JPS622624B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS622624B2 JPS622624B2 JP3090784A JP3090784A JPS622624B2 JP S622624 B2 JPS622624 B2 JP S622624B2 JP 3090784 A JP3090784 A JP 3090784A JP 3090784 A JP3090784 A JP 3090784A JP S622624 B2 JPS622624 B2 JP S622624B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitrogen gas
- dry nitrogen
- gas
- temperature zone
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 69
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 31
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 11
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 6
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Ni] Chemical compound [Fe].[Co].[Ni] KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/10—Oxidising
- C23C8/12—Oxidising using elemental oxygen or ozone
- C23C8/14—Oxidising of ferrous surfaces
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は良質な酸化皮膜を効率よく得ることの
できる鉄（Fe）を主成分とする金属の酸化装置
に関する。
できる鉄（Fe）を主成分とする金属の酸化装置
に関する。
整合封止型気密端子の製造においては、優れた
気密特性を得るために金属外環およびリード線に
酸化処理を行つて、表面に金属素地との密着性に
優れ、かつガラスとの濡れ性がよいスピネル型
Fe3O4等の酸化皮膜を生成させた後、ガラスと組
合わせて封止する製造方法が一般的に採用されて
いる。この場合に生成される酸化皮膜の質が気密
特性等の製品の最終的な品質を支配するため、良
質な酸化皮膜を安定して、かつ効率よく生成させ
る装置が要望される。
気密特性を得るために金属外環およびリード線に
酸化処理を行つて、表面に金属素地との密着性に
優れ、かつガラスとの濡れ性がよいスピネル型
Fe3O4等の酸化皮膜を生成させた後、ガラスと組
合わせて封止する製造方法が一般的に採用されて
いる。この場合に生成される酸化皮膜の質が気密
特性等の製品の最終的な品質を支配するため、良
質な酸化皮膜を安定して、かつ効率よく生成させ
る装置が要望される。
従来この種の酸化方法としては、コンベア式連
続酸化処理炉を用いて、大気雰囲気中で部品を
600〜1000℃に加熱して表面に皮膜を生成させる
方法が知られている。この方法によるときは、処
理能力においては優れるが、大気雰囲気中で得ら
れる酸化皮膜が金属素地との密着性において劣る
ために、金属外環とガラスとの組立時の振動等に
よつてしばしば酸化皮膜に亀裂や剥離が生じ、気
密性が阻害され信頼性に劣るという難点がある。
続酸化処理炉を用いて、大気雰囲気中で部品を
600〜1000℃に加熱して表面に皮膜を生成させる
方法が知られている。この方法によるときは、処
理能力においては優れるが、大気雰囲気中で得ら
れる酸化皮膜が金属素地との密着性において劣る
ために、金属外環とガラスとの組立時の振動等に
よつてしばしば酸化皮膜に亀裂や剥離が生じ、気
密性が阻害され信頼性に劣るという難点がある。
他の方法としてはバツチ式酸化処理炉を用いる
方法がある。この方法によるときは、例えば鉄―
ニツケル―コバルト（Fe―Ni―Co）合金を酸化
処理する場合、バツチ式酸化処理炉内に所定量の
