JPS6225475A - 電歪効果素子およびその製造方法 - Google Patents
電歪効果素子およびその製造方法Info
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- JPS6225475A JPS6225475A JP60165163A JP16516385A JPS6225475A JP S6225475 A JPS6225475 A JP S6225475A JP 60165163 A JP60165163 A JP 60165163A JP 16516385 A JP16516385 A JP 16516385A JP S6225475 A JPS6225475 A JP S6225475A
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電歪効果素子およびその製造方法に関し、とく
に縦効果を利用した電歪効果素子の電極の構造８よびそ
の製造方法に関する。
に縦効果を利用した電歪効果素子の電極の構造８よびそ
の製造方法に関する。
従来、この種の電歪効果素子は第２図に示すような構造
である。すなわち膜または薄板状の電歪材料からなる電
歪層３１の一方の表面に内部電極層３２を設けたシート
を複数枚積層して積層体を形成し、その１つの側面、す
なわち左側間に露出した内部電極層３２の端面に一層Ｅ
きに絶縁部３３ａを設け、この上から導電ペーストを被
着して第１の導電層３４ａを形成して、下部電極３６に
接続する。
である。すなわち膜または薄板状の電歪材料からなる電
歪層３１の一方の表面に内部電極層３２を設けたシート
を複数枚積層して積層体を形成し、その１つの側面、す
なわち左側間に露出した内部電極層３２の端面に一層Ｅ
きに絶縁部３３ａを設け、この上から導電ペーストを被
着して第１の導電層３４ａを形成して、下部電極３６に
接続する。
一方、反対面の側面、すなわち右側面は前述左側面に絶
縁部３３ａを設けなかった内部電極層３２の右端面に絶
縁部３３ｂを設け、この上から第２の導電層３４ｂを形
成して、上部を極３５に接続して電歪効果素子を作製し
ている。
縁部３３ａを設けなかった内部電極層３２の右端面に絶
縁部３３ｂを設け、この上から第２の導電層３４ｂを形
成して、上部を極３５に接続して電歪効果素子を作製し
ている。
この従来′１歪効果素子は上部の電極板３５と下部の電
極板３６とに外部端子５０．５１をそれぞれ接触させて
電圧を印加すると、すべての電歪層３１に電圧が印加さ
れ、比較的低電圧で大きな動作歪を発生して、電歪効果
素子の全体として１図中矢印Ｘ、Ｙで示した上下方向に
歪みを生ずる。
極板３６とに外部端子５０．５１をそれぞれ接触させて
電圧を印加すると、すべての電歪層３１に電圧が印加さ
れ、比較的低電圧で大きな動作歪を発生して、電歪効果
素子の全体として１図中矢印Ｘ、Ｙで示した上下方向に
歪みを生ずる。
前述の従来電歪効果素子は電歪層３１は膜または薄板状
のため厚さは約（）、 ｉ ｎと薄いため、内部電極層
３２間も約０．１ Ｍと間隔が狭いので、絶縁部を塗布
する上で極めて困難であり、絶縁の信頼性８よび量産性
に大きな問題があった。
のため厚さは約（）、 ｉ ｎと薄いため、内部電極層
３２間も約０．１ Ｍと間隔が狭いので、絶縁部を塗布
する上で極めて困難であり、絶縁の信頼性８よび量産性
に大きな問題があった。
本発明の目的はかかる従来の問題を解決し、製造が容易
であり、高信頼性の電歪効果素子を提供することにある
。
であり、高信頼性の電歪効果素子を提供することにある
。
本発明の電歪効果素子は電歪材料層と内部電極層を交互
に積層形成した積層チップ型の電歪効果素子の上下の各
電極面に接続する導電材料が塗布された断面に、上記内
部電極層の各層の片側端部が上記電歪材料層と異なる絶
縁物質で構成され、かつ各層の絶縁物質が交互に反対向
きに積層され、上記導電材料と内部電極層とを一層おき
に絶縁した構造を特徴とする。
に積層形成した積層チップ型の電歪効果素子の上下の各
電極面に接続する導電材料が塗布された断面に、上記内
部電極層の各層の片側端部が上記電歪材料層と異なる絶
縁物質で構成され、かつ各層の絶縁物質が交互に反対向
きに積層され、上記導電材料と内部電極層とを一層おき
に絶縁した構造を特徴とする。
さらに本発明の電歪効果素子の製造方法は電歪材料層を
形成する工程と、この電歪材料層の表面に導電ペースト
をスクリーン印判して内部電極層を被着形成した後、絶
縁物質と有機バインダとの混合ペーストを内部電極層と
同一面内に印刷して、複合シートを形成する工程と、こ
の複合シートを交互に積層してｆｆ層体を形成した後、
加熱して焼結する工程と、この積層体の絶縁物質と内部
電極とを切断して端部を交互に露出させる切断工程と、
上記切断面に導°１物質層を塗布し、かつ積層体の上、
