JPS6220692B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6220692B2 JPS6220692B2 JP56007749A JP774981A JPS6220692B2 JP S6220692 B2 JPS6220692 B2 JP S6220692B2 JP 56007749 A JP56007749 A JP 56007749A JP 774981 A JP774981 A JP 774981A JP S6220692 B2 JPS6220692 B2 JP S6220692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- block
- bonding
- motor
- head frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンデイング装置においてキヤ
ピラリを上下動させるキヤピラリ上下動機構に関
するものである。
ピラリを上下動させるキヤピラリ上下動機構に関
するものである。
従来、かかるキヤピラリ上下動機構として、特
開昭54−154273号公報及び特開昭55−24403号公
報に示すものが知られている。この構造はキヤピ
ラリを保持したボンデイングアームが上下動ブロ
ツクに回転自在に保持され、この上下動ブロツク
がモータによつて上下動させられる雌ねじブロツ
クによつて上下にスライドするようになつてお
り、キヤピラリがボンデイング面に当ると接点又
はマイクロホンによりボンデイング面の高さが検
出され、モータが更に若干回転してキヤピラリは
ボンデイング面に当つたままで上下動ブロツクが
更に下降して停止するようになつている。このよ
うに、ボンデイングアームは上下動ブロツクに回
転自在に支承され、かつ上下動ブロツクと共に上
下動するので、キヤピラリがボンデイング面に当
つた瞬間と上下動ブロツクが更に下降して停止し
た時とでは、ボンデイングアームの回転中心であ
る支軸に位置ずれが生じる。このため、キヤピラ
リはわずかに位置ずれを起してワイヤー切れ等が
生じてボンダビリテイーに悪影響を及ぼす欠点が
あつた。
開昭54−154273号公報及び特開昭55−24403号公
報に示すものが知られている。この構造はキヤピ
ラリを保持したボンデイングアームが上下動ブロ
ツクに回転自在に保持され、この上下動ブロツク
がモータによつて上下動させられる雌ねじブロツ
クによつて上下にスライドするようになつてお
り、キヤピラリがボンデイング面に当ると接点又
はマイクロホンによりボンデイング面の高さが検
出され、モータが更に若干回転してキヤピラリは
ボンデイング面に当つたままで上下動ブロツクが
更に下降して停止するようになつている。このよ
うに、ボンデイングアームは上下動ブロツクに回
転自在に支承され、かつ上下動ブロツクと共に上
下動するので、キヤピラリがボンデイング面に当
つた瞬間と上下動ブロツクが更に下降して停止し
た時とでは、ボンデイングアームの回転中心であ
る支軸に位置ずれが生じる。このため、キヤピラ
リはわずかに位置ずれを起してワイヤー切れ等が
生じてボンダビリテイーに悪影響を及ぼす欠点が
あつた。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、キヤピラリの位置ずれが生じないキヤピラ
リ上下動機構を提供することを目的とする。
ので、キヤピラリの位置ずれが生じないキヤピラ
リ上下動機構を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になる装置の一実施例を示す一
部断面側面図、第２図は第１図の２−２線断面図
である。一端にキヤピラリ１０を保持したボンデ
イングアーム１１はXY方向に平面移動するXYフ
イーダー１２に固定されたヘツド枠１３にベアリ
ング１４を介して回転自在に取付けられた支軸１
５に固定されている。前記ヘツド枠１３には支軸
１５と同心の円筒部１３ａが内側に突出してお
り、ベアリング１６を介して駆動ブロツク１７が
回転自在に取付けられている。前記駆動ブロツク
１７には接点棒１８を保持した絶縁ブロツク１９
が固定され、ボンデイングアーム１１は支軸１５
のフツク２０と駆動ブロツク１７のフツク２１に
掛けられたばね２２により反時計方向に付勢され
て接点棒１８に接触している。また駆動ブロツク
１７にはクランパー２３を保持したクランプアー
ム２４が固定されている。
部断面側面図、第２図は第１図の２−２線断面図
である。一端にキヤピラリ１０を保持したボンデ
イングアーム１１はXY方向に平面移動するXYフ