部品を入れ、まずドライ窒素（N2）ガス雰囲気中
で、温度が転移点以上に達するまで非酸化性雰囲
気の状態で昇温した後、炉内をウエツト窒素
（N2）ガスまたはウエツトN2ガスとウエツト酸素
（O2）ガスの混合ガスの酸化性雰囲気に切替え
て、所定量の部品毎に酸化処理するものである。
このバツチ式においては、非酸化性雰囲気と、ス
ピネル型の密着性に優れた酸化皮膜を生成させる
高温状態の酸化性雰囲気とを確実に得ることがで
きるので、良質の酸化皮膜を生成させることがで
きる利点がある。しかしながら１つの処理炉を非
酸化性雰囲気と酸化性雰囲気とに交互に切替える
必要があるため、作業能率に著しく劣り、生産性
が極めて悪いという難点がある。
方法がある。この方法によるときは、例えば鉄―
ニツケル―コバルト（Fe―Ni―Co）合金を酸化
処理する場合、バツチ式酸化処理炉内に所定量の
部品を入れ、まずドライ窒素（N2）ガス雰囲気中
で、温度が転移点以上に達するまで非酸化性雰囲
気の状態で昇温した後、炉内をウエツト窒素
（N2）ガスまたはウエツトN2ガスとウエツト酸素
（O2）ガスの混合ガスの酸化性雰囲気に切替え
て、所定量の部品毎に酸化処理するものである。
このバツチ式においては、非酸化性雰囲気と、ス
ピネル型の密着性に優れた酸化皮膜を生成させる
高温状態の酸化性雰囲気とを確実に得ることがで
きるので、良質の酸化皮膜を生成させることがで
きる利点がある。しかしながら１つの処理炉を非
酸化性雰囲気と酸化性雰囲気とに交互に切替える
必要があるため、作業能率に著しく劣り、生産性
が極めて悪いという難点がある。
本発明は上記難点に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、良質な酸化皮膜を
生産性良く得ることのできる鉄を主成分とする金
属の酸化装置を提供するにある。またその特徴と
するところは、鉄、鉄―ニツケル合金、鉄―ニツ
ケル―コバルト合金等の鉄を主成分とする金属を
連続的に酸化する酸化装置において、入口側を非
酸化性雰囲気の低温ゾーンＡに、中間部を酸化性
雰囲気の高温ゾーンＢに、出口側を非酸化性雰囲
気の低温ゾーンＣとなるように画成すべく、低温
ゾーンＡの入口側開口部近傍上部と低温ゾーンＣ
の出口側開口部近傍上部とにそれぞれドライ窒素
ガスを下方に向けて吹き込むドライ窒素ガス吹込
口１８，３６を設けると共に、高温ゾーンＢの上
部には高温ゾーンＢ内にウエツト窒素ガスまたは
ウエツト窒素ガスとウエツト酸素ガスとの混合ガ
スを吹き込む吹込口２０を設け、さらに両低温ゾ
ーンＡ，Ｃと高温ゾーンＢとの両境界部上部にそ
れぞれ下方に向けてドライ窒素ガスを吹き込むド
ライ窒素ガス吹込口３８，４２を設け、また上記
ドライ窒素ガス吹込口３８，４２に対向する位置
の前記両境界部下部にそれぞれ、ドライ窒素ガス
吹込口３８からのドライ窒素ガスを引き込んで境
界部にドライ窒素ガスカーテンを形成すると共
に、該ドライ窒素ガスに併せて、ドライ窒素ガス
吹込口１８からのドライ窒素ガスおよび吹込口２
０からの酸化性ガスを両側から引き込むガス強制
排気口４０と、ドライ窒素ガス吹込口４２からの
ドライ窒素ガスを引き込んで境界部にドライ窒素
ガスカーテンを形成すると共に、該ドライ窒素ガ
スと併せて、ドライ窒素ガス吹込口３６からのド
ライ窒素ガスおよび吹込口２０からの酸化性ガス
を両側から引き込むガス強制排気口４４とを設け
たところにある。
り、その目的とするところは、良質な酸化皮膜を
生産性良く得ることのできる鉄を主成分とする金
属の酸化装置を提供するにある。またその特徴と
するところは、鉄、鉄―ニツケル合金、鉄―ニツ
ケル―コバルト合金等の鉄を主成分とする金属を
連続的に酸化する酸化装置において、入口側を非
酸化性雰囲気の低温ゾーンＡに、中間部を酸化性
雰囲気の高温ゾーンＢに、出口側を非酸化性雰囲
気の低温ゾーンＣとなるように画成すべく、低温
ゾーンＡの入口側開口部近傍上部と低温ゾーンＣ
の出口側開口部近傍上部とにそれぞれドライ窒素
ガスを下方に向けて吹き込むドライ窒素ガス吹込
口１８，３６を設けると共に、高温ゾーンＢの上
部には高温ゾーンＢ内にウエツト窒素ガスまたは
ウエツト窒素ガスとウエツト酸素ガスとの混合ガ
スを吹き込む吹込口２０を設け、さらに両低温ゾ
ーンＡ，Ｃと高温ゾーンＢとの両境界部上部にそ