下の極性の異なる電極板にそれぞれ接続させる工程とか
らなることを特徴とする。
形成する工程と、この電歪材料層の表面に導電ペースト
をスクリーン印判して内部電極層を被着形成した後、絶
縁物質と有機バインダとの混合ペーストを内部電極層と
同一面内に印刷して、複合シートを形成する工程と、こ
の複合シートを交互に積層してｆｆ層体を形成した後、
加熱して焼結する工程と、この積層体の絶縁物質と内部
電極とを切断して端部を交互に露出させる切断工程と、
上記切断面に導°１物質層を塗布し、かつ積層体の上、
下の極性の異なる電極板にそれぞれ接続させる工程とか
らなることを特徴とする。
以下、本発明について図面を参照して詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
すなわち５例えばマグネシウム−ニオブ酸鉛Ｐｂ（Ｍ、
！ｉ’ Ｖ、 Ｎｂ ｚ／ｓ ） Ｏｓを主成分と−ｊ
６ｉ１Ｅ歪材料ｉ媒中に分散させた泥漿を準備し、この
泥漿を通常の積層チップコンデンザを製造する成膜装置
によりフィラーフィルム上に数１００ミクロンの厚さに
塗布乾燥した後、マイラーフィルムから剥離して、電歪
層３１を形成する。この電歪層３１の表面に白金などの
導電ペーストをスクリーン印刷して所望の位置に内部電
極層３２を形成した後、あらかじめ内部電極層２２の一
端を平行に切除して設ケタ切欠き部にＺｒＯ２，ＢａＴ
ｉＯｘ、Ｃ＋Ｐｂ セラミックなどの絶縁物質と有機バ
インダとの混合ペーストを再度スクリーン印刷して、内
部電極層２２の一端に絶縁部３３ａ、３３ｂを塗布・乾
燥させて形成する。
！ｉ’ Ｖ、 Ｎｂ ｚ／ｓ ） Ｏｓを主成分と−ｊ
６ｉ１Ｅ歪材料ｉ媒中に分散させた泥漿を準備し、この
泥漿を通常の積層チップコンデンザを製造する成膜装置
によりフィラーフィルム上に数１００ミクロンの厚さに
塗布乾燥した後、マイラーフィルムから剥離して、電歪
層３１を形成する。この電歪層３１の表面に白金などの
導電ペーストをスクリーン印刷して所望の位置に内部電
極層３２を形成した後、あらかじめ内部電極層２２の一
端を平行に切除して設ケタ切欠き部にＺｒＯ２，ＢａＴ
ｉＯｘ、Ｃ＋Ｐｂ セラミックなどの絶縁物質と有機バ
インダとの混合ペーストを再度スクリーン印刷して、内
部電極層２２の一端に絶縁部３３ａ、３３ｂを塗布・乾
燥させて形成する。
次に電歪層３１上に内部電極層３２と絶縁部３３ａ、３
３ｂを片側の表面の端に印刷形成した複合シートを絶縁
部３３ａ、３３１）を上下一段Ｓきに左右交互に反対向
きとなるように積層して、熱プレスにより仮成形後、焼
結炉にて温度約１２５０℃で焼結すれば電歪層３１、内
部電極層３２、絶縁部３３ａ、３３ｂを有する積層体が
得られる。
３ｂを片側の表面の端に印刷形成した複合シートを絶縁
部３３ａ、３３１）を上下一段Ｓきに左右交互に反対向
きとなるように積層して、熱プレスにより仮成形後、焼
結炉にて温度約１２５０℃で焼結すれば電歪層３１、内
部電極層３２、絶縁部３３ａ、３３ｂを有する積層体が
得られる。
次にこの積層体を第１図の如く所定の位置で切断した後
、一方の絶縁部３３ａが露出した左側面に白金などの導
電ペーストを塗布・乾燥し、第１の導電層３４ａを形成
する。一方、絶縁部３３ｂを露出させた右側面に第１の
導電層と同材質の導電ペーストを塗布・乾燥して、第２
の導電層３４ｂを形成する。
、一方の絶縁部３３ａが露出した左側面に白金などの導
電ペーストを塗布・乾燥し、第１の導電層３４ａを形成
する。一方、絶縁部３３ｂを露出させた右側面に第１の
導電層と同材質の導電ペーストを塗布・乾燥して、第２
の導電層３４ｂを形成する。
次にこの積層体の上、下両面に白金などの導電ペースト
を塗布し、電極板３５．３６を形成−すると同時に各導
′成層３４．３５とそれぞれ電気的に接ｄされる。
を塗布し、電極板３５．３６を形成−すると同時に各導
′成層３４．３５とそれぞれ電気的に接ｄされる。
このようにして、一方の絶縁部３３ａと交互に露出した
内部電臘層３２のそれぞれの端部と第１の導電層３４が
電気的に接続され、他方の絶縁部３３ｂと交互に露出し
た内部電極層３２ａのそれぞれの端部と第２の導電層３
４ｂが電気的に接続され、上下の外部端子５０．５１間
に電圧を印加すれば上、下のｔ極板３５．３６を介して
、各内部電極層３２０間に電圧を印加することができる
。
内部電臘層３２のそれぞれの端部と第１の導電層３４が
電気的に接続され、他方の絶縁部３３ｂと交互に露出し
た内部電極層３２ａのそれぞれの端部と第２の導電層３
４ｂが電気的に接続され、上下の外部端子５０．５１間
に電圧を印加すれば上、下のｔ極板３５．３６を介して
、各内部電極層３２０間に電圧を印加することができる
。
以上説明したように本発明は、内部電極層と同一面内に
絶縁層を形成するため、積層体形成後に内部電極層と直