イーダー１２に固定されたヘツド枠１３にベアリ
ング１４を介して回転自在に取付けられた支軸１
５に固定されている。前記ヘツド枠１３には支軸
１５と同心の円筒部１３ａが内側に突出してお
り、ベアリング１６を介して駆動ブロツク１７が
回転自在に取付けられている。前記駆動ブロツク
１７には接点棒１８を保持した絶縁ブロツク１９
が固定され、ボンデイングアーム１１は支軸１５
のフツク２０と駆動ブロツク１７のフツク２１に
掛けられたばね２２により反時計方向に付勢され
て接点棒１８に接触している。また駆動ブロツク
１７にはクランパー２３を保持したクランプアー
ム２４が固定されている。
前記ヘツド枠１３にはロータリーエンコーダ３
０を備えたモータ３１が固定されており、このモ
ータ３１の出力軸は一端がベアリング３２を介し
てヘツド枠１３に回転自在に支承された雄ねじ３
３とジヨイント３４で結合されている。前記雄ね
じ３３には雌ねじブロツク３５が螺合しており、
この雌ねじブロツク３５は上下方向に移動できる
が回転しないように、雌ねじブロツク３５に固定
されたピン３６に取付けられたベアリング３７が
ヘツド枠１３に設けた縦溝１３ｂに摺動自在に嵌
合されている。また雌ねじブロツク３５にはベア
リング３８が取付けられたピン３９が固定されて
おり、前記ベアリング３８は駆動ブロツク１７に
固定されている駆動アーム４０に固定した２本の
連結ピン４１，４２で挾持されている。
０を備えたモータ３１が固定されており、このモ
ータ３１の出力軸は一端がベアリング３２を介し
てヘツド枠１３に回転自在に支承された雄ねじ３
３とジヨイント３４で結合されている。前記雄ね
じ３３には雌ねじブロツク３５が螺合しており、
この雌ねじブロツク３５は上下方向に移動できる
が回転しないように、雌ねじブロツク３５に固定
されたピン３６に取付けられたベアリング３７が
ヘツド枠１３に設けた縦溝１３ｂに摺動自在に嵌
合されている。また雌ねじブロツク３５にはベア
リング３８が取付けられたピン３９が固定されて
おり、前記ベアリング３８は駆動ブロツク１７に
固定されている駆動アーム４０に固定した２本の
連結ピン４１，４２で挾持されている。
また前記ヘツド枠１３にはスプールレバー５０
が固定されており、このスプールレバー５０の端
部にはワイヤ５１が巻回されたスプール５２が取
付けられている。スプール５２に巻回されたワイ
ヤ５１はガイドパイプ５３及びクランパー２３を
通してキヤピラリ１０に挿通されている。またペ
レツト６０が付いたリードフレーム６１はフレー
ムフイーダー６２で案内移送されるようになつて
いる。
が固定されており、このスプールレバー５０の端
部にはワイヤ５１が巻回されたスプール５２が取
付けられている。スプール５２に巻回されたワイ
ヤ５１はガイドパイプ５３及びクランパー２３を
通してキヤピラリ１０に挿通されている。またペ
レツト６０が付いたリードフレーム６１はフレー
ムフイーダー６２で案内移送されるようになつて
いる。
次にかかる構成よりなる本装置の作用について
説明する。第１図はキヤピラリ１０がボンデイン
グ面に当つた瞬間を示しているが、ワイヤー接続
前は、キヤピラリ１０はボンデイング面上方にあ
り、キヤピラリ１０の先端よりワイヤ５１の先端
は突出している。そこで、XYフイーダー１２に
よりヘツド枠１３が平面上を移動し、キヤピラリ
１０が第１ボンド点の上方に位置すると、モータ
３１が回転する。モータ３１の回転により雌ねじ
ブロツク３５が矢印Ａ方向に上動する。駆動ブロ
ツク１７には駆動アーム４０が固定されているの
で、雌ねじブロツク３５が矢印Ａ方向に上動する
と、駆動ブロツク１７はベアリング３８、連結ピ
ン４１，４２及び駆動アーム４０を介してヘツド
枠１３の円筒部１３ａを中心として矢印Ｂ方向に
回転し、接点棒１８及びクランプアーム２４に取
付けられたクランパー２３は下降する。接点棒１
８が下降すると、ばね２２の付勢力でボンデイン
グアーム１１は接点棒１８に圧接した状態で支軸
１５を中心としてＢ方向に回転し、キヤピラリ１
０が下降する。そして、第１図に示すようにキヤ
ピラリ１０がボンデイング面に当つた瞬間に接点
棒１８はボンデイングアーム１１よりわずかに離
れ、これによりボンデイングアーム１１と接点棒
１８は導通しなくなるので、ボンデイング面の高
さが検出される。この状態より更にモータ３１は
わずかに回転して停止する。そして、キヤピラリ
１０でワイヤ５１を第１点目のボンデイング点に
ボンデイングする。
説明する。第１図はキヤピラリ１０がボンデイン
グ面に当つた瞬間を示しているが、ワイヤー接続
前は、キヤピラリ１０はボンデイング面上方にあ
り、キヤピラリ１０の先端よりワイヤ５１の先端