れぞれ下方に向けてドライ窒素ガスを吹き込むド
ライ窒素ガス吹込口３８，４２を設け、また上記
ドライ窒素ガス吹込口３８，４２に対向する位置
の前記両境界部下部にそれぞれ、ドライ窒素ガス
吹込口３８からのドライ窒素ガスを引き込んで境
界部にドライ窒素ガスカーテンを形成すると共
に、該ドライ窒素ガスに併せて、ドライ窒素ガス
吹込口１８からのドライ窒素ガスおよび吹込口２
０からの酸化性ガスを両側から引き込むガス強制
排気口４０と、ドライ窒素ガス吹込口４２からの
ドライ窒素ガスを引き込んで境界部にドライ窒素
ガスカーテンを形成すると共に、該ドライ窒素ガ
スと併せて、ドライ窒素ガス吹込口３６からのド
ライ窒素ガスおよび吹込口２０からの酸化性ガス
を両側から引き込むガス強制排気口４４とを設け
たところにある。
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づき
詳細に説明する。
詳細に説明する。
図は本発明に係る酸化装置１０の概要を示す。
１２は入口開口部、１４は出口開口部である。１
６は入口開口部１２から出口開口部１４に向かつ
て連続的に移動する無端コンベヤである。酸化装
置１０は、入口開口部１２側が非酸化性雰囲気の
低温ゾーンＡに、中央が酸化性雰囲気の高温ゾー
ンＢに、出口開口部１４側が非酸化性雰囲気の低
温ゾーンＣに形成されている。
１２は入口開口部、１４は出口開口部である。１
６は入口開口部１２から出口開口部１４に向かつ
て連続的に移動する無端コンベヤである。酸化装
置１０は、入口開口部１２側が非酸化性雰囲気の
低温ゾーンＡに、中央が酸化性雰囲気の高温ゾー
ンＢに、出口開口部１４側が非酸化性雰囲気の低
温ゾーンＣに形成されている。
１８は低温ゾーンＡにドライN2ガスを導入す
るドライN2ガス吹込口であり、酸化装置１０の
入口開口部１２近傍上部に設けられ、ドライN2
ガスを下方にむけて吹き込む。２０は高温ゾーン
ＢにウエツトN2ガス、またはウエツトN2ガスと
ウエツトO2ガスとの混合ガスを吹込む吹込口で
あり、高温ゾーンＢの中央上部に設けられてい
る。２２はN2ガス源、２４はO2ガス源であり、
パイプ２６に接続されてガス源からの両ガスが混
合されるとともに、該パイプ２６先端が、密閉水
槽２８の水中に開口されることによつて水中でバ
ブリングされ混合ガスに湿り気が与えられる。密
閉水槽２８には温度調節装置（図示せず）が設け
られており、種々の温度設定がしうるようになつ
ている。したがつて該密閉水槽２８において、上
記設定温度で決定される飽和水蒸気を含んだウエ
ツトN2ガスとウエツトO2ガスとの混合ガスが得
られる。該混合ガスは密閉水槽２８と吹込口２０
とを接続する導入パイプ３０によつて吹込口２０
に導かれ、吹込口２０から高温ゾーンＢ内に吹込
まれる。３２，３４はN2ガス源２２とO2ガス源
２４とにそれぞれ設けられたバルブである。該バ
ルブ３２，３４を操作することによつて、N2ガ
スまたはO2ガスの単独ガスも得られ、また両ガ
スの混合比率の異なる任意の混合ガスが得られ
る。
るドライN2ガス吹込口であり、酸化装置１０の
入口開口部１２近傍上部に設けられ、ドライN2
ガスを下方にむけて吹き込む。２０は高温ゾーン
ＢにウエツトN2ガス、またはウエツトN2ガスと
ウエツトO2ガスとの混合ガスを吹込む吹込口で
あり、高温ゾーンＢの中央上部に設けられてい
る。２２はN2ガス源、２４はO2ガス源であり、
パイプ２６に接続されてガス源からの両ガスが混
合されるとともに、該パイプ２６先端が、密閉水
槽２８の水中に開口されることによつて水中でバ
ブリングされ混合ガスに湿り気が与えられる。密
閉水槽２８には温度調節装置（図示せず）が設け
られており、種々の温度設定がしうるようになつ
ている。したがつて該密閉水槽２８において、上
記設定温度で決定される飽和水蒸気を含んだウエ
ツトN2ガスとウエツトO2ガスとの混合ガスが得
られる。該混合ガスは密閉水槽２８と吹込口２０
とを接続する導入パイプ３０によつて吹込口２０
に導かれ、吹込口２０から高温ゾーンＢ内に吹込
まれる。３２，３４はN2ガス源２２とO2ガス源
２４とにそれぞれ設けられたバルブである。該バ
ルブ３２，３４を操作することによつて、N2ガ
スまたはO2ガスの単独ガスも得られ、また両ガ
