JPS6229896B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6229896B2 JPS6229896B2 JP56074027A JP7402781A JPS6229896B2 JP S6229896 B2 JPS6229896 B2 JP S6229896B2 JP 56074027 A JP56074027 A JP 56074027A JP 7402781 A JP7402781 A JP 7402781A JP S6229896 B2 JPS6229896 B2 JP S6229896B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- motor
- bonding
- head frame
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンデイング装置においてキヤ
ピラリを上下動させるキヤピラリ上下動機構に関
するものである。
ピラリを上下動させるキヤピラリ上下動機構に関
するものである。
従来、かかるキヤピラリ上下動機構として、特
開昭54−154273号公報及び特開昭55−24403号公
報に示すものが知られている。この構造はキヤピ
ラリを保持したボンデイングアームが上下動ブロ
ツクに回転自在に保持され、この上下動ブロツク
がモータによつて回転させられる雄ねじブロツク
に螺合して上下動させられる雌ねじブロツクによ
つて上下にスライドするようになつている。この
ように、ボンデイングアームを上下動させるの
に、駆動部であるモータの回転を一度雌ねじブロ
ツクの上下運動に変えなければならないので、モ
ータに負荷がかかり、ボンデイングアームの動き
を速くすることができない。また雌ねじブロツク
の上下動機構が複雑でコスト高になると共に、組
立調整に時間がかかる欠点を有する。
開昭54−154273号公報及び特開昭55−24403号公
報に示すものが知られている。この構造はキヤピ
ラリを保持したボンデイングアームが上下動ブロ
ツクに回転自在に保持され、この上下動ブロツク
がモータによつて回転させられる雄ねじブロツク
に螺合して上下動させられる雌ねじブロツクによ
つて上下にスライドするようになつている。この
ように、ボンデイングアームを上下動させるの
に、駆動部であるモータの回転を一度雌ねじブロ
ツクの上下運動に変えなければならないので、モ
ータに負荷がかかり、ボンデイングアームの動き
を速くすることができない。また雌ねじブロツク
の上下動機構が複雑でコスト高になると共に、組
立調整に時間がかかる欠点を有する。
本発明の目的は上記従来技術の欠点をなくし、
モータの負荷を減少させ、キヤピラリ上下動速度
を速くすることが可能で、かつ機構が簡単なキヤ
ピラリ上下動機構を提供することにある。
モータの負荷を減少させ、キヤピラリ上下動速度
を速くすることが可能で、かつ機構が簡単なキヤ
ピラリ上下動機構を提供することにある。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるキヤピラリ上下動機構の
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２―２線断面図である。一端にキヤピラリ１０
を保持したボンデイングアーム１１はXY方向に
平面移動するXYフイーダー１２に固定されたヘ
ツド枠１３にベアリング１４を介して回転自在に
取付けられた支軸１５に固定されている。前記ヘ
ツド枠１３には支軸１５と同心の円筒部１３ａが
内側に突出しており、ベアリング１６を介して駆
動ブロツク１７が回転自在に取付けられている。
前記駆動ブロツク１７には接点棒１８を保持した
絶縁ブロツク１９が固定され、ボンデイングアー
ム１１は支軸１５のフツク２０と駆動ブロツク１
７のフツク２１に掛けられたばね２２により反時
計方向に付勢されて接点棒１８に接触している。
また駆動ブロツク１７にはクランパー２３を保持
したクランプアーム２４が固定されている。
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２―２線断面図である。一端にキヤピラリ１０
を保持したボンデイングアーム１１はXY方向に
平面移動するXYフイーダー１２に固定されたヘ
ツド枠１３にベアリング１４を介して回転自在に
取付けられた支軸１５に固定されている。前記ヘ
ツド枠１３には支軸１５と同心の円筒部１３ａが
内側に突出しており、ベアリング１６を介して駆
動ブロツク１７が回転自在に取付けられている。
前記駆動ブロツク１７には接点棒１８を保持した
絶縁ブロツク１９が固定され、ボンデイングアー
