JPH036581Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体ウエハ、ガラス板、セラミツ
ク板、プリント基板等の薄板材（以下ウエハとい
う。）を、上下多段に複数枚収納したカセツトか
ら、搬送装置へ１枚ずつ搬出する装置、すなわち
ローダに関し、特に、カセツトに収納されている
ウエハを搬出するまでの間、カセツトごとウエハ
を液中に貯留するようにした液中貯留ローダに関
するものである。

〔従来の技術〕

ウエハは、極めて清浄な室内で、人手に触れて
汚染されぬよう、機械的に搬送されて処理され
る。

第１の処理として、例えば洗浄などの処理が終
了したウエハを、カセツトに収納し、これらのウ
エハを、次なる第２の処理として、例えば乾燥な
どの処理をする装置へ、１枚ずつ順次搬出する場
合、搬出までの間、空気中に待機させると、ウエ
ハに、空気中に浮遊する僅かなほこりが付着した
り、表面が酸化されたりして、不良品が発生す
る。

そのため、ウエハをカセツトから、処理装置へ
１枚ずつ搬出するまでの間、カセツトに収納した
ままウエハを、例えば純水等の液中に貯留する手
段がとられている。

〔本考案が解決しようとする問題点〕

しかし、ウエハをカセツトとともに純水中に水
平状態で没入させようとすると、水平であるウエ
ハの下面が全面同時に純水面に接するので、下面
より空気が逃げきれず、気泡が付着したまま純水
中に没入することとなり、ウエハが浮動してカセ
ツトより飛び出し、例えば純水槽の壁面に衝突す
る等して、破損することがある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、昇降および傾動の可能なアームに、
多数のウエハを上下多段に収納したカセツトを載
置し、カセツトを傾斜させて、所要の液を満たし
た液槽に没入させた後、ウエハを液中に貯留し、
かつウエハ搬出時には、カセツトを水平にしてか
ら、ウエハを上段より１枚ずつ液面上に突出さ
せ、プツシユをもつて、搬送装置へ押し出すよう
にすることにより、上述の問題点の解決を図つた
ものである。

〔作用〕

本考案の装置によれば、各ウエハが、傾斜した
下方の端より他端に向かつて、経時的に液中に没
入するので、ウエハの下方の空気が、ウエハ下面
に沿つて順に追いだされて、その下面に気泡が残
留することはない。

従つて、ウエハが浮動して、カセツトより飛び
出すことはなく、ウエハを使用する際には、人手
に触れずに、上段より順に取り出すことができ
る。

〔実施例〕

第１図と第２図は、本考案装置の一例を示すも
ので、昇降装置は、基枠１に左右１対の案内杆２
が立設され、案内杆２の中間には、それと平行を
なす螺杆３が枢設されている。

螺杆３の下端は、スプロケツト４と無端チエー
ン５を介して、基枠１に装着された減速モータ６
に連係されている。

案内杆２に昇降自在に取り付けられ、かつ螺杆
３に螺合する昇降体７の前面下部には、下向ソレ
ノイド８が固着されている。

９はアームで、第１図に示すように、正面形が
逆Ｌ字形をなす基部９ａと、Ｌ字形をなす先端部
９ｂの上端同士を連結した形状をなし、その先端
部９ｂの水平片には、支持板９ｃが載設されてい
る。

アーム９は、基部９ａの屈曲部が枢軸１０をも
つて、昇降体７の第１図右面に枢着されるよう支
持され、基端に突設した長孔１１が、傾動駆動源
であるソレノイド８の前向ピン１２に係合してい
る。

ソレノイド８を突出動作させると、枢軸１０を
中心としてアーム９は反時計回りに傾動し、支持
板９ｃが水平をなす下限より上方に傾斜する。

１３は、純水１４を満たした純水槽で、アーム
９の先端部９ｂが、余裕をもつて没入しうる大き
さを有し、かつ外面下端は、溢水溝１５をもつて
囲まれ、下面中央と溢水溝１５には、それぞれ、
注水管１６と排水管１７が接続されている。

純水槽１３には、望ましくは注水管１６より、
絶えず純水１４を注入すれば、常時上面より溢水
して、水面１４ａ上に落下した僅かなほこりも流
れ去り、水面１４ａは常時極めて清浄となり好ま
しい。

基枠１の後面には、純水槽１３方向、すなわち
ウエハ搬出方向を向き、かつウエハ搬出作業時以
外には短縮しているエアーシリンダ１８が装着さ
れ、そのピストン杆１８ａの先端には、純水槽１
３の直上を往復動する、板状のプツシヤ１９が装
着されている。