スの混合比率の異なる任意の混合ガスが得られ
る。
３６は低温ゾーンＣにドライN2ガスを導入す
るドライN2ガス吹込口であり、酸化装置１０の
出口開口部１４近傍上部に設けられ、ドライN2
ガスを下方にむけて吹き込む。
るドライN2ガス吹込口であり、酸化装置１０の
出口開口部１４近傍上部に設けられ、ドライN2
ガスを下方にむけて吹き込む。
３８は酸化装置１０の低温ゾーンＡと高温ゾー
ンＢとの境界上部に設けられたドライN2ガス吹
込口であり、下方に向けてドライN2ガスを吹込
み、低温ゾーンＡと高温ゾーンＢを仕切るドライ
N2ガスカーテンを形成する。
ンＢとの境界上部に設けられたドライN2ガス吹
込口であり、下方に向けてドライN2ガスを吹込
み、低温ゾーンＡと高温ゾーンＢを仕切るドライ
N2ガスカーテンを形成する。
４０は上記境界部に、上記ドライN2ガス吹込
口３８と反対側に位置して設けたガス強制排気口
であり、上記のドライN2ガス吹込口３８からの
ドライN2ガスを引き込んで前記のドライN2ガス
カーテンを形成させると同時に、低温ゾーンＡお
よび高温ゾーンＢ内のガスを両側から引き込んで
排気する。
口３８と反対側に位置して設けたガス強制排気口
であり、上記のドライN2ガス吹込口３８からの
ドライN2ガスを引き込んで前記のドライN2ガス
カーテンを形成させると同時に、低温ゾーンＡお
よび高温ゾーンＢ内のガスを両側から引き込んで
排気する。
４２は高温ゾーンＢと低温ゾーンＣとの境界部
に設けたドライN2ガス吹込口、４４は該ドライ
N2ガス吹込口４２と対向して設けたガス強制排
気口であり、前記と同様に境界部にドライN2ガ
スカーテンを形成する。
に設けたドライN2ガス吹込口、４４は該ドライ
N2ガス吹込口４２と対向して設けたガス強制排
気口であり、前記と同様に境界部にドライN2ガ
スカーテンを形成する。
なお前記の無端コンベヤ１６は例えば網目状に
形成され、被酸化物は落下させないが、ガスを通
過させうるようになつている。
形成され、被酸化物は落下させないが、ガスを通
過させうるようになつている。
また酸化装置１０の各低温ゾーンＡ，Ｃおよび
高温ゾーンＢには適宜な加熱源（図示せず）が設
けられ、加熱しうるようになつている。
高温ゾーンＢには適宜な加熱源（図示せず）が設
けられ、加熱しうるようになつている。
酸化処理工程について説明すると、例えばFe
―Ni―Co合金を酸化するには、まず、高温ゾー
ンＢ内の温度を、前記各ガス流通時においてスピ
ネル型の良質の酸化皮膜が得られる転移温度430
℃以上とし、最高温度が高温ゾーンＢ内にあるよ
うに酸化装置の温度プロフイルを設定しておく。
この場合の温度プロフイルは、例えば第２図に示
すごとくなる。そして被酸化物を無端コンベヤ１
６上に載せて酸化装置１０内を連続的に通過させ
れば、被酸化物表面上に良質な酸化膜を形成させ
ることができる。すなわち、被酸化物は低温ゾー
ンＡ内を通過する際に徐々に加温され、高温ゾー
ンＢ内に入る際には430℃以上に昇温しているか
ら、高温ゾーンＢ内でスピネル型酸化皮膜が形成
される。低温ゾーンＡ内はドライN2ガスによつ
て非酸化性雰囲気に保たれているから、低温にお
ける密着性に劣る酸化皮膜は形成されることはな
い。
―Ni―Co合金を酸化するには、まず、高温ゾー
ンＢ内の温度を、前記各ガス流通時においてスピ
ネル型の良質の酸化皮膜が得られる転移温度430
℃以上とし、最高温度が高温ゾーンＢ内にあるよ
うに酸化装置の温度プロフイルを設定しておく。
この場合の温度プロフイルは、例えば第２図に示
すごとくなる。そして被酸化物を無端コンベヤ１
６上に載せて酸化装置１０内を連続的に通過させ
れば、被酸化物表面上に良質な酸化膜を形成させ
ることができる。すなわち、被酸化物は低温ゾー
ンＡ内を通過する際に徐々に加温され、高温ゾー
ンＢ内に入る際には430℃以上に昇温しているか
ら、高温ゾーンＢ内でスピネル型酸化皮膜が形成
される。低温ゾーンＡ内はドライN2ガスによつ
て非酸化性雰囲気に保たれているから、低温にお
ける密着性に劣る酸化皮膜は形成されることはな
い。
また低温ゾーンＡ、高温ゾーンＢ、低温ゾーン
Ｃ間はドライN2ガスカーテンによつて有効に仕
切られ、各ゾーン間のガスが混合することがな
く、各々の非酸化性雰囲気、酸化性雰囲気が融絶
して保持されるものである。
