JPS5821110A - パタ−ン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はＩＣ製造工程における、マスクあるいはレチク
ルに転写されたパターンが、そのパターンを形成する設
計データと比較し、正常に転写されているかどうかを検
査するパターンの欠陥検査装置に関するものである。

従来この種の装置は、同一マスク上に同じパターン群を
持つチップ同志の比較による検査方法であるとか、設計
データを画像メモリ上にビットパターンとして展開し、
マスク又はレチクルから得られる画像データとを、画素
単位で比較する検査方法が考えられ℃いた。

しかし、前者の方法によると、チップ毎に同一の欠陥（
共通欠陥）を有していた場合には欠陥と認識することは
不可能であり、又マス（２） りを作成する原版となるレチク死で見、単独のパターン
である湯合が多く、チップ比較法のような検査は不可能
であった。一方、後者の方法によれば、パターンを作成
した投首１データとの比較であるから、チップ同志の共
通欠陥でも認識することは可能であり、レチクルでも検
査することはできろ。しかし、設計データを画像メモリ
上に直重単位に変換して用量しておくデータ開、すなわ
ち、画像メモリの容量は膨大になり計算機がそれを入出
力させるためにも時間がかかりすぎ、装置も大型、複雑
になるという欠点があった。

本発明はこれらの欠点を解決ｌ〜、膨大な情報邦ケ翫１
憶する装置な心安とせず、設ｄ↑データを参照して、パ
ターンの欠陥の有無を高速に判定可能な検査装置を提供
することを目的とする。

上記目的を達成するための本発明の要旨は設計データに
基つい又被検査物上に形成されたパターンを走査し又、
該パターンの画像を（３） 画１化するための画像２値情報を発生する走査手段と、
前記設計データπ基づい又前記パターンの設計上の２値
画像を生成するための設計２値情報を発生する画像生成
手段とを有し、Ｍ記画ｒ象２値情報と設計２値情報に基
づいてＡｉｒ　ＡＦパターンの特徴とそのパターンが設
ぎ」上備えるべぎ特徴とを比較して、前記パターンが設
計通り作らねているか否かを検査する装置において、前
記設計２値情報に基づいて、前Ｈピ走査手段の走査紗上
に現われるべきＭｔｌ記パターンの設計上の特徴を検知
して、その時微圧所定の２値打号な与える検知手段と；
前記走査線上の画素゛を所定画素数で分割したどき、そ
の分割数に応じたビット数を備えると共如、前記パター
ンの設計上の特徴が現われるべき画素位置に対応したビ
ットから、前記検知手段の２値打号を記憶する記憶手段
とを有し、前記パターンの設計上の特徴に関する情報を
圧縮し１保持することを特徴とするパターン検査装置で
ある。

（４） ＬＩ下に図面を参照して本発明の実施例について詳説、
する。

第１図は、本発明の実施例を示すブロック図である１、
移動ステージ１４に載置されると共に、パターンが描か
れた被検査物、例えばレチクル１は、撮像装置２によっ
て、レチクル１上の所定の小領域のみが撮像される。こ
の領域が検査すべき１画面になる。またレチクル１は、
ストロボ装置１５によって透過照明される。撮像装置２
のアナログ映像信号は次の２値化回路３によって２値画
像信号に変換されると共に、必要に応じてスムージング
等の雑音除去処理が行なわれる。

切出回路４は２値画像信号の入力に基づいて、倹食すべ
き１画面中の局所的な領域、例えば矩形領域に対応した
２値情報を切出す。

この局所的な矩形領域は、−例として画像中の１６Ｘ１
６画素に相当する領域で構成されている。これを第２図
により、さらに詳しく説明する。第２図において、検査
すべき１画面の画（象１００は、撮像装ｆ２の走査線１
０１によってラスク走査される。伺、実施例では、画像
１００内の走査線の本数は垂直方向に１０２４本である
ものとする。

レチクル１上のパターンは一般にガラス板上にクロムに
よって描画されているので、アナログ映ｆψ信号は、明
暗、すなわち、白黒画像に応じた時系列信号になる。制
御回路５は画像１ｏｏ中の１走査線につき、１０２４回
クロックパルスを発生し、２値化回路３は各クロックパ
ルス毎に、アナログ映像信号をサンプリングして、画素
化した２値画ｆ象信号を出力する。

切出回路４は、１６ビツトのシフトレジスタ１０４と１
０２４ビツトのシフトレジスタ１０５を直列接続にした
ものを１５段分直列に接続し、最後に１６ビツトのシフ
トレジスタ１０４を接続した直列レジスタ列で構成され
ている。２値画像信号は、一番初めの１６ビツトシフト
レジスタ１０４に入力されると共に、制御回路５が発生
するクロックパルスに同期して、直列レジスタ列内に順
次転送されていく。前述のように、１走査線分のアナロ
グ映像信号は１０２４回のサンプリングによって２値化
されているから、２値画像信号は画像１００を１０２４
Ｘ１０２４画素に分割して、１画素を「０」か「１」の
２値論理で表わした時系列信号となろっ２値化回路３で
１回サンプリングが行なわれると、直列レジスタ列は１
回シフトされ、各画素に応じた論理値が次のビットに転
送される。閘、実施例において、２値化回路３は１走査
線を１０２４クロツクでサンプリングし、その後の帰線
期間中は１６クロツクでサンプリングし、さらに切出回
路４も、帰線期間中、１６回シフトされる。そして、１
６個のシフトレジスタ１０４から成る切出部１０３は、
画像１００中、１６Ｘ１６画素の局所的な矩形領域（以
下、窓と呼ぶ）１０２の２値画素情報を保持する。また
窓１０２は、走査が進むにつれて画像１００中を１画素
率位（１クロツクパルス毎）に移動して、画像１００の
全面から順次２値画素情報を切出す。さて、この窓１０
２で切出された１６Ｘ１６画素の２値情報は、第１図に
示す角検出回路６とエツジ検出回路７に入力する。角検
出回路６は、窓１０２内の明暗のエツジ（これＶまレチ
クル１上のパターンエツジに対応する）が、あらかじめ
用意された所定の角パターンのとき、その角に応じて４
つに分類した４、（重鎮の情報を出力する。