交する側面に絶縁材を塗布する必要がないので、量産が
容易となり、かつ電気的絶縁の信頼性が飛躍的に向上す
る効果がある。
絶縁層を形成するため、積層体形成後に内部電極層と直
交する側面に絶縁材を塗布する必要がないので、量産が
容易となり、かつ電気的絶縁の信頼性が飛躍的に向上す
る効果がある。
第１図は本発明道歪効果素子の一実施例を示す断面図。
第２図は従来電歪効果素子の一例を示す断面図。
３１・・・・・・・屯歪層、３２・・・・・・内部電極
層、３３ａ。 ３３ｂ・・−・・・絶縁部、３４ ａ 、 ３４ｂ・・
・・・・導電層。 ３５．３６・・・・・・１極板、５０，５１・・・・・
・外部端子。 代理人 弁理士 内 原 音 第 ｉａ
層、３３ａ。 ３３ｂ・・−・・・絶縁部、３４ ａ 、 ３４ｂ・・
・・・・導電層。 ３５．３６・・・・・・１極板、５０，５１・・・・・
・外部端子。 代理人 弁理士 内 原 音 第 ｉａ
Claims (2)
- （１）電歪材料層と内部電極層とを交互に積層形成した
積層チップコンデンサ型の電歪効果素子の上下の各電極
面に接続する導電材料が塗布された断面に、前記内部電
極層の各層の片側端部が前記電歪材料層と異なる絶縁物
質で構成され、かつ各層の絶縁物質が交互に反対向きに
積層され、前記導電材料と前記内部電極層とを一層おき
に絶縁した構造を有することを特徴とする電歪効果素子
。 - （２）電歪材料層を形成する工程と、該電歪材料層の表
面に導電ペーストをスクリーン印刷して内部電極層を被
着形成した後、絶縁物質と有機バインダとの混合ペース
トを内部電極層と同一面内に印刷して複合シートを形成
する工程と、前記複合シートを交互に積層して積層体を
形成した後、加熱して焼結する工程と、前記積層体の絶
縁質と内部電極層とを切断して端部を交互に露出させる
切断工程と、前記切断面に導電物質層を塗布し、かつ積
層体の上、下の極性の異なる電極板にそれぞれ接続させ
る工程とからなることを特徴とする電歪効果素子の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60165163A JPS6225475A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 電歪効果素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60165163A JPS6225475A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 電歪効果素子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6225475A true JPS6225475A (ja) | 1987-02-03 |
Family
ID=15807061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60165163A Pending JPS6225475A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 電歪効果素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6225475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009016333A (ja) * | 2007-06-05 | 2009-01-22 | Ono Seisakusho:Kk | 電気コネクタの雌形電気コンタクト製造方法及び電気コネクタの雌形電気コンタクト |
| CN102110767A (zh) * | 2006-11-21 | 2011-06-29 | Tdk株式会社 | 层叠型压电元件 |
-
1985
- 1985-07-25 JP JP60165163A patent/JPS6225475A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102110767A (zh) * | 2006-11-21 | 2011-06-29 | Tdk株式会社 | 层叠型压电元件 |
| DE102007049575B4 (de) * | 2006-11-21 | 2014-11-27 | Tdk Corp. | Piezoelektrisches Mehrschichtelement |
| JP2009016333A (ja) * | 2007-06-05 | 2009-01-22 | Ono Seisakusho:Kk | 電気コネクタの雌形電気コンタクト製造方法及び電気コネクタの雌形電気コンタクト |
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