Ｃ間はドライN2ガスカーテンによつて有効に仕
切られ、各ゾーン間のガスが混合することがな
く、各々の非酸化性雰囲気、酸化性雰囲気が融絶
して保持されるものである。
また被酸化物の材質によつて、前記の温度プロ
フイルを材質に合わせて最適に設定するととも
に、高温ゾーンＢ内へ吹込む酸化性ガスを、混合
比、湿り気等において材質に合わせて最適に設定
する。
フイルを材質に合わせて最適に設定するととも
に、高温ゾーンＢ内へ吹込む酸化性ガスを、混合
比、湿り気等において材質に合わせて最適に設定
する。
本発明は鉄および鉄を主成分とする金属であれ
ば広く採用しうる。例えば焼結金属の水蒸気黒化
処理においても良質な酸化皮膜を形成することが
できる。
ば広く採用しうる。例えば焼結金属の水蒸気黒化
処理においても良質な酸化皮膜を形成することが
できる。
以上から明らかなように本発明は次のような顕
著な効果を奏する。
著な効果を奏する。
すなわち、
ドライ窒素ガス吹込口３８，４０から下方に
向けてドライ窒素ガスが吹き込まれ、これが対
向して位置しているそれぞれのガス強制排気口
４０，４４に引き込まれるので、低温ゾーンＡ
と高温ゾーンＢ、および高温ゾーンＢと低温ゾ
ーンＣの両境界部にドライ窒素ガスカーテンが
形成され、各ゾーンが確実に隔絶される。
向けてドライ窒素ガスが吹き込まれ、これが対
向して位置しているそれぞれのガス強制排気口
４０，４４に引き込まれるので、低温ゾーンＡ
と高温ゾーンＢ、および高温ゾーンＢと低温ゾ
ーンＣの両境界部にドライ窒素ガスカーテンが
形成され、各ゾーンが確実に隔絶される。
またその際にドライ窒素ガス吹込口１８，３
６から吹き込まれたドライ窒素ガスは、下向き
に、次いで横方向に流れてガス強制排気口４
０，４４から排気されるので、両ゾーンＡ，Ｃ
は低温でかつドライ窒素ガスが所定範囲で充満
した非酸化性雰囲気に確実に形成される。
６から吹き込まれたドライ窒素ガスは、下向き
に、次いで横方向に流れてガス強制排気口４
０，４４から排気されるので、両ゾーンＡ，Ｃ
は低温でかつドライ窒素ガスが所定範囲で充満
した非酸化性雰囲気に確実に形成される。
高温ゾーンＢに吹き込まれた酸化性ガスは、
下向きに、次いで両横方向に流れてガス強制排
気口４０，４４から排出されるので、高温ゾー
ンＢは両ガス強制排気口４０，４４の間で酸化
性雰囲気に確実に形成される。
下向きに、次いで両横方向に流れてガス強制排
気口４０，４４から排出されるので、高温ゾー
ンＢは両ガス強制排気口４０，４４の間で酸化
性雰囲気に確実に形成される。
結局、により非酸化性雰囲気と酸化性雰
囲気とが所定範囲で形成され、しかもにより
境界部にドライ窒素ガスカーテンが形成されて
両雰囲気が混交することがないので、所望の良
質な酸化皮膜を確実に形成することができる。
囲気とが所定範囲で形成され、しかもにより
境界部にドライ窒素ガスカーテンが形成されて
両雰囲気が混交することがないので、所望の良
質な酸化皮膜を確実に形成することができる。
しかもまたガス強制排気口は２個所で足りる
ので装置的にも簡略化される。
ので装置的にも簡略化される。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説
明したが、本発明はこの実施例に限定されるもの
ではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多く
の改変を施し得るのはもちろんのことである。
明したが、本発明はこの実施例に限定されるもの
ではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多く
の改変を施し得るのはもちろんのことである。
第１図は本発明装置の概要を示す説明図、第２
図はFe―Ni―Co合金の酸化処理における酸化装
置内の温度プロフイルの例を示す温度曲線であ
る。 １０…酸化装置、１２…入口開口部、１４…出
口開口部、１６…無端コンベヤ、１８…ドライ
N2ガス吹込口、２０…吹込口、２２…N2ガス
源、２４…O2ガス源、２６…パイプ、２８…密
閉水槽、３０…導入パイプ、３２，３４…バル
ブ、３６，３８…ドライN2ガス吹込口、４０…
ガス強制排気口、４２…ドライN2ガス吹込口、
４４…ガス強制排気口。
図はFe―Ni―Co合金の酸化処理における酸化装