は突出している。そこで、XYフイーダー１２に
よりヘツド枠１３が平面上を移動し、キヤピラリ
１０が第１ボンド点の上方に位置すると、モータ
３１が回転する。モータ３１の回転により雌ねじ
ブロツク３５が矢印Ａ方向に上動する。駆動ブロ
ツク１７には駆動アーム４０が固定されているの
で、雌ねじブロツク３５が矢印Ａ方向に上動する
と、駆動ブロツク１７はベアリング３８、連結ピ
ン４１，４２及び駆動アーム４０を介してヘツド
枠１３の円筒部１３ａを中心として矢印Ｂ方向に
回転し、接点棒１８及びクランプアーム２４に取
付けられたクランパー２３は下降する。接点棒１
８が下降すると、ばね２２の付勢力でボンデイン
グアーム１１は接点棒１８に圧接した状態で支軸
１５を中心としてＢ方向に回転し、キヤピラリ１
０が下降する。そして、第１図に示すようにキヤ
ピラリ１０がボンデイング面に当つた瞬間に接点
棒１８はボンデイングアーム１１よりわずかに離
れ、これによりボンデイングアーム１１と接点棒
１８は導通しなくなるので、ボンデイング面の高
さが検出される。この状態より更にモータ３１は
わずかに回転して停止する。そして、キヤピラリ
１０でワイヤ５１を第１点目のボンデイング点に
ボンデイングする。
第１ボンデイング終了後、モータ３１は前記と
逆方向に回転して前記と逆の動作によつてキヤピ
ラリ１０は上昇する。この上昇量は第２点目まで
の距離（ワイヤ長）により決定される。続いて前
記したと同様にXYフイーダー１２によつてキヤ
ピラリ１０は平面移動して第２ボンデイング点の
上方に位置する。次いでモータ３１が回転してキ
ヤピラリ１０が下降して第２ボンデイング点に圧
接し、ワイヤー接続作業が終了する。そして、次
の接続作業に移る時、キヤピラリ１０が上昇する
が、この時クランパー２３が閉じてワイヤ５１を
切断する。ここで、前記したキヤピラリ１０、ク
ランパー２３の上下量、即ちモータ３１の回転量
はロータリーエンコーダ３０によつて計測及び制
御される。
逆方向に回転して前記と逆の動作によつてキヤピ
ラリ１０は上昇する。この上昇量は第２点目まで
の距離（ワイヤ長）により決定される。続いて前
記したと同様にXYフイーダー１２によつてキヤ
ピラリ１０は平面移動して第２ボンデイング点の
上方に位置する。次いでモータ３１が回転してキ
ヤピラリ１０が下降して第２ボンデイング点に圧
接し、ワイヤー接続作業が終了する。そして、次
の接続作業に移る時、キヤピラリ１０が上昇する
が、この時クランパー２３が閉じてワイヤ５１を
切断する。ここで、前記したキヤピラリ１０、ク
ランパー２３の上下量、即ちモータ３１の回転量
はロータリーエンコーダ３０によつて計測及び制
御される。
このように、ボンデイングアーム１１はヘツド
枠１３に揺動自在に支承され、上下動可能な雌ね
じブロツク３５によつて揺動させられる駆動ブロ
ツク１７によつて揺動させられるように構成して
なるので、キヤピラリ１０がボンデイング面に当
つた状態より更に駆動ブロツク１７が移動しても
ボンデイングアーム１１を保持する支軸１５は変
動しなく、キヤピラリ１０のすべりが起きなくボ
ンダビリテイーが向上する。
枠１３に揺動自在に支承され、上下動可能な雌ね
じブロツク３５によつて揺動させられる駆動ブロ
ツク１７によつて揺動させられるように構成して
なるので、キヤピラリ１０がボンデイング面に当
つた状態より更に駆動ブロツク１７が移動しても
ボンデイングアーム１１を保持する支軸１５は変
動しなく、キヤピラリ１０のすべりが起きなくボ
ンダビリテイーが向上する。
なお、上記実施例においては、ボンデイングア
ーム１１の下面に駆動ブロツク１７と一体の接点
棒１８を圧接させたが、ボンデイングアーム１１
を支軸１５の他側に延在させ、この延在部の上面
側に接点棒１８を配設し、ボンデイングアーム１
１の延在部上面を接点棒１８に圧接させてもよ
い。また駆動ブロツク１７は揺動に限らず、上下
動自在に構成してもよい。またボンデイング面の
高さ検出はホトセンサーを使用した光学的検出方
法及びマイクロホンを使用した音波的検出方法で
もよい。またキヤピラリ１０の上下量の計測はロ
ータリーエンコーダ３０に代えてリニアーエンコ
ーダ等でもよい。
ーム１１の下面に駆動ブロツク１７と一体の接点
棒１８を圧接させたが、ボンデイングアーム１１
を支軸１５の他側に延在させ、この延在部の上面
側に接点棒１８を配設し、ボンデイングアーム１
１の延在部上面を接点棒１８に圧接させてもよ
い。また駆動ブロツク１７は揺動に限らず、上下
動自在に構成してもよい。またボンデイング面の
高さ検出はホトセンサーを使用した光学的検出方
法及びマイクロホンを使用した音波的検出方法で
もよい。またキヤピラリ１０の上下量の計測はロ