エツジ検出回路７は、例えば撮像したレチクル１上のパ
ターンの角が撮像元学系の影響で丸みをおびて、角検出
回路６では検出されないときにも、窓１０２内に角らし
きエツジが存在することを検出する、 一方、磁気テープ（以下Ｍ　Ｔとする）９に保存された
レチクル１のパターン作成時の設計データは、計算機１
０に読み込まれる。

ＭＴ９の設計データは一例として、第３図に示すような
矩形パターンの集合として、レチクル全面分を保存して
いる。実際の回路パターンは、これら矩形パターンをＦ
Ｍｌ＆に組み合わせて作成される。ここで１つの矩形パ
ターンは幅Ｗ、高さＨ、レチクル上の所定のｘｙ座標系
における中心座標値（Ｘ、Ｙ）、及び回転角θの５つの
パラメータで表わされる。

第１図において、ＷＥ算機１０は、撮像装置２によって
撮像されるレチクル１上の１画面の領域に相当する設計
データを出力する。その設計データの入力に基づいて記
憶回路１１は、前述の角検出回路６と同時に設計上のパ
ターンエツジの角のみを検出し、４ｓ類の角情報を抽出
して、記憶する。

同、記憶回路１１は、この時、設計データ中から、前述
の窓１０２の移動に従う順序で設計上１画面中に存在す
べき角情報を順次記憶する。そして記憶回路１１には、
例えば１画面に存在するパターンエツジの全ての角情報
が保持される。１画面分の角情報は、計算機１０の不図
示の記憶装置に、１画面分の情報として記憶される。こ
の間に、計３！機１θは、次の１画面分の設計データを
出力する。

以上、設計データから角情、報を抽゛出し、記憶回路１
１から計Ｈ磯１０の中の記憶装置にレチクル１のすべて
の画面に対応する角情報を記憶する壕での操作は、実際
の比較検査の前に行なわれる。

このようにして、計算機１０の記憶装置に角情報が蓄積
されると、次に実際の検査が開始される。このとき計算
機１０は、ステージ１４を２次元的に移動する駆動手段
１３を制御して、撮１象すべきレチクル１上の１画面分
の領域に位置を合わせる。同時に、計算機１０は記憶装
置４から、その１画面分の角情報を記憶回路１１に転送
する。

そして、制御回路５のクロックパルスに応じて、記憶回
路１１の角情報は、角情報切出回路１２に１１次送りれ
る。角情報切出回路１２（以下嚇に角切出回路１２とす
る）の切出領域は、前述の窓１□０２よ如も小さく定め
られている。角切出回路１２は、設計データに基づく角
情報をクロックパルスに同期して順次切出す。

先にも述べたように、制御回路５のクロックパルスは、
窓１θ２を１画面中で移動させるから、角切出回路１２
の切出領域（以下、参照窓とする）と窓１０２は、クロ
ックパルスに同期して同方向に移動する。

比較回路８は、角検出回路６が出力する角情報と、エツ
ジ検出回路Ｔが出力する検出結果、及び角切出回路１２
の情報を入力とし、レチクル上のパターンと設計データ
上のパターンが異なるときは、計′ｘ、ｉ１０に欠陥情
報を出力する。

具体的には、参照窓の情報中に角検出回路６０角情報と
同じ種類の角情報が１つでもあれば欠陥なしとする。又
、参照窓の中心部にある角情報が位置したとき、エツジ
検出回路Ｔが窓１０２中に角エツジらしきもの、又、羊
なる直線エツジを検出していれば欠陥なしとする。

以上のように、比較回路８は、撮像された一画面から得
られる角情報と、記憶回路１１に保持された角情報とを
１に次比較して、計算機１０にリアルタイムに欠陥情報
を出力する。

そして、このような操作をレチクル全面に行なうととＫ
より、レチクル１枚の欠陥検査が完了する。

尚、第１図において、ストロボ装置１５の制御について
は後述する。

次に、角検出回路６について、具体的に説明するが、そ
の前に、ＩＣパターンの特徴について述べる。一般に、
ＩＣパターンは、第３図に示したような矩形パターンを
多数組合わせて作られている。

また、ＩＣパターンは、レチクル上のｘｙ座標系に対し
て、矩形パターンの回転角θが４５°又は１３５°にな
るように決められている。回転角θがその他の場合は極
めてまれである。従って、ことではこれら矩形パターン
を組合わせてできる設計上あるいはレチクル１上のパタ
ーンエツジの角として９ｏ０と１３５°を考えることに
する。

第４図は、パターンエツジの角の分類を示す図である。

図において、Ａ〜ＦＦまでの３２個の正方形は、切出回
路４によって切出される窓１０２に相当する領域を示す
。そして各正方形において、斜線部は例えばクロム面に
対応した論理「１」の領域を、白部は、ガラス面に対応
した論理「０」の領域を示す。パターンエツジの角を９
０’と１３５°の角度に限れば、窓１０２内に表われる
角は、第４図の３２種類に限られる。角の分類の方法と
して、この３２種類をそのまま３２に分類すること、す
なわち３２の異なる符号を与えることも考えられるが、
そのようにすると、３２の分類のために２進数表現で５
ビツト（２５＝３２）が必要となる。そこで、第４図の
ように、この３２種類を４つに分類する。

まず、パターンエツジの角が９００と１３５゜の角度に
よ）２分類し、その２分類についてさらに、窓１０２中
の中心点（切出された１６Ｘ１６画素の（・１ぼ中央の
画素゛）に対し１て点対称の関係にあるものが同一グル
ープに入らないように２分類して、その４つの分類に各
々異なる符号を与える。また、同一角度の反転パターン
は同一グループに入れる。すなわち、同図中、例えば角
ＡとＢは反転関係にアシ、この２つの角は同一グループ
とする。

こうして、９０°の角のうち、角Ａ−Ｈは２進数でＯＯ
とし、角Ｉ−Ｐは２進数で０１として分類し、１３５°
の角のうち、角Ｑ−Ｘは２進数で１０とし、角Ｙ−ＦＦ
ば１１として、４つに分類して２ビツトで表わす。伺、
以下４つの分類を表わす２進数（００，０１゜１０．１
１）をコードと呼ぶ。例えば、角のＢとしは共に９０°
角であるが、点対称の関係にあるので、異なるコードを
与える。同−角層でも点対称によって分類するのは、角
の欠陥の様子と、比較回路８の比較動作に関連している
。このことについては、後述する。

角検出回路６は、この３２種類の角のバタ（／ｒ） −ンを参照パターン、いわゆるテンプレートとして備え
ていて、窓１０２中に現われるパターン（ビットパター
ン）とのマツチングを行なう。