ム１１は支軸１５のフツク２０と駆動ブロツク１
７のフツク２１に掛けられたばね２２により反時
計方向に付勢されて接点棒１８に接触している。
また駆動ブロツク１７にはクランパー２３を保持
したクランプアーム２４が固定されている。
前記ヘツド枠１３の側板にはロータリーエンコ
ーダ３０を備えたモータ３１が固定されており、
モータ３１の駆動軸３１ａには先端にベアリング
３２が取付けられた偏心量ｅよりなる偏心軸３３
が固定されている。前記ベアリング３２は駆動ブ
ロツク１７に固定されている駆動アーム３４に固
定した２本の連結ピン３５，３６で挾持されてい
る。
ーダ３０を備えたモータ３１が固定されており、
モータ３１の駆動軸３１ａには先端にベアリング
３２が取付けられた偏心量ｅよりなる偏心軸３３
が固定されている。前記ベアリング３２は駆動ブ
ロツク１７に固定されている駆動アーム３４に固
定した２本の連結ピン３５，３６で挾持されてい
る。
また前記ヘツド枠１３にはスプールレバー４０
が固定されており、このスプールレバー４０の端
部にはワイヤ４１が巻回されたスプール４２が取
付けられている。スプール４２に巻回されたワイ
ヤ４１はガイドパイプ４３及びクランパー２３を
通してキヤピラリ１０に挿通されている。またペ
レツト５０が付いたリードフレーム５１はフレー
ムフイーダー５２で案内移送されるようになつて
いる。
が固定されており、このスプールレバー４０の端
部にはワイヤ４１が巻回されたスプール４２が取
付けられている。スプール４２に巻回されたワイ
ヤ４１はガイドパイプ４３及びクランパー２３を
通してキヤピラリ１０に挿通されている。またペ
レツト５０が付いたリードフレーム５１はフレー
ムフイーダー５２で案内移送されるようになつて
いる。
次にかかる構成よりなる本機構の作用について
説明する。第１図はキヤピラリ１０がボンデイン
グ面に当つた瞬間を示しているが、ワイヤー接続
前は、キヤピラリ１０はボンデイング面上方にあ
り、キヤピラリ１０の先端よりワイヤ４１の先端
は突出している。そこで、XYフイーダー１２に
よりヘツド枠１３が平面上を移動し、キヤピラリ
１０が第１ボンド点の上方に位置すると、モータ
３１が回転する。モータ３１の回転により偏心軸
３３に取付けられたベアリング３２は偏心量ｅだ
け上昇運動する。これにより、駆動ブロツク１７
は連結ピン３５，３６及び駆動アーム３４を介し
てヘツド枠１３の円筒部１３ａを中心として矢印
Ａ方向に回転し、接点棒１８及びクランプアーム
２４に取付けられたクランパー２３は下降する。
接点棒１８が下降すると、ばね２２の付勢力でボ
ンデイングアーム１１は接点棒１８に圧接した状
態で支軸１５を中心としてＡ方向に回転し、キヤ
ピラリ１０が下降する。そして、第１図に示すよ
うにキヤピラリ１０がボンデイング面に当つた瞬
間に接点棒１８はボンデイングアーム１１よりわ
ずかに離れ、これによりボンデイングアーム１１
と接点棒１８は導通しなくなるので、ボンデイン
グ面の高さが検出される。この状態より更にモー
タ３１はわずかに回転して停止する。そして、キ
ヤピラリ１０でワイヤ４１を第１点目のボンデイ
ング点にボンデイングする。
説明する。第１図はキヤピラリ１０がボンデイン
グ面に当つた瞬間を示しているが、ワイヤー接続
前は、キヤピラリ１０はボンデイング面上方にあ
り、キヤピラリ１０の先端よりワイヤ４１の先端
は突出している。そこで、XYフイーダー１２に
よりヘツド枠１３が平面上を移動し、キヤピラリ
１０が第１ボンド点の上方に位置すると、モータ
３１が回転する。モータ３１の回転により偏心軸
３３に取付けられたベアリング３２は偏心量ｅだ
け上昇運動する。これにより、駆動ブロツク１７
は連結ピン３５，３６及び駆動アーム３４を介し
てヘツド枠１３の円筒部１３ａを中心として矢印
Ａ方向に回転し、接点棒１８及びクランプアーム
２４に取付けられたクランパー２３は下降する。
接点棒１８が下降すると、ばね２２の付勢力でボ
ンデイングアーム１１は接点棒１８に圧接した状
態で支軸１５を中心としてＡ方向に回転し、キヤ
ピラリ１０が下降する。そして、第１図に示すよ
うにキヤピラリ１０がボンデイング面に当つた瞬
間に接点棒１８はボンデイングアーム１１よりわ
ずかに離れ、これによりボンデイングアーム１１
と接点棒１８は導通しなくなるので、ボンデイン
グ面の高さが検出される。この状態より更にモー
タ３１はわずかに回転して停止する。そして、キ
ヤピラリ１０でワイヤ４１を第１点目のボンデイ
ング点にボンデイングする。
第１ボンデイング終了後、モータ３１は前記と
逆方向に回転して前記と逆の動作によつてキヤピ
ラリ１０は上昇する。この上昇量は第２点目まで
の距離（ワイヤ長）により決定される。続いて前
