JPS622533U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案装置の一実施例のウエハ貯留
中の状態を示す一部破断正面図、第２図は、第１
図のＡ―Ａ線における横断面図、第３図は、カセ
ツトの正面図、第４図は、本考案装置にカセツト
を載置した状態を示す、第１図に相当する正面図
、第５図は、本考案装置に載置したカセツトを、
純水中に没入中の状態を示す、第１図に相当する
正面図、第６図は、本考案装置により、純水中に
貯留したカセツト中のウエハを取り出す状態を示
す、第１図に相当する正面図、第７図は、第１図
とは別の実施例を示す一部断破断正面図である。 １……基枠、２……案内杆、３……螺杆、４…
…スプロケツト、５……無端チエーン、６……減
速モータ、７……昇降体、８……ソレノイド、９
……アーム、９ａ……基部、９ｂ……先端部、９
ｃ……支持板、１０……枢軸、１１……長孔、１
２……ピン、１３……純水槽、１４……純水、１
４ａ……水面、１５……溢水溝、１６……注水管
、１７……排水管、１８……エアーシリンダ、１
８ａ……ピストン杆、１９……プツシヤ、２０…
…コンベヤ、２１……カセツト、２１ａ……側板
、２２……支持溝、２３……ウエハ、２４……検
知片、２５，２６，２７……センサ、２８……支
柱、２９……検知片、３０……センサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 液槽と、 多数の薄板材を上下多段に収納したカセツトと
   、 昇降することにより、カセツトを載置した先端
   部が液槽に出没するとともに、上下に傾動しうる
   アームと、 アームを昇降させる昇降装置と、 アームを傾動させるための傾動傾動駆動源と、
   カセツトから薄板材を搬送装置へ押し出すプツシ
   ヤとからなり、 アームに載置されたカセツト中の薄板材を傾斜
   させて、水中に没入させた後、液中貯留し、かつ
   薄板材使用時には、薄板材を水平とし、上段より
   １枚ずつ水面上に突出させ、プツシヤにより、順
   次搬送装置上に押し出すようにしたことを特徴と
   する薄板材の液中貯留ローダ。 (2) アームが、傾動可能に昇降装置に支持され
   、傾動駆動源に係合した基部と、先端にてカセツ
   トを載置する遊部とからなる実用新案登録請求の
   範囲第(1)項に記載の薄板材の液中貯留ローダ。 (3) アームが、逆Ｌ字形をなす基部と、Ｌ字形
   をなす遊部の各上端同士を連結して一体にした形
   状であり、遊部の先端にてカセツトを載置し、基
   部の逆Ｌ字形屈曲部にて枢軸を介して昇降装置に
   枢着支持され、基部の先端にて傾動駆動源に係合
   したものである実用新案登録請求の範囲第(2)項
   に記載の薄板材の液中貯留ローダ。