置内の温度プロフイルの例を示す温度曲線であ
る。 １０…酸化装置、１２…入口開口部、１４…出
口開口部、１６…無端コンベヤ、１８…ドライ
N2ガス吹込口、２０…吹込口、２２…N2ガス
源、２４…O2ガス源、２６…パイプ、２８…密
閉水槽、３０…導入パイプ、３２，３４…バル
ブ、３６，３８…ドライN2ガス吹込口、４０…
ガス強制排気口、４２…ドライN2ガス吹込口、
４４…ガス強制排気口。
Claims (1)
- １ 鉄、鉄―ニツケル合金、鉄―ニツケル―コバ
ルト合金等の鉄を主成分とする金属を連続的に酸
化する酸化装置において、入口側を非酸化性雰囲
気の低温ゾーンＡに、中間部を酸化性雰囲気の高
温ゾーンＢに、出口側を非酸化性雰囲気の低温ゾ
ーンＣとなるように画成すべく、低温ゾーンＡの
入口側開口部近傍上部と低温ゾーンＣの出口側開
口部近傍上部とにそれぞれドライ窒素ガスを下方
に向けて吹き込むドライ窒素ガス吹込口１８，３
６を設ける共に、高温ゾーンＢの上部には高温ゾ
ーンＢ内にウエツト窒素ガスまたはウエツト窒素
ガスとウエツト酸素ガスとの混合ガスを吹き込む
吹込口２０を設け、さらに両低温ゾーンＡ，Ｃと
高温ゾーンＢとの両境界部上部にそれぞれ下方に
向けてドライ窒素ガスを吹き込むドライ窒素ガス
吹込口３８，４２を設け、また上記ドライ窒素ガ
ス吹込口３８，４２に対向する位置の前記両境界
部下部にそれぞれ、ドライ窒素ガス吹込口３８か
らのドライ窒素ガスを引き込んで境界部にドライ
窒素ガスカーテンを形成すると共に、該ドライ窒
素ガスに併せて、ドライ窒素ガス吹込口１８から
のドライ窒素ガスおよび吹込口２０からの酸化性
ガスを両側から引き込むガス強制排気口４０と、
ドライ窒素ガス吹込口４２からのドライ窒素ガス
を引き込んで境界部にドライ窒素ガスカーテンを
形成すると共に、該ドライ窒素ガスと併せて、ド
ライ窒素ガス吹込口３６からのドライ窒素ガスお
よび吹込口２０からの酸化性ガスを両側から引き
込むガス強制排気口４４とを設けたことを特徴と
する鉄を主成分とする金属の酸化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3090784A JPS60174866A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 鉄を主成分とする金属の酸化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3090784A JPS60174866A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 鉄を主成分とする金属の酸化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60174866A JPS60174866A (ja) | 1985-09-09 |
| JPS622624B2 true JPS622624B2 (ja) | 1987-01-21 |
Family
ID=12316782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3090784A Granted JPS60174866A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 鉄を主成分とする金属の酸化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60174866A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020003898A1 (ja) | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 株式会社神戸製鋼所 | スクリュ式押出機 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63161152A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-04 | Daido Steel Co Ltd | 黒化炉 |
