JPS62270921A

JPS62270921A - 液晶装置

Info

Publication number: JPS62270921A
Application number: JP11557186A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Okimoto; 沖本　浩之
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 1986-05-20
Filing date: 1986-05-20
Publication date: 1987-11-25
Anticipated expiration: 2011-06-19
Also published as: JP2507998B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明〔発明の技術分野〕本発明は液晶装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

近時、光書込み式プリンタにおける光書込みゃテレビジ
ョン受像機などにおける画像形成などにおいては、光の
透過を制御する微少な多数のシャッタ部を配列形成した
液晶装置が用いられている。

この液晶装置は、液晶シャッタと呼ばれ、多数の信号電
極を配列形成した透明な基板と、前記信号電極に対向し
て共通電極を形成した透明な基板とを、電極形成面が内
側となるように液晶を介在して対向配置して構成したも
のである。すなわち、一方の基板に形成する信号１極と
他方の基板に形成する共通電極は、夫々基板表面に透明
シ称ヲ被着するとともに、この透明電極の表面に光が透
過する部分（シャッタ電極）を除いて金属＠を被着して
構成されており、且つ信号成極における透明電極の光透
過部とこれに対向する共通電極における透明ｔｈｉの光
透過部と両方の光透過部との間に位置する液晶とによっ
て多数のシャッタ部が配列形成されている。そして、信
号成極と共通電極との間に成田を印加して液晶分子の挙
動を制御することにより、各クヤッタ部を「開」または
「閉」にすることができる。

しかして、この液晶装置において信号′電極および共通
シ臘の透明シ称に被着する金Ａ＠は、透明電極における
光透過部すなわちシャッタ成極′ｔ−規定し、また電極
の抵抗を低下させるための役割をなしている。

従来、基板に信号成極および共通電極を形成するために
は、基板表面全体にスパッタリング法などによ）透明成
極を形成し、次に透明電極表面全体に蒸着法によシ金属
膜を形成し、その後にフォトエツチング法によシ透明１
極および金属膜の不要部分を除去して所定パターンの信
号および共通電極を形成している。

しかしながら、このような従来の電極に２いては、蒸着
法によジ金属層全形成しているので、金Ｍ膜を形成する
場合に蒸重装置を必要として製造設備が大掛りとなり、
しかも一度に多数の基板に対して蒸着を行ない金属膜を
形成することが困難では産には不適である。従って、従
来の液晶装置は、基板に設ける電＠ｌｉを形成する上で
設備面２よび生産性の面で閉磁があった。

〔桑門の目的〕

本尊咽は前記事情に基づいて乙さ１乏もので、基板に設
ける准８８ｔ−大掛りな設備を用いることなく生産性良
く形成でき、しかも成極の特性の同上を図った液晶装Ｕ
ｔ−提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明の液晶装置は、！極を設けた透明な一対の基板を
液晶を介して対向配まし、両基板の成極ふ・よび液晶に
よジシャッタ部（ｉ−構成したものにおいて、少なくと
もいずれか一方のｔ電極は、基板表面に形成した透明１
′極と、この透明成極の異面に化学メッキにより形成さ
れた複数の金属層からなたものであることをｖｆ徴とす
るものである。

〔発明の実捲例〕

以下本発明を図面で示す実ｔ！Ａ例について説明する。

第３図ないし第６図は本発明の液晶装置すなわち液晶シ
ャッタの一実施例を示している。

図中１．２は透明ガラス板からなる基板で、この基板１
，２は対向配置されて枠形の外部クール材３および線状
の内部シール材４．４ｔ−介して接着されている。基板
１，２０間隙における内部シール材４，４に挾まれた部
分および外部シール材３の両端部には液晶ＬＣ例えばゲ
スト・ホスト効実用液晶が充填されている。

一方の基板１の内面には、多数の信号成極Ｓ・・・が受
手方向に間隔を存して配列形成されている。

信号を糧Ｓ・・・は透明成極５と金属膜６とからなるｔ
ｌのや　講ａＢ蕾ｔＸ　＜け寡埒１の内面＋ｙ躍與シ稍
前記内部シール材４，４の内側に位置する光透過部であ
る２個のシャッタ電極７，７と外部シール材３の外側に
導出する端子８とを一体に形成したもので、各透明電極
Ｓ・・・の端子８は左右交互に導出するように形成され
る。金属膜６は透明電極５におけるシャッタ電極７，７
を除いた他の部分の表面に被着されている。信号成極Ｓ
は後に詳述する。なお、９は基板ｌの内面に形成した配
向膜である。