第５図は、第２図で述べた切出回路４によって切出され
る窓１０２に対応した、１６段のレジスタ１０４による
１　６Ｘ１６ビツトを示す。

ここで、例えば第４図に示したＡ又はＢの角を検出する
には、１６Ｘ１６ビツト中、■〜■のビットと■〜０　
のビットの論理値を調べればよい。

第６図は、この人又はＢのうち、Ａの角を検出するアン
ド回路であシ、゛入力■〜■が全て「１」でアシ、入力
■〜０が全て「０」のとき、「１」を出力する。伺、Ｂ
の角を検出するには、入力■〜０のインバータを取シの
ぞき、入力■〜■の・各々にインバー・夕を通せばよい
。

このようなアンド回路は、第４図の３２種（／／） 類の角のパターン毎に３２個用意されていて切出回路４
の１６Ｘ１６ビツト中の参照パターンに応じた所定のビ
ットからの２値情報を各々入力する。

上述のようなアンド回路で角を検出して、２ビツトのコ
ードを出力する角検出回路６の構成を第７図に示す。マ
ツチング回路１０６は、第４図で示したＡ−ＺＺの３２
種類の角を検出したとき、それぞれ論理「１」を出力す
る３２個のアンド回路から構成される。同各アンド回路
は、第２図に示した切出回路４の切出部１０３からの２
値情報を入力する。

マツチング回路１０６の３２個の出力信号は４つにグル
ープ分けされる。すなわち、第４図に示したＡ−Ｈを検
出する８つのアンド回路の出力を８ビツトのデータＤ、
、Ｉ〜Ｐを検出する８つのアンド回路の出力を８ビツト
のデータＤｔ、Ｑ−Ｘを検出する８つのアンド回路の出
力を８ビツトのデータＤＢ、そして、Ｙ〜ＦＦを検出す
る８つのアンド回路の出力を８ビツトのデータＤ、とし
て、各々１．４つの８ビツト入力のオア回路１０７，１
０８，１０９゜１１０に入力する。エンコーダ１１１は
、各オア回路の４つの出力信号を入力し、その４ビツト
の２値化号をエンコードして、コードＣ１，Ｃ，として
出力する。

次に、この回路の動作を説明する。

例えば第４図に示し九〇の角が窓１０２中に表われると
、マツチング回路１０６中の３２個のアンド回路のうち
Ｃの角を検出するアンド回路のみが論理「１」を出力し
、他のアンド回路は「０」を出力する。そこで、データ
Ｄ１の８ビツトのうち、１ビツトが「１」、７ビツトが
ｒＯＪとなるから、オア回路１０７の出力が「１」を出
力し、他の３つのオア回路１０８，１０９，１１０は共
にｒＯＪを出力する。この時エンコーダ１１１は、入力
Ｂ。

が「１」で入力Ｂｔ　ｗ　Ｂｓ　＊　Ｂ４が「０」の２
値化号をエンコードした２進数から１を引いた２進数を
２ビツトのコードＣ，、Ｃ，として出力する。すなわち
、上述の場合ｃ、　ｃ、　＝ｏｏとなる。

また、第４図に示したＦＦの角が窓１０２中に表われる
と、エンコーダ１１１の入力は入力Ｂ、〜Ｂ、が「０」
、入力Ｂ４が「１」となるので、コードはＣ，Ｃ２＝１
１　となる。伺、エンコーダ１１１は、入力Ｂ、〜Ｂ４
のいずれか１つが「１」になったとき、すなわち角が検
出されたとき、フラグＦを出力する。フラグＦは角が検
出されれば「１」が、検出されなければ「０」が立てら
れる。

次に、第１図に示したエツジ快出回路７について説明す
る。第８図は、エツジ検出のために設定された、９Ｘ９
画素の矩形領域を示す。この領域は前述の１６Ｘ１６画
素中のほぼ中央部に位置する。従って、第２図に示した
１６Ｘ１６画素の情報を切出す１６　Ｘ　１６ビツトの
切出部１０３のうち、９×９ビツトで構成された領域１
２０からの情報に基づいてエツジ検出を行なう。伺９×
９ビットの領域１２０の中心ビット（中央画素に相当す
る）（／／） の位置は、第５図に示した１６Ｘ１６ビツトのうち縦横
で（Ｈ，９）のビットに定められている。債１１エツジ
検出のために着目するビットは、９×９ビツト中の周囲
に４ビツト毎に位置したビット■〜■の８つである。

第９図は、エツジ検出回路７の構成を具体的に示した回
路図である。８つの排他的論理和回路（以下、ＥＸ−Ｏ
Ｒとする。）１２１は９×９ビツト領域１２０の周辺の
８ビツト■〜■から２値化号を入力する。ぞして、この
８ビツトのうち、ひとつでも論理値が異なれば、オア回
路１２２が論理値「１」を出力して、何らかのエツジが
検出されたことを示す０８つのＥＸ−ＯＲ１２１の入力
のそれぞれは、９×９ビツト領域１２０中で着目した８
つのビットのうち、互いに隣シに位置する２つのビット
から取シ出される。

例えば第１０図のような角らしきものが９×９ビツト領
域１２０中に現われたとする。

斜線部は論理値「１」の領域である。すると（２σ） エツジ検出回路７の入力■と■、及び入力〈１）と■は
互に論理値が異なるから、オア回路１２２は論理値「１
」を出力する。また、単に領域１２０中に、直線状のエ
ツジが表われた場合でも、上述の動作により、オア回路
１２２は論理値「１」を出力する。

以上に述べたエツジ検出回路７は、レチクルの検査時に
撮像装置２の走査と共に、実時間で動作する。伺、この
９×９ビツトの領域１２０中に、何らかのパターンエツ
ジが現われだことをより確実に検出するには、９×９ビ
ツトの周囲に位置する３２ビツトの全ての２値化号を入
力して、その状態を前述のように調べればよい。この場
合、周囲３２ビツトが全て同−論理値であれば、パター
ンのエツジではなく、３２ビツトのうち、１つでも論理
値が異なれば、エツジを検出したことになる。