純水槽１３を挟んで、エアーシリンダ１８と対
向する個所には、純水槽１３に近接して、搬送面
が純水槽１３の上端より若干上位のウエハ搬送装
置であるコンベヤ２０が載置されている。なお、
コンベヤ２０の搬送面は、純水槽１３の上端と同
じ高さにしても、純水槽上面より溢水させている
ので、カセツトからコンベヤ２０へ支障なくウエ
ハを搬出できる。

第３図は、ウエハ収納用カセツト２１を示すも
ので、横向角筒状をなし、対向する両側板２１ａ
の内面には、水平をなす多数の支持溝２２が、等
間隔をもつて切設され、対向する両支持溝２２
に、ウエハ２３が水平に収納されている。

なお、一方向からのみウエハを出し入れするよ
う、両指示溝は、両側板２２のウエハを出し入れ
する側では、側端縁まで切設されているが、反対
側のウエハを出し入れしない側では、側端縁手前
までしか切設しなくてもよい。

第１図において、２４は、昇降体７に装着され
た検知片、２５，２６，２７は、検知片２４を検
知する光電センサで、基枠１に立設された支柱２
８の要所に、上方より順に取り付けられている。

２９は、螺杆３の下端に嵌着された検知片、３
０は、検知片２９の切欠そ検知する光電センサで
ある。

つぎに、上述装置の動作を、第４図〜第６図を
参照して説明する。

第４図は、第１図示のセンサ２５が、昇降体７
の検知片２４を検知するまで昇降体７を上昇し
て、アーム９が上限にあつて、支持板９ｃに、ウ
エハ２３を収納したカセツト２１を載置し、昇降
体７を下降させる前に、ソレノイド８を突出させ
てアーム９を傾斜させた状態を示している。

次に、昇降体７を、センサ２７が検知片２４を
検知するまで下降するようモータ６を回転させる
と、第５図に示すように、アーム９の先端部９ｂ
とともに、カセツト２１が傾斜したまま、純水槽
１３の純水１４中に突入する。

この時、各ウエハ２３は傾斜しているので、一
端（第５図左端）より他端に向かつて経時的に純
水１４に没入するので、下方の空気は純に追い出
され、ウエハ２３の下面に気泡が残留するような
ことはない。

そして、センサ２７が検知片２４を検知したと
きにモータ６が停止するとともに、ソレノイド８
が引込み動作して、第１図に示すように、アーム
９が水平状態へ傾動し、カセツト２１とともにウ
エハ２３が水平となり、純水１４中に貯留され
る。なお、傾斜させたままウエハを貯留し、貯留
をやめるときにアーム９を水平状態へ傾動させて
もよい。

このウエハ２３を取り出してカセツト２１から
搬出するには、モータ６を逆転させて、センサ２
６が検知片２４を検知するまで昇降体７を上昇さ
せることにより、第６図に示すように、最上段の
ウエハ２３が、純水１４の水面１４ａより出て、
つづいてセンサ３０と検知片２９の作用により、
検知片２９を所定回転数を回転するとモータ６が
停止し、最上段のウエハ２３がコンベヤ２０の搬
送面と同じ高さとなる。

すると、エアーシリンダ１８が伸長して、プツ
シヤ１９が最上段のウエハ２３を、回送するコン
ベヤ２０上に押し出す。

コンベア２０にて搬送されたウエハは、次の処
理装置、例えば乾燥装置等へ送られ、完全に乾燥
した後、別のカセツトに収納されることとなる。

ついで、エアーシリンダ１８を短縮させると、
センサ３０と検知片２９の作用により正確に、各
ウエハ２３の間隔だけ、アーム９が上昇するま
で、モータ６が回転した後停止し、上述同様に、
プツシヤ１９が、２枚目のウエハ２３をコンベヤ
２０上に押し出す。

このようにして、カセツト２１内のウエハ２３
のすべてを、上方より順に押し出すまで、断続的
にアーム９が上昇すると、センサ２５が検知片２
４を検知し、しかる後、ソレノイド８が突出し、
アーム９は傾斜して、第４図と同様の状態とな
る。

次に、空のカセツトを取りはずし、ウエハを収
納した次なるカセツトをアーム９の支持板９ｃ上
に載置する。なお、カセツトの載置換をしてか
ら、アーム９を傾斜させてもよい。

上述においては、アーム９の傾動駆動源にソレ
ノイド８を使用したが、これをエアーシリンダに
代えてもよく、またプツシヤ１９の駆動手段とし
て、ラツクとピニオンを使用することもできる。