他方の基板２の内面には、帯状をなす２個の共通ｆｉｉ
ｃ、Ｃが受手方向に沿って形成してあり、この共通電極
Ｃ，Ｃは、前記基板１の各信号電鴇Ｓ・・・に２ける一
方のシャッタ電極７・・・および端子８・・・の列と他
方のシャッタ、、ＩＥａ７・・・および端子８・・・の
列とに対向している。共通１極Ｃ，Ｃは、基板２の内面
に被着された帯状の透明′ｔ　ｇｌｌｏと、この透明電
極１０の表面に被着された金属＠１１とで構成され、且
つこの金属膜１ノの前記信号υＩ・・・のシャッタ成極
７・・・、７・・・と対向する部分が大夫開口さル、金
属膜１１に２けるこルら］開口部に面する透明電極ＩＱ
の各部分が光透過部である多数のシャッタ成極１２・・
・、１２・・・として形成されている。この共通型ｉｃ
、Ｃは後にも説明する。なお、１３は基板２の内面に形
成した配向膜である。

そして、前記信号電極Ｓ・・・のシャッタ電極７・・・
、７・・・と、これに対向する前記共通型ＭＣ、Ｃのシ
ャッタ成極１２・・・、１２・・・と、前記液晶ＬＣと
で多数のシャッタ部入・・・、＆・・・が構成されて配
列されている。

次に前記基板１に設は九信号電極Ｓ・・・と前記基板２
に設けた共通型ｔａｉｃ　、　Ｃ＆Ｃついて説明を加え
る。

まず信号成極Ｓｔ−８１図について説明する。透明電極
５は酸化インジワム（Ｉ　ｎ、Ｏｓ）に錫ｆｊｃ添加し
た材料からなるもので、スパッタリングなどによって基
板１の表面に厚さ２００〜３００人で形成されている。

金属膜６は、透明電極５の表面に還元反応による化学メ
ッキにより形成されたニッケル層６Ｎと、このニッケル
層６人の表面に置換反応による化学メッキすなわちｉｌ
ｌｌｌツメツキり形成した金層６Ｂとからなるものであ
る。ニッケル層６Ａの厚さは約１１００え、金層６Ｂの
厚さは約９００λとし、金属膜６全体の厚さは２０００
λとした。この金属膜６の厚さは、２５００大を越えな
いものとするのが好ましいが、その理由は薄いと金属膜
６が低抵抗とならず、厚いと金属膜６のエツジで液晶Ｌ
Ｃの配向が乱れるのでシャッタ部入のエツジが不明瞭に
なるためである。

信号型ｉｓは次の方法によフ形成する。まず、基板１の
表面に透明電極５を所定の信号を橋形状にパターニング
して形成する。久に透明’Ｉｔ％５の表面を塩化パラジ
ウムおよび還元剤を用いて活性化させて前処理を行なう
。その後、基板１ｔ−メッキ浴のメッキ液中に浸漬し、
透明電ｇＩ５の還元反応ｖｃよる化学メッキにより表面
にニッケル層６人を形成する。メッキ液は、金属塩（メ
ッキに必要な金属イオンを供給する。）、還元剤（金属
イオンを金属として還元析出させる。）、緩衝剤（金属
イオンの析出、還元剤の酸化によるＰ）（の変化を抑制
する。）とからなっている。この場合、基板１表面と透
明電極５との酸化還元電位の違いによシ透明′ｔ＆５表
面のみにニッケルが析出する。

次に、基板を置換メッキ用のメッキ浴のメッキ液中に浸
漬し置換メッキを行なう。この場せ、メッキ液中の金属
塩はシアン化カリとシアン化ニッケルを含むものであフ
、イオン化傾向の違いによりニッケル層６Ｎの表面が金
と置換して金層６Ｂが形成される。このようにパターニ
ングを施した透明電極５の表面に金Ｗ／４膜６を形成す
る方法によれば、基板１全面に透明＆捲および金属膜を
面状に形成した麦にパターニングを行なう方法に比して
、金属膜６を構成する高価な金属を無駄に使用すること
がなく経済的である。

このように構成した信号υ■・・・において、金属膜６
は透明成極５の表面に還元メッキにより金層６Ｂｔ−形
成するので、表面層である。金１−６Ｂ金強固に形成で
きる。なお、金属膜６の下地にニッケルＩｎ’を用いる
のは、透明成極に対して接合性が艮いためであり、表面
層に金を用いるのは、１ａ　＋ＣＧ叶−Ａ？　ＩｒＣ／
　　ＲリＭ　叡９　Ｂ　’＊　ｆ　−Ｗ　＋で＃中であ
るためである。ま九、金属膜６はニッケルと金との２層
構造で、シート抵抗が０．７Ω／８ｇである。

