JPS6222006A - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
- Publication number
- JPS6222006A JPS6222006A JP16459985A JP16459985A JPS6222006A JP S6222006 A JPS6222006 A JP S6222006A JP 16459985 A JP16459985 A JP 16459985A JP 16459985 A JP16459985 A JP 16459985A JP S6222006 A JPS6222006 A JP S6222006A
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- JP
- Japan
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- light
- film thickness
- film
- wavelength
- processing circuit
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えば磁気テープ等の製造ラインにおける塗
工機の制御、監視を行うための塗膜の膜厚を測定する膜
厚測定装置に関するものである。
工機の制御、監視を行うための塗膜の膜厚を測定する膜
厚測定装置に関するものである。
第４図は従来の渦電流式膜厚測定装置の構成図で、（１
）は磁気テープで、ポリエステル等の母材（１ａ）の上
に磁性体の塗膜（１ｂ）がついている。ＣＩυは検出器
で、コア（ｌｌａ）に励磁巻線（ｌｔｂ）を巻き、発振
器四で励磁している。
）は磁気テープで、ポリエステル等の母材（１ａ）の上
に磁性体の塗膜（１ｂ）がついている。ＣＩυは検出器
で、コア（ｌｌａ）に励磁巻線（ｌｔｂ）を巻き、発振
器四で励磁している。
次に動作について説明する。コア（ｌｌａ）の開放端間
には励磁の磁界が発生しているが、接近した位置に磁性
体があると励磁インピーダンスが変わる。この変化は磁
性体の時性、サイズ、位置等により変化するため、この
インピーダンスの変化を検出すれば一定特性、一定位置
、一定幅の条件下で磁性体の厚みが検出できることとな
る。
には励磁の磁界が発生しているが、接近した位置に磁性
体があると励磁インピーダンスが変わる。この変化は磁
性体の時性、サイズ、位置等により変化するため、この
インピーダンスの変化を検出すれば一定特性、一定位置
、一定幅の条件下で磁性体の厚みが検出できることとな
る。
従来の膜厚測定装置は被測定膜と検出器との距離を一定
に、しかも接近２通常は接触させなければ感度良く、安
定に測定できず、製造ライン中に組込むことができなか
った。
に、しかも接近２通常は接触させなければ感度良く、安
定に測定できず、製造ライン中に組込むことができなか
った。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、非接触にしかも、被測定膜の位置が変化しても
影春を受けない膜厚測定装置を提供する。
もので、非接触にしかも、被測定膜の位置が変化しても
影春を受けない膜厚測定装置を提供する。
この発明に係る膜厚測定装置は、光源と、この光源から
の光を被測定膜に透過させその光を受光する受光器と、
この光路上に設けられ第１及び第２の狭帯域フィルタ部
と遮光部とを有する回転板と、受光器の出力から膜厚を
演算する処理回路とを備えたものである。
の光を被測定膜に透過させその光を受光する受光器と、
この光路上に設けられ第１及び第２の狭帯域フィルタ部
と遮光部とを有する回転板と、受光器の出力から膜厚を
演算する処理回路とを備えたものである。
この発明における膜厚測定装置は処理回路が各狭帯域フ
ィルタを透過した光の被測定膜での吸収量を求め、この
吸収量から膜厚を演算する。
ィルタを透過した光の被測定膜での吸収量を求め、この
吸収量から膜厚を演算する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は本発明の構成図で、第４図と同一番 ０号のも
のは同一のものを示す。（幻は磁気テープ（１）を透過
する波長帯を持つ光源、（３）はレンズ、（４）は受光
器、（５）はＡ／Ｄ変換器、（６）はディジタル処理回
路、（７）はモータ、（８）はモータ（７）の軸に取付
けられた回転板で、その平面凶を第２図に示す。第２図
において、斜線部の（８ａ）は光を透過させない遮光部
、白い部分の（８ｂ）は第１の狭帯域フィルタ部、ドツ
トを付した部分の（８ｃ）’は前のフィルタ部（８ｂ）
とは波長の異なる第２の狭帯域フィルタ部である。
図は本発明の構成図で、第４図と同一番 ０号のも