次に、第１図で示したＭＴ９から設計データを読み込ん
で、角情報を保持する記憶回路１１について第１１図に
より説明する。

記憶回路１１には設計データから、１画面に対応する設
計上のパターンとして、「Ｏ」、「１」の２値画像に変
換する１０２４Ｘ１０２４ビツトのフレームメモリ１３
０と、そのフレームメモリ１３０から、撮像装置２の定
食の順番に応じて時系列的な２値化号を読み出す続出回
路１３１が設けられている。スイッチＳＩは、非検査時
にａ（ｌＩＩｌに、検査時にｂ側に切換えられる。ｂ（
Ｉｌｌには、第２図で示した２値化回路３の２値画像信
号が入力する。読出回路１３１の出力信号から、前述の
切出回路４によって、フレームメモリ１３０中の局所的
な矩形領域の２値情＠１３３が取シ出される。

ただし、その矩形領域は、フレームメモリ１３０中に生
成されたビットパターンが設計データに基づいているた
め、「１」、「０」の境界の直線性がよく、角もはつき
シしていて切出回路４の１６Ｘ１６ビツトよりも小さな
領域から取り出すことができる。取り出されだ２値情報
１３３は前述の角検出回路６と同様の検出回路１３５に
入力し、４種類に角を分類する。検出回路１３５の出力
１３４は分類を飛わすコード（００，０１，１０゜１１
）と、角を検出したか否かのフラグからなる。入出力制
御回路（以下、１１０回路という）１３６は出力１３４
０入力に基づいて、コードは参照データメモリ１３７に
格納し、フラグは、フラグメモリ１３８に格納する。

以上の格納の操作は非検査時に行なわれる。

検査時にＶ土、スイッチ８１がｂ側になり、切出回路４
の出力情報は、前述した角検出回路６とエツジ検出回路
７の入力となる。同時にＩｌｏ　　回路１３６は、参照
データメモリ１３７とフラグメモリ１３８に格納された
コードとフラグヲ参照情報１３９として、出力する。

伺、読出回Ｉ烙１３１、Ｉｌｏ　回路１３６、切出回路
４は、１１１ｇ１図で示した制御回路５のクロックパル
スに基づいて動作する。また参照データメモリ１３１は
、フレームメモリ１３０（２）） 中で角が存在する水平方向（走査方向）のビット列のみ
の角情報を保持し、フラグメモリ１３８は、フレームメ
モリ１３０の化直方向のビット数、ここでは１０２４ビ
ツトと同じビット数から構成され、フレームメモリ１３
０の水平方向のビット列（１０２４列分）に角があれば
、対応するフラグメモリ１３８のビットに「１」が、な
ければ「０」が保持される。この操作は、全てＩｌｏ　
回路１３６によって行なわれる。

次に、第１２図を用いて、参照データメモリ１３７が角
情報を保持する動作について述べる。

第１２図において、切出回路４によって切出された２値
情報１３３は、図中矩形領域１４０（以下、窓１４０と
する。）に相当する。この窓１４０は、矢印のように、
フレームメモリ１３０中を′走査する。参照データメモ
リ１３７は、窓１４０の水平方向の１走査分に対して、
５１２ビツトが用意されている。

＜、４　） （以下、この５１２ビツトを１ライン分のメモリと呼ぶ
。）窓１４０が、図のように角のある部分を水平に走査
すると、走査の初めのところでは、角がないので、検出
回路１３５のフラグはｒＯＪであり、１ライン分のメモ
リの初めの部分には「０」が書き込まれる。

伺、窓１４０の走査が２ビツト行なわれる毎に、１ライ
ン分のメモリでは１ビツトづれだ隣りのビットに２値論
理を格納していく。従って、１ライン分のメモリは、フ
レームメモリ１３０の水平方向の１０２４ビツトの情報
を１／２に圧縮して保持することになる。

さらに走置が進み、窓１４０がパターン１３２の左上の
角をとらえると、１ライン分のメモリ中の対応するビッ
トに角の存在を示す「１」が保持され、そのビットに続
く２ビツトに、検出回路１３５が出力するコードＣ，Ｃ
，が保持される。そして、角の存在しないところは、１
ライン分のメモリの対応するビットに「０」が書き込ま
れる。このように窓１４０が角の存在する部分を１走査
すると、第１２図のように１ライン分の参照データが作
られる。

そこで、実際のパターンとして、第１１図に示すフレー
ムメモリ１３０中に設計データに基づいて２値画像化さ
れたビットパターン１３２が存在した場合、参照データ
メモリ１３７と、フラグメモリ１３８には、第１３図の
ような情報が保持される。ビットパターン１３２上で角
は４つあり、それぞれの角のコードは、第４図の分類に
従って、検出回路１３５が出力する。ｆ旬、フレームメ
モリ１３０中のビットパターンに角が存在するのは、２
本の水平ビット列上のみであるので、参照データメモリ
１３７には、２ライン分のメモリＩ’ｌ　＋　Ｌ２のみ
に参照データが保持される。一方、フラグメモリ１３８
には、１０２４ビツトのうち、フレームメモリ１３０の
２本の水平ビット列に対応した２つのビットに「１」を
、他のビットには全て「０」を立てた１画面分のフラグ
データが作成される。冑、以上の説明で、参照データメ
モリ１３７とフラグメモリ１３８は、１０２４Ｘ１０２
４ビツトの１画面に相当する領域のみを保持するが、実
際にはレチクルの欠陥を撮像装置２の映像信号の入力に
基づいて検査する前に、レチクル上の１画面分ησに設
計データから、参照データとフラグデータが作成され、
前述の計算機１０の記憶装置に保持される。例えばレチ
クル全面を１０×１０、すなわち１００画面に分けて、
検査するとすれば、その記憶装置はフラグデータの記憶
用として、１０２４Ｘ１００ビツトの固定されたビット
長のメモリ容量が必要となる。一方、参照データの記憶
用として、フラグメモリ１３８中の論ｍｒＢのビット数
だけ５１２ビツトの１ライン分のメモリ容量が必要とな
る。従って、例えばフラグメモリ１３８中の１０２４Ｘ
１００ビツトに「１」の数が１０００あれば、参照デー
タの記憶用として、５１２ビツトＸ　１０００ライン分
の容量が必要とガる。

ところで、Ｉｌｏ　回路１３６は、参照データメモリ１
３７とフラグメモリ１３８に検出回路１３５の出力１３
４に基づいて、上述のようにデータを格納する。゛また
、検を時には格納されたデータを、各々のメモリから順
番に参照情報１３９として出力するように制御する。参
照情報１３９は、フラグメモリ１３８のフラグが「０」
ならば、時系列の論理信号として、「０」を５１２ビツ
ト分出力し、フラグが「１」ならば、そのフラグに対応
した参照データメモリ１３７の１ライン分のデータを時
系列的に出力する。