記したと同様にXYフイーダー１２によつてキヤ
ピラリ１０は平面移動して第２ボンデイング点の
上方に位置する。次いでモータ３１が回転してキ
ヤピラリ１０が下降して第２ボンデイング点に圧
接し、ワイヤー接続作業が終了する。そして、次
の接続作業に移る時、キヤピラリ１０が上昇する
が、この時クランパー２３が閉じてワイヤ４１を
切断する。ここで、前記したキヤピラリ１０、ク
ランパー２３の上下量、即ちモータ３１の回転量
はロータリーエンコーダ３０によつて計測及び制
御される。
逆方向に回転して前記と逆の動作によつてキヤピ
ラリ１０は上昇する。この上昇量は第２点目まで
の距離（ワイヤ長）により決定される。続いて前
記したと同様にXYフイーダー１２によつてキヤ
ピラリ１０は平面移動して第２ボンデイング点の
上方に位置する。次いでモータ３１が回転してキ
ヤピラリ１０が下降して第２ボンデイング点に圧
接し、ワイヤー接続作業が終了する。そして、次
の接続作業に移る時、キヤピラリ１０が上昇する
が、この時クランパー２３が閉じてワイヤ４１を
切断する。ここで、前記したキヤピラリ１０、ク
ランパー２３の上下量、即ちモータ３１の回転量
はロータリーエンコーダ３０によつて計測及び制
御される。
このように、ボンデイングアーム１１を上下動
させる駆動アーム３４をモータ３１によつて回転
駆動する偏心軸３３により行う簡単な機構よりな
るので、装置のコストダウンが図れると共に、組
立調整が容易となる。また従来のようにねじを回
す必要がないので、モータ３１の負荷が小さくな
り、キヤピラリ１０の上下動速度を速くすること
ができ、ワイヤボンデイングが高速化される。
させる駆動アーム３４をモータ３１によつて回転
駆動する偏心軸３３により行う簡単な機構よりな
るので、装置のコストダウンが図れると共に、組
立調整が容易となる。また従来のようにねじを回
す必要がないので、モータ３１の負荷が小さくな
り、キヤピラリ１０の上下動速度を速くすること
ができ、ワイヤボンデイングが高速化される。
なお、駆動ブロツク１７はヘツド枠１３に上下
動自在に設けてもよい。
動自在に設けてもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるキ
ヤピラリ上下動機構によれば、機構が簡単でコス
トダウンが図れると共に、組立調整が容易とな
る。またモータの負荷が小さくワイヤボンデイン
グの高速化が図れる。
ヤピラリ上下動機構によれば、機構が簡単でコス
トダウンが図れると共に、組立調整が容易とな
る。またモータの負荷が小さくワイヤボンデイン
グの高速化が図れる。
第１図は本発明になるキヤピラリ上下動機構の
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２―２線断面図である。 １０……キヤピラリ、１１……ボンデイングア
ーム、１３……ヘツド枠、１５……支軸、１７…
…駆動ブロツク、１８……接点棒、１９……絶縁
ブロツク、３０……モータ、３３……偏心軸、３
４……駆動アーム、４１……ワイヤ。
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２―２線断面図である。 １０……キヤピラリ、１１……ボンデイングア
ーム、１３……ヘツド枠、１５……支軸、１７…
…駆動ブロツク、１８……接点棒、１９……絶縁
ブロツク、３０……モータ、３３……偏心軸、３
４……駆動アーム、４１……ワイヤ。
Claims (1)
- １ XY方向に平面移動可能なヘツド枠に固定さ
れたモータと、このモータによつて回転駆動され
る偏心軸と、ワイヤの挿通されたキヤピラリを保
持し前記ヘツド枠に揺動自在に設けられたボンデ
イングアームと、このボンデイングアームの下降
方向を防止するようにボンデイングアームの面に
延在して前記ヘツド枠に揺動又は上下動自在に支
承され前記偏心軸で揺動又は上下動させられる駆
動部材とからなるキヤピラリ上下動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56074027A JPS57188839A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Vertical moving mechanism for capillary |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56074027A JPS57188839A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Vertical moving mechanism for capillary |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57188839A JPS57188839A (en) | 1982-11-19 |