このシート抵抗は従来の液晶表示装置における信号成極
のクロムからなる金属膜のシート抵抗３Ｑ／！ｌ１ｇ（
膜厚２００　ＯＫ）に比して大変小さい。このため、信
号型Ａｓ・・・の数が増大した場合でも、信号電極Ｓ・
・・全体の抵抗を低く抑え、抵抗の増大による発熱や駆
動波形のなまりを防止できる効果がある。

また、共通域ｉｃも信号成極Ｓと同等の構成をなしてい
る。すなわち、第２図で示すように金、捕膜１１は、透
明［＆　１０の表面に還元反応全利用した化学メッキに
より形成したニッケル１ＪＪＡと、このニッケル層１１
Ａの表面に置換メッキにより形成した金層１１Ｂとから
なるものである。従って、信号成極Ｓ・・・の場合と同
様な効果を得ることができる。

しかして、このように構成した液晶表示装置では、信号
シＡｓ・・・２よび共通電極Ｃ，Ｃにおいて透明電極の
表面に設ける金属膜を化学メソキナなわち無電解メッキ
により形成するので、金属膜を蒸着法や電解メッキによ
り形成する場合に比して、金属膜を形成するための設備
が簡素である。また、化学メッキ？ｉＡ放雰囲気で処理
するために被メッキ物を大量にメッキ処理することがで
き、金属膜の形成を大量に能率良く行なうことができる
。さらに、化学メッキを採用することにより膜厚が一定
で、ピンホールのない金属膜を形成することができる。

なお、液晶表示装置に用いる基板に設ける電極の金ｐＡ
　ｍを形成するために、化学メッキを採用するのは矢の
理由によるものである。信号電極及び共通ａｔ＞が個々
に分離されており、特に信号電極は極めて多数の電極か
らなっているので電気的な接続が困難であるため電解メ
ッキができない。透明成極の抵抗が大きいために、電解
メッキでは充分な電流を几すことができず、また透明電
極の各部位ごとの電流恒が異なり、均一な膜厚のメッキ
が行なえない。

また、金属膜は還元メッキにより形成した金属層の表面
に置換メッキにより表面金属層を形成するので、表面金
属層を強固に形成することができ、金属膜の耐久性を向
上できる。

なお、基板上に成４ｆ形成する場合、透明成極をパター
ニングした後に金属膜を形成する場合に限定されず、基
板の全面に透明電極を形成し、その後に透明成極の表面
全体に金属膜を形成し、最後に金属膜および透明成極を
電極形状にパターニングする方法を採用することも可能
である。

また、本発明の電極構造は、一対の基板のうち少なくと
もいずれか一方の基板に設けるｔ極に適用するものであ
れば良い。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の液晶装置に１几ば、基板に
設ける電極を、基板表面に形成する透明４権と、この透
明電極の表面に化学メッキによシ形成した複数の金属ノ
１からなる金属膜とで構成したので、金属膜を形成する
ための設備を簡素化し、金属膜の形成を大量生産的に能
率良く行なうことができる。また、金属膜は表面金属ｒ
ｉ　ｆ：　ｔｌＬ倶ノツノツキり強固に形成して耐久性
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の液晶装置の一実施例を示し、第１図およ
び第２図は基板に設けるｔ極を拡大して示す断面図、第
３図は液晶装置を示す第４図■−■礫に沿う拡大断面図
、第４図は信号電極用基板の内面を示す平面図、第５図
は共通電極用基板の内面を示す平面図、第６図はシャッ
タ部を拡大して示す平面図である。１・・・基板、２・・・基板、５・・・透明電極、６・
・・金属膜、１０・・・透明成極、１ノ・・・金属膜、
ＬＣ・・・液晶、Ｓ・・・信号電極、Ｃ・・・共通電極
。出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦５　　　　　　
′−−− 第　１　図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電極を設けた透明な一方の基板と、前記電極と対
向して電極を設けた透明な他方の基板とを電極形成向を
内側にし液晶を介して対向配置し、前記両方の基板の電
極と前記液晶とにより光の透過を制御するシャッタ部を
構成したものにおいて、前記両基板の電極のうち少なく
ともいずれか一方の電極は、前記基板の表面に形成され
た透明電極と、この透明電極の表向上に化学メッキによ
り形成された複数の金属層からなり且つ少なくとも表面
層が置換反応による化学メッキにより形成された金属層
である金属膜とで構成されていることを特徴とする液晶
装置。
（２）金属膜は、透明電極の表面に還元反応による化学
メッキにより形成したニッケル層と、このニッケル層の
表面を置換反応による化学メッキにより置換して形成し
た金属層とからなるものである特許請求の範囲第１項に
記載の液晶装置。
（３）金属膜はパターニングした透明電極の表面に形成
したものである特許請求の範囲第１項または第２項に記
載の液晶装置。