次に、第１図で示した検査時に働く角切出回路１２と比
較回路８について第１４図により説明する。

角切出回路１２は、直列シフトレジスタ列から構成され
ている。直列シフトレジスタ列のうち、１０ビツトレジ
スタ１６０が９段並んだところを参照窓１５０とする。

各１０ビツトレジスタ１６０には、５１２ビツトのレジ
スタ１６１が直列に接続されている。

Ｉｌｏ　回路１３６からの参照情報１３９は、１０ビツ
トのレジスタ１６０から、ｆＵ！Ｉ御回路５のクロック
パルスに同期して、１ビツトずつ直列シフトレジスタ列
に転送され、シフｉ・される。向、シフトするタイミン
グは、実Ｉ糸には、クロックパルスの２クロツクで１回
シフトするようになっている。参照窓１５０の１０×９
ビツトの９０ビツト分の２値情報１５１は、そのまま比
較回路８に入力する。

ここで、Ｉｌｏ　回路１３６と角切出回路１２及び比較
回路８の動作について説明する。

制御回路５が、第２図で示した１水平走査線の初めの１
クロツクを出力する前に、工１０回路１３６は、フラグ
メモリ１３Ｂ中のその走査線に対応したビットのフラグ
が「０」か「１」かを調べて、それが「１」ならば、参
照データメモリ１３７中のその１ライン分の参照データ
（５１２ビツト）を、２クロツクパルス毎に１ビツトず
つ参照情報１３９として出力する。もしフラグが「０」
ならば、その水平走査の期間中（１０２４クロツク）は
、参照情報１３９として５１２ビツト分のｒＯＪを２ク
ロツクパルス毎に出力する。それら出力は、直列シフト
レジスタ列によって、順次シフトされていく。また撮像
装置２の帰線時間中は、１０ビット分の「０」を参照情
報１３９として発生し、直列シフトレジスタ列も１０回
シフトされる。このように、検査の開始に応答して、参
照データメモリ１３８の参照データは、順次、参照窓１
５０によって切出される。岡、検査の開始から、角検出
回路６、エツジ検出回路７も作動し、レチクル上のパタ
ーンの角情報を出力する。

第１５図（ａ）は、参照窓１５０に表われる角情報を示
した一例である。矩形状の参照窓１５０の１０×９ビツ
トのビット位置を（ｘｙ）で表わすと、３Ｆ＝４とｙ＝
８のＸ方向のビット列は、参照データから取シ込まれた
論理値であり、能のｙ列は、フラグ「０」により、論理
値「０」が取り込まれている。伺、これは図中「・」印
で表わす。

前述のように、角切出回路１２の切出動作に同期して、
第２図で示した、レチクルのパターンを撮像した一画面
中の窓１０２も移動する。このとき、窓１０２が第１５
図（ｂ）のようなパターンの角をとらえると、角検出回
路６は、フラグＦを「１」にし、コードとしてＣ，Ｃ２
＝００を出力する。

比較回路８はフラグＦの「１」を検出したとき、参照窓
１５０の２値情報１５１を（ｘ、ｙ　）−（１，１）か
らｌｘ、　ｙ　）＝　（１０，９）ｔ：で１ビツト毎に
調べて、「１」になっているビットを見つけたら、それ
に続く２ビツトの論理値と、角検出回路６が出力するコ
ードとを比較する。もし、そのコードが参照窓１５０中
に１つも存在しなければ、比較回路８は欠陥ありとする
情報ＥＲＲを出力する。この比較は、レチクル上に設計
データ通りのパター（、？／　） ンの角が形成されているときに行なわれる。

ところが、パターンの角が不確実に形成されていて、角
検出回路６がフラグＦを出力しなければ、この比較は行
なわれないから、レチクル上の該当する位置に角自体が
存在しなかったものとみなされる。このような場合を考
慮して、第１５図（、）の参照窓１５０の中央のビット
、例えば（Ｘ、ｙ）＝（６，５）のビットが「１」にな
ったとき、すなわち、設計データ上で角があるとき、エ
ツジ検出回路７が何らかのエツジを検出して、その結果
が１１」であれば、比較回路８は欠陥なしとする情報Ｅ
ＲＲを出力する。同、この情報ＥＲＲは、欠陥の有無の
みではなく、その欠陥の位置に関する情報も含んでいる
。これは、制御回路５のクロックを計数すれば容易に得
られる。

呼た、角検出回路６の４つの分類方法は、上述の比較の
方法に関連する。このことを第１６図によシ説明する。

図中、斜線部は参照（θ２） 窓１５０の領域に応対したレチクル上のパターンを示し
、点線は、設計データ上の角Ｄ１を示す。レチクル上の
パターンの角は、欠陥として一部が欠落している。角検
出回路６によって、レチクル上のパターンの角Ｒ＋　！
　Ｒ２＋　Ｒｓを分類すると、コードは、Ｒ１（０１）
、　Ｒ２（ｏｏ）。

Ｒ，（０１）に々る。一方、参照窓１５０中にはコード
としてＤ＋（０１）のみが存在する。

上述の比較回路８の動作からパターンの角Ｒ２が検知さ
れたとき、参照窓１５０中には、同じコードが１つも存
在しないから、これは欠陥として検出される。

このように、レチクル上のパターンの角の一部が参照窓
１５０に対応した領域内で欠落または変形が生じた場合
、Ｒ１ｙ　＆のような角とＲ２のような角とを別の分類
、すなわち異なるコードにすることによって、少ないコ
ードでも欠陥が検出できる。

このように、比較回路８は角検知回路６がコードを出力
したとき、参照窓１５０中に存在するフラグやコードを
調べているので、撮像装置２が撮像する１画面が、あら
かじめ設計データから定められた設計上の領域と微小に
ずれたときでも、そのずれを何ら修正することなく検査
可能となる。

捷だ、本発明の実施例において、角検出回路６中のマツ
チング回路は、１つの角パターンを検出するのに、例え
ば第５図のように１６’Ｘ１６ビツト中の■〜０の１３
ビツトから２値化号を取り出している。この図で示した
ように、１６Ｘ１６ビツト中、ビットパターンのエツジ
が通過する取り出しビット、例えばビット■と０、ビッ
ト■と■の間は、１ビツトの余裕がある。一般に、ＩＴ
ｖ等によって、撮像され、２値化されたビットパターン
は、直線が滑らかではなく凹凸が生じやすい。そこで、
この凹凸を許容して、角検出ができなくなるのを防ぐた
めに、その余裕が設けられている。