のは同一のものを示す。（幻は磁気テープ（１）を透過
する波長帯を持つ光源、（３）はレンズ、（４）は受光
器、（５）はＡ／Ｄ変換器、（６）はディジタル処理回
路、（７）はモータ、（８）はモータ（７）の軸に取付
けられた回転板で、その平面凶を第２図に示す。第２図
において、斜線部の（８ａ）は光を透過させない遮光部
、白い部分の（８ｂ）は第１の狭帯域フィルタ部、ドツ
トを付した部分の（８ｃ）’は前のフィルタ部（８ｂ）
とは波長の異なる第２の狭帯域フィルタ部である。
第１図にもどり、（９）はモータ（７）を駆動するとと
もに、回転板（８）の位置情報をディジタル処理回路（
６）に出力するパルス駆動回路である。第３図は磁気テ
ープ（１）の光の透過率の波長依存性を示す特性図であ
る。
もに、回転板（８）の位置情報をディジタル処理回路（
６）に出力するパルス駆動回路である。第３図は磁気テ
ープ（１）の光の透過率の波長依存性を示す特性図であ
る。
次に動作について説明する。
光源（２）から出た光はレンズ（３）で集光し、磁気テ
ープ（１）を透過させる。この透過光は回転板（８）の
位置により、光かじゃへいされたり、異なる波長の狭帯
域フィルタ（８ｂ）（８ｃ）を透過する。この透過した
光を受光器（４）で光電変換する。ところで磁気テープ
（１）は母材（１ａ）と塗膜（１ｂ）とで構成さｎるが
、母材（１ａ）はポリエステル等透明な材料であるので
ほぼ１００％光が透過し、塗膜（１ｂ）の透過特性は第
２因に示す実線で表わした特性のように波長依存性を持
つ。しかもその特性は膜厚により厚い場合は一点鎖線、
薄い場合は点線のように厚みによりその透過開始波長が
異なる。一方光源（２）等の光強度の変化は透過開始波
長か同じであるが、その傾斜が異なる。従って前記受光
器（４）の出力を異なる波長の透過量を時系列でＡ／Ｄ
変換器（５）でディジタル値に変換し、ディジタル処理
回路（６）で両者の比又は２波長間の透過特性の傾きを
計算し、その透過開始波長を求めることで膜厚に比例し
た出力を安定に得ることができる。ところでモータ（７
）をパルス駆動回路（９ンで駆動するとともに、その情
報をディジタル処理回路（６）に入力することで光が受
光器（４）に入らない時と、狭帯域フィルタ（８ｂ）の
透過光が入っている時及びフィルタ（８ｃ）の透過光が
入っている時の関係がわかり、それぞれ光が入らない時
との差をとり、これを真の値とすることで暗電流の影響
を受けないものとなる。
ープ（１）を透過させる。この透過光は回転板（８）の
位置により、光かじゃへいされたり、異なる波長の狭帯
域フィルタ（８ｂ）（８ｃ）を透過する。この透過した
光を受光器（４）で光電変換する。ところで磁気テープ
（１）は母材（１ａ）と塗膜（１ｂ）とで構成さｎるが
、母材（１ａ）はポリエステル等透明な材料であるので
ほぼ１００％光が透過し、塗膜（１ｂ）の透過特性は第
２因に示す実線で表わした特性のように波長依存性を持
つ。しかもその特性は膜厚により厚い場合は一点鎖線、
薄い場合は点線のように厚みによりその透過開始波長が
異なる。一方光源（２）等の光強度の変化は透過開始波
長か同じであるが、その傾斜が異なる。従って前記受光
器（４）の出力を異なる波長の透過量を時系列でＡ／Ｄ
変換器（５）でディジタル値に変換し、ディジタル処理
回路（６）で両者の比又は２波長間の透過特性の傾きを
計算し、その透過開始波長を求めることで膜厚に比例し
た出力を安定に得ることができる。ところでモータ（７
）をパルス駆動回路（９ンで駆動するとともに、その情
報をディジタル処理回路（６）に入力することで光が受
光器（４）に入らない時と、狭帯域フィルタ（８ｂ）の
透過光が入っている時及びフィルタ（８ｃ）の透過光が
入っている時の関係がわかり、それぞれ光が入らない時
との差をとり、これを真の値とすることで暗電流の影響
を受けないものとなる。
以上のように・この発明によれば被測定膜の光の透過率
の波長依存性から膜厚を求めるので、被測定膜の位置が
変化しても、また受光器の暗電流の影響を受けず、正確
に膜厚が測定できる。
の波長依存性から膜厚を求めるので、被測定膜の位置が
変化しても、また受光器の暗電流の影響を受けず、正確
に膜厚が測定できる。
第１図は本発明の一実施例における膜厚測定装置の構成
図、第２図は第１図における回転板の平面図、第３図は
磁気テープの透過率の波長依存性特性図、第４図は従来
の膜厚測定装置の構成図である。 図において、（ｌｂ）は被測定膜としての磁性体の塗膜
、（２）は光源、（４）は受光器、（５） （６）は処
理回路としてのそれぞれＡ／Ｄ変換器及びディジタル処
理回路、（８）は回転板、（８ａ）は遮光部、（８ｂ）
は第１の狭帯域フィルタ部、（８ｃ）は第２の狭帯域フ
ィルタ部である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