アームの形状は、第１図示のように逆Ｌ字形の
基部とＬ字形の遊部上端同士を連結したものが、
比較的小さな液槽でもウエハを大きく傾斜させる
ことができて好ましいが、この形状に限定するも
のでなく、例えば第７図示のように、カセツトを
載置するＬ字形をなす遊部のＬ字形上端を昇降体
の方へ横に伸ばした形状でもよく、その他の形状
でもよく、特に限定はしない。

また、アームを傾動させる向きは、第１図示の
実施例のように、カセツトからウエハを搬出する
方向に対し直角な軸回りに傾動、すなわちこの実
施例では枢軸１０の回りに傾動させるにかぎら
ず、例えばウエハ搬出方向と同方向の軸回りに傾
動させるようにしてもよい。要するに液面に対し
て、ウエハ面がどの向きでもよいから傾斜すれば
よい。

ウエハを貯留する液は、純水にかぎらず、例え
ばアルコール等他の液でもよい。

本考案にて液中貯留される薄板材は、半導体ウ
エハの他、例えばガラス板、セラミツク板、プリ
ント基板等、限定しない。

〔考案の効果〕

上述のように、本考案の装置によれば、各ウエ
ハが液中に傾斜して没入するので、ウエハの下面
に気泡が付着することはない。

従つて、ウエハが浮き上がつてウエハより飛び
出し、破損する恐れはなく、安心して液中に貯留
することができる。

また、二次工程にウエハを搬出する際には、人
手に触れずに、自動的に順次送り出しうるので、
半導体製品の製造工場等に使用して、甚だ効果が
ある。

なお本装置は、上述のウエハ貯留の他、製造工
程途中の、乾燥を嫌う破損し易い薄板材の貯留等
にも、効果的に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案装置の一実施例のウエハ貯留
中の状態を示す一部破断正面図、第２図は、第１
図のＡ−Ａ線における横断面図、第３図は、カセ
ツトの正面図、第４図は、本考案装置にカセツト
を載置した状態を示す、第１図に相当する正面
図、第５図は、本考案装置に載置したカセツト
を、純水中に没入中の状態を示す、第１図に相当
する正面図、第６図は、本考案装置により、純水
中に貯留したカセツト中のウエハを取り出す状態
を示す、第１図に相当する正面図、第７図は、第
１図とは別の実施例を示す一部断破断正面図であ
る。 １……基枠、２……案内杆、３……螺杆、４…
…スプロケツト、５……無端チエーン、６……減
速モータ、７……昇降体、８……ソレノイド、９
……アーム、９ａ……基部、９ｂ……先端部、９
ｃ……支持板、１０……枢軸、１１……長孔、１
２……ピン、１３……純水槽、１４……純水、１
４ａ……水面、１５……溢水溝、１６……注水
管、１７……排水管、１８……エアーシリンダ、
１８ａ……ピストン杆、１９……プツシヤ、２０
……コンベヤ、２１……カセツト、２１ａ……側
板、２２……支持溝、２３……ウエハ、２４……
検知片、２５，２６，２７……センサ、２８……
支柱、２９……検知片、３０……センサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 多数の薄板材を上下多段に収納したカセツト
   と、 内部に純水を貯溜し、カセツトを純水中に浸
   漬させる純水槽と、 傾動可能に昇降装置に支持され、傾動駆動源
   に係合した基部と、先端にてカセツトを載置す
   る遊部とからなり、昇降することにより、カセ
   ツトを載置した先端遊部が純水槽に出没すると
   ともに、上下方向に傾動しうるアームと、 アームを昇降させる昇降装置と、 昇降装置に付設されて、アームを傾動させる
   ための傾動駆動源と、 純水槽内の純水液面上で、液面に近接して配
   設され、薄板材を載置して水平方向に搬送する
   薄板材搬送装置と、 純水液面上で、液面付近のカセツト内の薄板
   材を、カセツトから搬送装置へ押し出すプツシ
   ヤとからなり、 アームに載置されたカセツト中の薄板材を傾
   斜させて、純水中に没入させた後、液中に貯溜
   し、かつ、薄板材使用時には、薄板材を水平位
   置とし、上段より１枚ずつ純水液面上に突出さ
   せ、プツシヤにより、順次搬送装置上に押し出
   すようにしたことを特徴とする薄板材の液中貯
   溜ローダ。 (2) アームが、逆Ｌ字形をなす基部と、Ｌ字形な
   す遊部との各上端同士を連結して一体にした形
   状であり、遊部の先端にてカセツトを載置し、
   基部の逆Ｌ字形屈曲部にて枢軸を介して昇降装
   置に枢着支持され、基部の先端にて傾動駆動源
   に係合したものである実用新案登録請求の範囲
   第１項に記載の薄板材の液中貯溜ローダ。