以上の実施例の説明で不図示ではあるが、ステージ１４
の２次元的な位置は、光波干渉計等によって常に座標値
として計測されている。このステージ１４の座標値は、
Ｉｆ′ｉｎ機１０へ機力０れている。撮像装置として、
例えばＩＴＶ２がレチクル１を撮像して実際の検査を開
始するとき、計′ｔＪ、機１０は、駆動手段１３を、ス
テージ１４０座標値に応じて＋１７１ｊ御する。

すなわち、ステージ１４は、ＩＴｖ２がレチクル１の１
画面分の領域を撮像して、前述のような比較動作が完了
すると、隣りの１画面分の領域を撮像するように移動す
る。このとき第１図に示したストロボ装置１５の発光に
よって、ＩＴｖ２は１画面を入力する。このことについ
て、第１７図に基づいて説明する。

第１７図において、波形１刀はストロボ装置１５の発光
タイミングを、波形（ｎ）は、前述したような、比較検
査の動作タイミングを、波形（Ｃ）は、計算機１０の記
憶装置から１画面分の参照データとフラグデータとを記
憶回路１１へ転送する動作タイミングを、及びＩＴＶ２
の（ｖ） 受光面に画像に応じて放電した電荷を充電する、いわゆ
る残像消去のタイミングを表わす。

今、レチクル１上の検査すべき１画面分の領域がＩＴＶ
２の直下に位置すると、すなわち計算機１０が、ステー
ジ１４の座標値を所定値と判断すると、時刻ｔ、におい
て、ストロボ装置１５に発光開始信号を出力する。そし
て時刻ｔ２においてＩＴＶ２の受光面には、検査すべき
レチクル１上の領域のパターン像に応じて荷電が生じる
。時刻ｔ、から、ＩＴｖ２は走査を開始すると共に、前
述のように、記憶回路１１の参照データ中のコードと、
角検知回路６が出力するコードとを比較回路８によって
比較し、検査を始める。そして、時刻ｔ３において、１
画面分の検査が完了する。時刻ｔ３以後に、計算機１０
の記憶装置に蓄積された、次の１画面分のデータ（参照
及びフラグ）が記憶回路１１の参照データメモリ１３７
、フラグメモリ１３８に転送される。時刻ｔ４で転送が
完了すると、計算機１０は、再び発光量（ｐど） 始信号をストロボ装置１５に出力する。時刻ｔ、とｔ４
の間、いわゆる転送期間中に、ＩＴＶ２の残像消去が行
なわれる。ここで、レチクル１を動かすステージ１４は
、時刻ｔ２からｔ４の間に、次の１画面をＩＴＶ２が撮
像するようにｇ動手段１３によって移動される。

以上の動作は、レチクル１の全面に渡ってくシ返し行な
われる。

このように、ストロボ装置１５の閃光発光時にのみ、Ｉ
Ｔｖ２が画像を入力しているので、実際には、ステージ
１４を歩進移動させるのではなく、連続的に速度制御を
行ない移動させておくことができる。そして、干渉計に
よって計測されるステージ１４の座標値が、レチクル１
０次の１画面に対応する値のとき、計算機１０が発光開
始信号を出力するようにしてもよい。また、ステージ１
４を等速度で移動させ、その速度に応じて一定時間毎に
ストロボ装＠１５の閃光発光を行なうようにして、発光
間隔中に、上述の比較検査、転送及び残像消去の動作を
行なうこともできる。このようにすれば、ステージ１４
を歩進移動するよりも高速に検査できる。

また、ｉ前述の実施例で、ＩＴＶ２がレチクル１を撮像
する】画面は、設計データに基づいて、あらかじめ１画
面分として用意された設計上の領域と一致させる必要が
ある。このため、レチクル１をステージ１４に載置する
際に、レチクルの回転ずれの補正やステージ１４の座標
の原点を設定する。このことについて第１８図により説
明する。

第１８図（ａ）は、レチクル１中のパターン描画領域２
０１を、マトリックス状に細分した様子を示す図である
。同図中、マトリックスの１つの正方形は、ＩＴＶ２が
撮像する１画面の領域に対応する。レチクル１が、第１
図に示したステージ１４上に簡単な位置合わせによって
載置されると、ステージ１４の２次元的な移動、すなわ
ち座標の基準となる原点を設定する。この原点の設定は
、駆動手段１３中の不図示のカウンタを零にクリアする
ことによって行なわれる。このカウンタはステージ１４
の座標１直を表わすようＶＣなっていて、ステージ１４
の移動に伴って、計数値が増減する。

この原点は、描画領域２０１上の角部分に位置した、例
えば３×３画面分の領域２０２から決められる。本来な
らば、左上角の１画面領域ａだけで原点を設定できるが
、領域ａに、パターンが形成されていないと、原点が定
まら々いので、一応３×３画面の９つの領域ａ　＝　ｉ
を考慮し、この９つの領域のうち、いずれか１つを選ん
で原点設定に用いる。

今、との９つの領域のうち、１画面領域ｉに、伺らかの
パターン２０６が形成されているとすると、１画面領域
ｌを原点として定める。第１８図（ｂ）に示しだ実線は
領域１１すなわち、ＩＴＶ２で撮１象される１画面を表
わす。

そこで、１画面領域ｉに対応した針設データを、前述の
ように計ｎ機１０から、読み出しく、ザ） て、第１１図に示した記憶回路１１中のフレームメモリ
１３０に、設計上存在すべきパターンをビットパターン
として展開する。そして、読出回路１３１が出力する時
系列の２値化号を、画像再生装置、すなわち、モニタテ
レビに入力して、１画面領域ｉに対応した設計上のパタ
ーンをテレビ画面に再生する。このテレビ画面の領域は
、第１８図（ｂ）に破線で示す設計領域２０５で表わす
。このテレビ画面にＩＴＶ２の画像信号を同時に再生す
ると、レチクル１上のパターン２０６と、設計上のパタ
ーン２０７との重ね合わせ状態が観察できる。

