 U JP S62201811U JP 9170486 U JP9170486 U JP 9170486U JP 9170486 U JP9170486 U JP 9170486U JP S62201811 U JPS62201811 U JP S62201811U
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JP
Japan
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opening
fine
valve
adjustment valve
control
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JP9170486U
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  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例を示す構成図、第2図
は信号処理の手順を示すフローチヤート、第3図
は本考案の原理を説明する弁開度特性図、第4図
は動作説明図、第5図は従来装置に対する効果を
説明するための動作説明図である。 1……チエスト、2……移送管路、3……叩解
機、4……ポンプ、6……第1リターン管路、7
……粗調弁、8……第2リターン管路、9……微
調弁、10……圧力センサー、11……制御装置

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流体供給管路内の圧力制御を、上記流体の流量
    を粗調弁及び微調弁を用いて定常制御では上記微
    調弁により実行すると共に、上記微調弁の開度が
    上限開度又は下限開度に達したときに上記粗調弁
    開度を一定開度調節する圧力制御装置において、
    上記微調弁開度が上記上限値又は下限値に達した
    場合、上記粗調弁を一定開度調節すると共に、上
    記微調弁開度が略50%開度となるように強制的
    に修正することを特徴とする圧力制御装置。
JP9170486U 1986-06-16 1986-06-16 Pending JPS62201811U (ja)

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JP9170486U JPS62201811U (ja) 1986-06-16 1986-06-16

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JP9170486U JPS62201811U (ja) 1986-06-16 1986-06-16

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JPS62201811U true JPS62201811U (ja) 1987-12-23

Family

ID=30952734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9170486U Pending JPS62201811U (ja) 1986-06-16 1986-06-16

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62201811U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008518216A (ja) * 2004-10-28 2008-05-29 北京博奥生物芯片有限▲責▼任公司 微小容量液体噴射システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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