| JPH0663945B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1994-08-22 | 株式会社日立製作所 | 攪拌装置 |
| JPH0378052U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-08-07 |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP3090784A patent/JPS60174866A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020003898A1 (ja) | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 株式会社神戸製鋼所 | スクリュ式押出機 |
| KR20210014134A (ko) | 2018-06-25 | 2021-02-08 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 스크루식 압출기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60174866A (ja) | 1985-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3421660B2 (ja) | 熱処理装置及びその方法 | |
| US3911553A (en) | Method for bonding metal to ceramic | |
| JPS622624B2 (ja) | ||
| US3526550A (en) | Surface preparation of iron-chromium alloy parts for metal-to- glass seals | |
| JP2003048073A (ja) | 平面型半導体装置の生産装置およびその生産装置を用いた平面型半導体装置の製造方法 | |
| KR880001255B1 (ko) | 금속과 유리의 밀봉에 의한 전자부품의 제작 방법 | |
| JPS62140413A (ja) | 縦型拡散装置 | |
| JPH0567577A (ja) | 縦型拡散・ｃｖｄ炉 | |
| JPH0343338B2 (ja) | ||
| JPS63128711A (ja) | 熱処理装置 | |
| US3185597A (en) | Metal oxidizing process | |
| JPS635517A (ja) | 拡散酸化炉 | |
| JP3004100B2 (ja) | 燻化用台車装置 | |
| Narushima et al. | High-temperature active oxidation of CVD-Si3N4 in Ar O2 atmosphere | |
| JPS6187341A (ja) | ビ−ム照射Ｓｉ表面酸化・窒化装置 | |
| JPS62102520A (ja) | 半導体製造装置 | |
| KR980006521A (ko) | 반도체소자의 게이트 산화막 제조방법 | |
| JPH02122630A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPH066507Y2 (ja) | 減圧酸化ｃｖｄ装置 | |
| JPH03102818A (ja) | 化合物半導体アニール装置 | |
| JPH05226345A (ja) | 半導体製造装置および半導体製造方法 | |
| JPH0786262A (ja) | 半導体製造装置の反応炉 | |
| IT1022878B (it) | Metodo per il trattamento di articoli in condizioni di vuoto differenziali con corrente di gas dall esterno | |
| JPH01302822A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS59113103A (ja) | 焼結部品の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |