JPS62247478A - パタ−ン検査装置 - Google Patents

パタ−ン検査装置

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JPS62247478A
JPS62247478A JP61089892A JP8989286A JPS62247478A JP S62247478 A JPS62247478 A JP S62247478A JP 61089892 A JP61089892 A JP 61089892A JP 8989286 A JP8989286 A JP 8989286A JP S62247478 A JPS62247478 A JP S62247478A
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Yasuhiko Hara
靖彦 原
Hideaki Doi
秀明 土井
Koichi Tsukazaki
柄崎　晃一
Akira Sase
佐瀬　昭
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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパターン検査装置に係り、更に詳述すればプリ
ント基板パターンの断線、凹凸等の外観欠陥を自動的に
検査するパターン検査装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、プリント基板等のパターン検査を行うためには、
特公昭５９−２４３６１号公報に記載されているように
、２枚のパターンを比較検査する検査方式が提案されて
おり実用に供されている。他方特開昭５３−８３７６８
号公報および特開昭５８−１２５８２６号公報に記載さ
れているように、１枚のパターンで検査が行える検査装
置が提案されている。また一枚のパターンの検査を行う
には、特開昭５２−４２７９０号公報に記載のように、
パターンの設計データと比較検査する方式がある。実物
のパターンを記憶して検査する手法として「テレビジョ
ン学会誌」（３６巻１号Ｐ３８〜４４．１９８２年）は
、同一基板上にある２組のパターンを比較する際に、一
方のパターンの一部を１時的に記憶し、他方のパターン
と比較するいわば２組の実物パターンを比較する方式の
変形的な手法の提案がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記した従来技術である特公昭５９−２４３６１号公報
に記載されている２枚のパターンを比較して検査する方
法では、２枚のパターンが必要であり、特開昭５３−８
３７６８号および特開昭５８−１２５８２６号公報に記
載の検査装置では、正常パターンに類似したパターンを
欠陥として検出することができず、１枚のパターンの検
査を行なう比較検査方法である特開昭５２−４２７９０
号記載の方法では、設計データからパターンの発生展開
に大規模な電気回路が必要で、データの転送保管につい
ても面倒で更に、実物のパターンを記憶して検査する手
法として「テレビジョン学会誌」記載の方法は限られた
用途については有効であっても一般でないと云う欠点が
ある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は１回路パターンを２次元的に走査し。
２値化パターン情報を光電変換手段により検出する手段
と、検出したパターン情報を圧縮する手段と、この圧縮
された前記パターン情報を記憶媒体に記憶する手段と、
記憶された圧縮されたパターン情報を読出し伸展する手
段とを有し、これら各手段により予じめ記憶されたパタ
ーンと検査すべきパターンとを比較検査することにより
達成される。
〔作用〕
本発明のパターン検査装置では、ｘ−Ｙステージに取付
けられた被検査パターン基板をパターン検出器で２次元
的に走査し、２値化パターン情報を得て、このパターン
情報をＭＨ／ＭＲ（モディファイドハフマン／モディフ
ァイドリレーティブエレメントアドレスディザイネート
）符号圧縮処理手段で圧縮し、この圧縮されたパターン
情報を半導体メモリ、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶
し、このように記憶媒体に記憶されたパターン情報を読
出し、ＭＨ／ＭＲ符号伸長処理手段で伸長して取出し、
この取出されたパターン情報と次にＸ−Ｙステージに取
付けられた被検査パターンから検出されたパターン情報
とを比較検査し、パターンの良否を判別するものである
。
〔実施例〕
本発明のパターン検査装置は、莫大な情報量を有するパ
ターンを高速かつ能率良く記憶する手段と、記憶したパ
ターンを高速で発生し、実物検査パターンと比較検査を
する手段が必要であり、第１図は本発明による検査装置
の構成を示す。１ａはパターン基板でありあらかじめ記
憶されるべきパターンである。パターン基板１ａはＸＹ
ステージ２上に設置される。パターンは結像レンズ３に
よりパターン検出器４上に投影される（照明装置は省略
されている）、ＸＹステージ２はステージ制御装置５に
より位置が制御されるので、パターン検出器４により任
意の位置のパターンが検出できる。パターン検出器４は
ＴＶカメラ、リニアイメージセンサのような自己走査形
の映像検出器である。パターン検出器４から同期信号７