ータリーエンコーダ３０に代えてリニアーエンコ
ーダ等でもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるキ
ヤピラリ上下動機構によれば、キヤピラリのすべ
りが生じないので、ボンダビリテイーが向上す
る。
ヤピラリ上下動機構によれば、キヤピラリのすべ
りが生じないので、ボンダビリテイーが向上す
る。
第１図は本発明になるキヤピラリ上下動機構の
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２−２線断面図である。 １０…キヤピラリ、１１…ボンデイングアー
ム、１３…ヘツド枠、１５…支軸、１７…駆動ブ
ロツク、３０…ロータリーエンコーダ、３１…モ
ータ、３３…雄ねじ、３５…雌ねじブロツク、４
０…駆動アーム、５１…ワイヤ。
一実施例を示す一部断面側面図、第２図は第１図
の２−２線断面図である。 １０…キヤピラリ、１１…ボンデイングアー
ム、１３…ヘツド枠、１５…支軸、１７…駆動ブ
ロツク、３０…ロータリーエンコーダ、３１…モ
ータ、３３…雄ねじ、３５…雌ねじブロツク、４
０…駆動アーム、５１…ワイヤ。
Claims (1)
- １ ワイヤの挿通されたキヤピラリを上下動させ
る駆動部を構成する上下動可能な雌ねじブロツク
と、この雌ねじブロツクに螺合し回転する雄ねじ
と、XY方向に平面移動可能なヘツド枠に固定さ
れ前記雄ねじを回転駆動するモータと、このモー
タの回転量を制御するエンコーダとを備えたキヤ
ピラリ上下動機構において、前記キヤピラリを保
持し前記ヘツド枠に揺動自在に支承されたボンデ
イングアームと、このボンデイングアームの下降
方向を防止するようにボンデイングアームの面に
延在して前記ヘツド枠に揺動又は上下動自在に支
承され前記雌ねじブロツクで揺動又は上下動させ
られる駆動部材とを設けてなるキヤピラリ上下動
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56007749A JPS57121241A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Capillary up-and-down motion mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56007749A JPS57121241A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Capillary up-and-down motion mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57121241A JPS57121241A (en) | 1982-07-28 |
| JPS6220692B2 true JPS6220692B2 (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=11674339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56007749A Granted JPS57121241A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Capillary up-and-down motion mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57121241A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124280U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823743B2 (ja) * | 1973-04-02 | 1983-05-17 | 株式会社日立製作所 | ワイヤボンデイングソウチ |
| JPS5329475B2 (ja) * | 1973-09-12 | 1978-08-21 |
-
1981
- 1981-01-21 JP JP56007749A patent/JPS57121241A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124280U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57121241A (en) | 1982-07-28 |
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