JPS62240732A - 半導体機器用リ−ド材 - Google Patents

半導体機器用リ−ド材

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JPS62240732A
JPS62240732A JP61085295A JP8529586A JPS62240732A JP S62240732 A JPS62240732 A JP S62240732A JP 61085295 A JP61085295 A JP 61085295A JP 8529586 A JP8529586 A JP 8529586A JP S62240732 A JPS62240732 A JP S62240732A
Authority
JP
Japan
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alloy
copper
strength
lead material
elements
Prior art date
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Pending
Application number
JP61085295A
Other languages
English (en)
Inventor
Hajime Sasaki
元 佐々木
Akira Nomoto
明 野本
Shinichi Nishiyama
西山 進一
Yutaka Ouchi
豊 大内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
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Publication of JPS62240732A publication Critical patent/JPS62240732A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40—Leadframes
    • H10W70/456—Materials

Landscapes

  • Conductive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ICなど半導体機器のリード材として好適な
銅合金材に関するものである。
[従来の技術と問題点] 半導体機器用リード材としては、従来42合金<Fe−
Nr金合金あるいはリン青銅、錫入り銅ざらには無酸素
銅などが使用されている。
最近になり、半導体回路がざらに高集積化されるにとも
ない、熱放散性の高い材料への要請ならびに低コスト化
への要請が高まり、銅合金を使用する例が急増しつつあ
る。このようなリード材用銅合金として要求される特性
は、熱放散性が高いことすなわち導電率が高いことのほ
かに、耐熱性と適当な強度を保有していることがのぞま
れる。
しかしながら、銅合金の場合には、導電率と耐熱性ある
いは強度の保持とは、なかなか相客れない関係にあり、
熱放散性(これは導電率と比例するものであるが)を優
先せしめようとすると、耐熱性や強度についてはどうし
ても犠牲にせねばならないという関係にめった。
このような銅合金のうちで、リード材として既知の銅−
ジルコニウム合金は、すぐれた導電率とすぐれた耐熱特
性とを有する銅合金として知られているが、この銅−ジ
ルコニウム合金も、42合金やリン青銅と比較すると、
強度の点ではるかに劣るものであり、高導電性という点
では十分にすぐれているのではあるが、前記合金の代替
材とするには、その強度の上で問題があった。
[発明の目的] 本発明は、上記のような実情にかんがみてなされたもの
であり、高導電性を保持しつつ、耐熱性ヤ強度の点から
も十分な特性を保有し、高集積化に対応可能な半導体機
器用リード材を提供しようとするものである。
[発明の概要) すなわち、本発明の要旨とするところは、所定組成の銅
−ジルコニウム合金をベースとし所定組成範囲の錫、シ
リコン、ニッケル、鉄および亜鉛のうちの1種または2
種以上を添加し、それにより導電性に大きな犠牲を与え
ることなく、必要な耐熱性と強度とを保有せしめ得たも
のである。
[実施例] 以下に実施例に基いて説明する。
本発明においてベースとなる銅−ジルコニウム合金は、
ジルコニウムの含有量が0.01〜0.15%であるこ
とを基本とする。ジルコニウムが0.01%以下では耐
熱性を向上させる効果がなく、また0、15%以上では
この合金で通常行なわれる溶体化処理、時効処理を施し
ても強度はほぼ飽和し、いたずらに鋳造性を害する様に
なるため除外される。そして、錫、シリコン、ニッケル
、鉄、亜鉛はいずれも銅の強度を向上させる元素である
が、これらを単体又は複数の添加元素として銅−ジルコ
ニウム合金へ添加することにより、この合金の導電性を
あまり害さずに強度を向上させ得るという新しい知見を
見出したものである。その組成範囲は0.1%以下では
強度上昇の効果はほとんどなく、また2%以上では、強
度はざらに上昇するものの、銅−ジルコニウム合金特有
の導電性を著しく害する様になるため、前記添加元素の
範囲を1種又は2種以上の合計で0.1〜2%の組成範
囲とするものである。つぎに本発明の具体的実施例を比
較例と共に説明する。
高周波溶解炉を用い、不活性雰囲気で無酸素銅を溶解し
、第1表に示したような添加元素をそれぞれ有する銅合
金を鋳造した。これらをそれぞれ、800℃で熱間圧延
を行い、8m厚の板材とし、表面の面削を行い、2am
厚に冷間圧延し、中間熱処理を行った後ざらに冷間圧延
と熱処理を繰返し、最終加工度50%の0.25順厚板
材とした。特性の評価としては、まず熱伝導率と正の相
関を示す導電率、及び機械的強度として引張強さとビッ
カース硬さ、また耐熱性として500℃で10分間加熱
後のビッカース硬さを測定した。第1表に比較合金とと
もにこれらの測定結果を示す。これによって明らかなよ
うに本発明合金は、比較合金3のリン青銅とほぼ同等の
強度を有しながら、すぐれた耐熱性と、3倍以上の導電
率を有していることがわかる。また比較合金1では錫が
2%以上となると導電率が急激に低下することを示し、
比較合金2では、銅−ジルコニウム合金に前記所定の第
3元素を添加しなければ所定の強度が得られないことを
端的に示している。この様に本発明合金においては、リ
ン青銅なみの強度を有しながら、高い導電率を保ってお
り、ICなど電子機器の高集積化にともなう高熱放散性
リード材の要求によく応え得るものであるこがわかる。
[発明の効果] 以上、本発明に係る銅合金によれば、従来ICなど電子
機器のリード材として使用されてきた高価な42合金、
リン青銅に対する代替材として十分に使用に耐えるもの
であり、本発明に係る合金を採用することにより、製造
コストを低減できる上に、導電率が高く熱放散性にすぐ
れたリード材であることから、近年ますますICなどの
高集積化が進展しつつあるとき、斯業に及ぼす効用はま
ことに大きいのでおる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ジルコニウム0.01〜0.15%、これに錫、
    シリコン、ニッケル、鉄および亜鉛のうち1種または2
    種以上の合計で0.1〜2.0%含み、残部が本質的に
    銅よりなる半導体機器用リード材。
JP61085295A 1986-04-14 1986-04-14 半導体機器用リ−ド材 Pending JPS62240732A (ja)

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