レチクル１上のパターン２０６は、ステージ１４の移動
に伴って、テレビ画面中を移動するから、実際に原点を
定めるには、ステージ１４を動かして、テレビ画面中の
設計上のパターン２０７と重ね合わせたところで、前述
のカウンタをクリアすればよい。

次に、レチクル１の微小な回転誤差を補正（ヂρ） する。これには、レチクル１」二、なるべく周辺側に離
れた２ケ所に位置する領域２０３と２０４中の１画面に
対応した領域を用いる。

ここで、レチクル１に、第１８図（、）に示した仮想的
なｘｙ座標を考えてみると、マトリックス状に細分され
た各１画面領域は、このｘｙ座標に従っている。このｘ
ｙ座標の各軸を、ステージ１４の２次元的な移動方向と
一致させないと、ステージ１４の移動に伴って、Ｉ　Ｔ
　Ｖ−１）Ｅ取込む１画面が設計上の領域とずれてしま
う。

そこで、第１８図（ｂ）で説明したのと同様に壕ず、領
域２０３中の、１画面領域ｊに、Ｘ軸と平行な特定のエ
ツジ（第１水平エツジとする。）を有するパターンｔＩ
ＴＶ　によって見つける。このとき、設計データから、
エツジのｙ座標値も求めておく。水平エツジが見つかる
と、この１画面領域ｊを、前述のようにテレビ画面上に
再生する。そして、領域２０４中の１画面領域ｍに対応
した設計データから、１画面領域ｊで見つけた第１水平
ニジと同じｙ座標値の第２水平エツジを有する設計上の
パターンを見つける。伺、この操作は計算機１０により
行なわれるっそのパターンが見つかれば、ステージ１４
をＸ軸と平行に移動する。そして、１画面領域ｍをＩＴ
Ｖで撮像し、テレビ画面上に再生して、第１水平エツジ
と、第２水平エツジを重ね合わせる。

もし、同−ｙ座標値の第２水平エツジがなければ、領域
２０３中の１画面領域ｋについて第１水平エツジを見つ
けることから繰返される。尚、この重ね合わせは、ステ
ージ１４に設けられた不図示の微小回転機構によって、
レチクル１をステージ１４に対して微小回転して行なわ
れる。この際、その回転中心は、レチクル１の領域２０
３の近傍が望ましい。

また、上述したように、原点設定では、パターンが形成
されている１画面の領域を９つの領域ａ−１から選ぶ必
要があるが、これは、非検査時に用意された各領域の設
計上の特徴情報を計算機ｉｏｎ二上って調べれば、極め
て簡単にできる。

寸だ、第１１図の説明で述べたように、実際の検査時に
は、フレームメモリ１３０、読出回路１３１は動作しな
いが、第１９図のように接続することによって、撮像装
置２の受光面に付着したゴミや傷に対して比較回路８の
比較動作を禁止することができる。第１９図は、実際の
検査時の接続を示し、スイッチＳ、はｂ側に切替えられ
ている。実際の比較検査の前に、撮像装置２は、パター
ンのない無地の画像、すなわち、受光面のゴミや傷のみ
の画１象を走査する。このとき出力される２値画像信号
を、フレームメモリ１３０に入力して、ゴミや傷に対応
した２値画像を生成する。

ゴミや傷が存在すると、フレームメモリ１３０の対応す
るビットには、例えば論理「１」が入力し、存在しなけ
れば、論理「０」が入力する。次に、撮像装置２がパタ
ーンの原画像を走査し始めると、この走査に同期して、
続出回路１３１はフレームメモリ１３０から、走査して
いる１画素に対応したビットの論理値を時系列に出力す
る。この時系列の２値偏号を禁止信号ＩＮＨとして、比
較回路８に入力する。比較回路８は、前述のように比収
侠査を行なうわけであるが、このとき、禁止信号ＩＮＨ
が例えば論理「１」であれば、比較動作を禁止するか、
比較動作は行なっても欠陥ありとする欠陥情報ＥＲＲは
出力しないようにする。

フレームメモリ１３０をこのように用いることによって
、受光面のゴミや鶴によって、あたかも欠陥あシとして
検査されることを、実時間で防止することができる。ま
た、ゴミや傷による禁止だけではなく、フレームメモリ
１３０に生成される２値画像を操作して、検査する１画
面中の任意の領域を比較禁止領域に設定することもでき
る。

同、フレームメモリ１３０の受光面のゴミや傷の２値画
像は、１画面の検査毎に撮像装置２で撮像して生成する
必要はない。それはゴミや傷の受光面上の位置が短時間
に変化することかないからである。従って、フレームメ
モリー３０のゴミや傷の２値画像のデータを、計算機１
０の記憶装置に入れておき、必要なときに、フレームメ
モリー３０へ転送すればよい。ゴミは、時間と共に多く
なるからそのデータを時々更新してやればよい。

／ ／′ ／′ ／ （４６） ル十、本発明の実施例は半導体１ｃ製造川ハレチクルや
マスクな級検査物としたが、その他にプリント基板を作
るためのマスクにもわずかな変更ｆより本発明を応用で
きる。こσ）際、プリント基板のパターンがＣＡＤ　（
コンピュータ・エイデツド・テサイン）Ｋよるパターン
作成テークにより設計されているｔｃら、そのテークを
本装置の設計情報として扱えるように、フォーマット（
形式）変換すればよい、ぼた、レチクルやマスクのパタ
ーンは、ＩＴＶの如き撮像装置で像走査を行なって画像
化されているが、レーザ光等のスポットで直接パターン
を走査して、パターンによつ１変化する反射光又は透過
光等を検出して、画像信号を発生するようにしてもよい
。また、実施例ではパターンの特徴とし１角を検知して
いたが、それ以外に三角形、方形、円形の如き形状に関
する特徴や、パターンを走査したとき走査紳士に現われ
るエツジの変化に関するｔＰ！Ｆ徴（エツジの数、エツ
ジからエツジ１での画素数等）を検知して本発明に適用
することもでざる。