| JPS6229896B2 true JPS6229896B2 (ja) | 1987-06-29 |
Family
ID=13535232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56074027A Granted JPS57188839A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Vertical moving mechanism for capillary |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57188839A (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823743B2 (ja) * | 1973-04-02 | 1983-05-17 | 株式会社日立製作所 | ワイヤボンデイングソウチ |
| JPS5329475B2 (ja) * | 1973-09-12 | 1978-08-21 | ||
| JPS5933259B2 (ja) * | 1977-05-23 | 1984-08-14 | 株式会社東芝 | 半導体装置のボンデイング装置 |
| US4266710A (en) * | 1978-11-22 | 1981-05-12 | Kulicke And Soffa Industries Inc. | Wire bonding apparatus |
| JPS6133643Y2 (ja) * | 1980-10-21 | 1986-10-01 |
-
1981
- 1981-05-15 JP JP56074027A patent/JPS57188839A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57188839A (en) | 1982-11-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4603803A (en) | Wire bonding apparatus | |
| US5170928A (en) | Bonding head | |
| JPS6229896B2 (ja) | ||
| JPS6229897B2 (ja) | ||
| JPS6220692B2 (ja) | ||
| JPS6256657B2 (ja) | ||
| US5340010A (en) | Bonding apparatus | |
| JPS6021533A (ja) | 回路素子の圧着方法およびその装置 | |
| JPH01199443A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| US4387585A (en) | Spring coiling machine with improved coil starter means | |
| JPH0755002Y2 (ja) | ワイヤボンダの荷重制御構造 | |
| JPS6364274B2 (ja) | ||
| JPH0110929Y2 (ja) | ||
| SU437592A1 (ru) | Сварочна головка | |
| JP2523657B2 (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
| KR920010689B1 (ko) | 본딩장치 | |
| JPH0140196Y2 (ja) | ||
| JPH0213818B2 (ja) | ||
| SU1625630A1 (ru) | Автоматическа установка дл присоединени проволочных выводов | |
| JPS6348123Y2 (ja) | ||
| JP2558717B2 (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JPS61290731A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JPS6057640A (ja) | ボンデイング面高さ検出装置 | |
| JPS63127543A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JPS5823743B2 (ja) | ワイヤボンデイングソウチ |