図、第２図は第１図における回転板の平面図、第３図は
磁気テープの透過率の波長依存性特性図、第４図は従来
の膜厚測定装置の構成図である。 図において、（ｌｂ）は被測定膜としての磁性体の塗膜
、（２）は光源、（４）は受光器、（５） （６）は処
理回路としてのそれぞれＡ／Ｄ変換器及びディジタル処
理回路、（８）は回転板、（８ａ）は遮光部、（８ｂ）
は第１の狭帯域フィルタ部、（８ｃ）は第２の狭帯域フ
ィルタ部である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (6)
- （１）被測定膜を透過する波長帯の光を出射する光源、
この光源からの光を上記被測定膜に透過させこの透過し
た光を受光して光電変換する受光器、第１の波長の光を
透過させる第１の狭帯域フィルタ部と第２の波長の光を
透過させる第２の狭帯域フィルタ部と光を透過させない
遮光部とを周方向に順次配置し回転することによつて上
記光の通路上に上記各部が順次介在するように構成され
た回転板、上記受光器の出力から上記両波長における上
記被測定膜での光の吸収量を求めこの吸収量から被測定
膜の膜厚を演算する処理回路を備えた膜厚測定装置。 - （２）被測定膜を入射光の方向と直角の方向に移動させ
る構成とし、膜厚を連続的に測定するようにしたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の膜厚測定装置。 - （３）処理回路は受光器の出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ
変換器とこのＡ／Ｄ変換器の出力をディジタル処理して
膜厚を演算するディジタル処理回路とからなることを特
徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の膜厚
測定装置。 - （４）ディジタル処理回路は各波長の光の透過量の比を
演算しこれから膜厚を演算することを特徴とする特許請
求の範囲第３項記載の膜厚測定装置。 - （５）ディジタル処理回路は各波長の光の透過量の２波
長間の傾きからその透過開始波長を演算しこれから膜厚
を演算することを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の膜厚測定装置。 - （６）ディジタル処理回路は遮光部における値と各狭帯
域フィルタ部における値との差を使用して演算すること
を特徴とする特許請求の範囲第４項または第５項記載の
膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16459985A JPS6222006A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16459985A JPS6222006A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 膜厚測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6222006A true JPS6222006A (ja) | 1987-01-30 |
Family
ID=15796238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16459985A Pending JPS6222006A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 膜厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6222006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0749000A3 (en) * | 1995-06-16 | 1998-06-17 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for color thickness testing |
-
1985
- 1985-07-23 JP JP16459985A patent/JPS6222006A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0749000A3 (en) * | 1995-06-16 | 1998-06-17 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for color thickness testing |
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