以、ヒ、本発明の実施例ケ述べたが、讐するに本発明は
、レチクルやマスクの如き被検査物上のパターンを走を
手段としての撮像装置２．２値化回路３で走査して、パ
ターンの画像を画素化するための画像２値情報を発生し
、画像生成手段としてのフレームメモリ１３０、読出回
路１３１によって、設計テークからパターンの設計上の
２値画像を生成する設計２値情報を得て、画像２値情報
に基づい℃検知されるパターンの特徴と、設計２値情報
に基づい又検知されるパターンの設計上の特徴とな比較
し又、パターンが設計超りｆＴられ又いるか否かを検査
するに際して、設計２値情報に基づいて、検知手段とし
又の切出回路４、検出回路１３５　Ｖｃよって走査手段
の走査線上に現われるべきパターンの設計上の特徴例え
ば角を検知し℃、その特徴に所定の２値符号としてのフ
ラグＦとコードＣ，Ｃ，を与える。

そして、走査手段の走査線上の画素例えば１０２４画素
を所定直重数、例えば２画素毎に分割したとき、その分
割数に応じたビット数、例えハ５１２ビツトを備えると
共に、パターンの設計上の特徴が現われるべき画素位置
に対応したビットから、検知手段の２値符号を記憶する
記憶手段としての参照データメ士り１３７を設けること
である。

以上のように本発明によれは、設ｆｉ＋　２値情報はそ
のまま記憶し℃検査に使われるのではなく、パターンが
設計上備えるべき特徴のみを検知して、２値符号化し又
記憶手段としての参照テークメモリートにＢＣ憶される
から、従来よりも保持ツーべき情報量は少なくなり、記
憶手段の客間も小さくて済むという利点がある、さらに
、記憶手段はｌ走査線上に埃われるべき設計上の特徴に
関する２値符号を、た査線の画素位置に対応し又圧縮記
憶しているので、画像２値情報に基づい又検知されるパ
ターンの実際の特徴に関する情報を記憶手段に記憶され
た特徴に関する情報と比較照合する際にも記憶手段に記
憶された情報は単に走査手段の走査に連動し℃ビット毎
に読出せばよ（、極めて簡単な構成のもとに、記憶すべ
き情報量が少ない検査装置か実現できる。

また実施例で述べたように、走査線上に設計上の特徴が
１つ以上存在するか否かを示すフラグメモリを設けるこ
とＫよつ１、記憶手段には特徴のない走査線−ヒに関し
℃は伺ら情報が記憶されないから、さらに情報量が低減
するという効果が生じる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すブロック図、第２図は第
１図の一部、特に切出回路４金よね詳細に示す図、 第３図は第１図の磁気テープ９に読み込まれる設計デー
タの一例としての矩形パターンをｘｙ座標を用いて示す
図、 第４図はパターンエツジの角の分類を示す図、 第５図は第２図に示す切出回路４によって切出される窓
に対応した１６Ｘ１６ビツト図、第６図は第４図に示す
への角を検出するアンド回路を示す図、 第７図は第６図の如きアンド回路で角を検出して２ビツ
トのコードを出力する角検出回路を示す図、 第８図はエツジ検出のために設定された９×９画素の矩
形領域を示す図、 第９図はエツジ検出回路の構成を示す回路図、 第１０図は９Ｘ９ビツト領域を示す図、第１１図は記憶
回路の詳細を示す図、 第１２図は記憶回路中のフレームメモリを示す図、 第１３図はフレームメモリ中に設計データに基づいて２
値画像化されたビットパターン１３２が存在し走場合、
参照データメモリ１３７とフラグメモリ１３８に保持さ
れる情報を示す図、 第１４図は検査時に働らく角切出回路１２と比較回路８
と圧ついて説明するための図、第１５図（ａ）は参照窓
１５０に表われる角情報の一例を示す図、第１５図（ｂ
）は窓１０２がパターンの角をとらえた状態を示す図、
第１６図は参照窓１５０の領域に応対したレチクル上の
パターン（斜線部）と設計データ上の角（点線）を示す
図、 第１７図はストロボ装置の発光タイミング（波形（Ａ）
）と比較検査の動作タイミング（波形（Ｂ））と、記憶
装置から１画面分の参照データとフラグデータとを記憶
回路へ転送する動作タイミング（波形（Ｃ））を示す図
、第１８図（ａ）はレチクル中のパターン描画領域をマ
トリックス状に細分した様子を示す図、第１８図（ｂ）
は第１８図（ａ）に示す１画面領域ｌとこれに対応する
設計データがテレビ画面に再生された状純の図、 第１９図は撮像装＃２、フレームメモリ１３０、読出回
路１３１、比較回路８等の実際の検査時の接続を示す図
である。 （讃１ 〔主Ｊ９部分の符号の説明〕 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・被検査物２・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・撮像装置３・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・　２値化回路　　　−斗
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・　切出手段６・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・角検出回路７・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・エツジ検出回路８・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
比較回路９・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・磁気テープ１０・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・ｆｆｆｉｔ算機１１・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・記憶回路１２・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・角切出回路１３０・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・　フレームメモ
リ１３１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・を読出回路１３３・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・　２値情報１３５・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
検出回路１３６・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・　Ｉ／、０回路１３７・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・参照データ
メモリ１３８・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・　フラグメモリ（♂グ） ロ・口・口２因臣　　− 閃・■〜し′＝■斜 困・関・図・日ｇ 凶・【１山巳ト 罷−■・口・困雰 國・困・囲・口嬰 閑・■・國・因・ 旨］く１門・爾ヨ・■司・ ■臼日日 聞−ｆ冒一覧Ｆ−１で一フ二ご二」 く［ＪＯ田Ｌ（σニーＨｉＪΣ２ΩＬ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 設計データに基づい１被検査物−ヒに形成されたパター
   ンを走査して、該パターンの画像を画素化するための画
   像２値情報を発生する走査手段と、前記設計データに基
   づいて前記パターンの設計上の２値画像を生成するため
   の設計２値情報を発生する画像生成手段とを有し、前記
   画像２値情報と設計２値情報に基づいて前記パターンの
   特徴とそのパターンが設計士備えるべき特徴とを比較し
   て、前記パターンが設計通り作られているか否かを検査
   する装置において、前記設計２値情報に基づいて、前記
   走査手段の走査線上に現われるべき前記パターンの設計
   上の特徴を検知し又、その特徴に所定の２値打号を与え
   る検知手段と：　前記走査線上の画素を所定画素数で分
   割したとき、その分割数に応じたビット数を備えろと共
   に、前記パターンの設計上の特徴（１１＾ が現われろべき画素位置に対応し、たビットから、前記
   検知手段の２値打号を記憶する記憶手段とを有し、前記
   パターンの設計上の特徴に関する情報を圧縮し又保持す
   ることを特徴とするパターン検査装置。