ａにより取出される検出信号１１ａは２値化回路１５を
介し情報圧縮器６によってＭＨ方式、あるいはＭＲ方式
またはＭ’Ｒ方式により情報圧縮されて記憶装置８に記
憶される。記憶表＠８として半導体メモリ。
磁気ディスク、磁気テープ、光ディスク等を使うことが
できる。大量のパターンを記憶するには。
光ディスクが適する。
つぎにパターン基板１ａを取り去り、パターン基板１ｂ
を設置する。基板１ｂは検査すべき基板である。基板１
ｂの検査を行うには、パターン検出器４で特定位置のパ
ターンを検出し、得た検出信号１１ｂとあらかじめ記憶
した同一部分のパターン検出信号１１ａとを比較検査回
路ｌＯで比較して行う。
パターン基板１ａの検出信号１１ａは情報圧縮された形
で記憶装置８に記憶されているので、検出信号ｔｔｂと
比較するためには、情報伸展装置９により、情報圧縮前
の検出信号の状態に直す。このとき、パターン基板１ｂ
のパターンと同一部分のパターンを情報伸展装置９によ
り発生するように、ステージ制御装置５から、同期信号
７ｂを得てパターン伸展を行なう。情報伸展されたパタ
ーン信号１１ａと検出信号１１ｂとはパターンの比較検
査回路１０において比較検査される。このようなことを
２〜３枚のパターン基板に対し実施することで良否の判
定が出来、正常パターン情報が記憶装置に記憶され、あ
とは順に同じことを繰返すことでパターンの検査を行な
うことができる。
前述した、検出信号１１ａの情報圧縮、記憶、情報伸展
装置について示す。本装置は近年市販され始めたパター
ン情報の圧縮伸展用素子に（日経エレトロニクス１９８
５年１月２８日号Ｐ　、１９３）を適用したもので、第
２図に示すように検出信号１１ａはリード／ライト（Ｒ
ｅａｄ／　Ｗｒｉｔｅ）スイッチ１Δ（図はライトの状
態になっている）を通してＡ＋／Ａｚ切換スイッチ１４
に送られる。ＡＩ／Ａｚ切換スイッチ１４は検出信号１
１ａをバッファメモリＡ＋　（あるいはＡりに送り、こ
れが一杯になると次の他方のメモリＡ２　（あるいはＡ
＋）に入力を切換える。バッファメモリＡＩ　＋　Ａ２
の中に蓄えられたパターンは情報圧縮伸展素子１２によ
り情報を圧縮する。これによりもとの検出信号１１ａの
情報量を約４％まで低減することができる。情報圧縮・
伸展用素子１２は最大処理速度が５ＭＨｚであるので、
４個の素子を並列に用いることにより最大２０Ｍ）Ｉｚ
の速度の検出信号１１を情報圧縮することができる。情
報圧縮された検出（＋’を号１１ａはバッファメモリＢ
。
（あるいはＢ２）に記憶される。Ｂ　Ｉ／　Ｂ　２切換
スイツチ１５はバッファメモリＢ、、Ｂ２の内容を交互
に切換つつ、情報圧縮後の検出信号１１ａをインタフェ
ース１６を経て情報記憶装置８に転送する。
パターン基板１１ｂを検査する場合は、情報記憶装置８
に記憶されたパターン検出信号１１ａを逆に、伸展させ
る。これは、情報圧縮用の回路を逆の順に用いることが
できる。
〔発明の効果〕
本発明により、例えば大きさ６００　Ｘ　５００　ｎｍ
の大きさのパターン基板１０μｍ画素で記憶する場合、
情報圧縮をしない場合、３７５Ｍｂｙｔｅの記憶容量が
必要であるが、約１５Ｍｂｙｔｅに低減することができ
る。
−面当り１．３１０ｂｙｔｅの光ディスクを使用すると
１枚で１５０面以上のパターン基板情報が記憶可能とな
る。記憶面数が少なくて良い場合は、半導体メモリ、磁
気テープ等が使用可能である。
本発明の装置を導入することにより、多品種少量生産の
パターン基板情報をあらかじめ記憶しておくことにより
、比較すべきパターンが生産されるのを待つことなく検
査を実行できる。パターンの比較検査を行うので高信頼
度の検査が実行できる。また、同一形状のパターン基板
が多数流れる製造行程においても、最初の１枚の基板パ
ターンを記憶すれば、以降の基板の検査に適用すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
図はいずれも本発明の一実施例を示すもので、第１図は
検査装置の構成図、第２図本装置に用いられる情報の圧
縮、記憶および伸展回路の構成図である。 ｌａ、　ｌｂ・・・パターン基板、４・・・パターン検
出器、６・・・情報圧縮装置、８・・・記憶装置、９・
・・情報伸展装置、１０・・・比較検査回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、回路パターンを２次元的に走査し、２値化パターン
    情報を光電変換することにより電気信号として検出する
    手段と、検出したパターン情報を圧縮するパターン情報
    圧縮手段と、圧縮した前記パターン情報を記憶媒体に記
    憶する手段と、記憶された情報圧縮パターンをもとのパ
    ターンに伸展する手段とを有し、これらの各手段により
    予じめ記憶されたパターンと、検査すべきパターンとを
    比較検査することを特徴とするパターン検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載のパターン情報圧縮手段
    としてファクシミリ用２値画像データ圧縮手法を用いる
    ことを特徴とするパターン検査装置。
JP61089892A 1986-04-21 1986-04-21 パタ−ン検査装置 Pending JPS62247478A (ja)

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