JPS6230875A - バツチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、バッチ式真空蒸着′ＩＡ所用蒸発源収納装置
に関するものである。

［従来の技術］ 従来、バッチ式真空蒸着装置としては種々の型式のもの
が提案されており、例えば、実公昭４９−１８１２１号
公報、特公昭４３−　１１３７０号公報、特公昭５Ｂ−
３０３２号公報および待合ｌｌ３５Ｂ−１７８２９号公
報等に記載のものを公知例としてあげることができる。

これらの公知の装置はいずれも真空容器から成る蒸着室
内に被処理物と蒸発源とを対向させて配置し、真空中で
物質を加熱して蒸発さＶ、その蒸気を被処理物上に凝縮
させて７Ｉｉ膜を形成するように構成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このようなバッチ式真空蒸着装置においては
、蒸着作業が終了すると、蒸着室を人気に開放して被処
理物の入れ換えを行なう必要がある。この場合、蒸着作
業終了直後に大気を導入すると、蒸発源は、急冷される
ため損（セすることがある。このため蒸着作業終了後、
蒸発源がある程度冷却されるまで蒸着室を大気に開放す
るのを待つ必要がある。その結果、１バツヂ当りに要す
る時開が長くなり、生産性が悪い。

また、蒸着作業終了毎に蒸発源が大気中に晒されるので
、酸化等が起こり、消耗が早く、メンテナンス費用が増
大する傾向があった。

−力、蒸着室と蒸発源室とを別個に設け、これらの画室
を大口径のバルブで仕切り、蒸発源室を常に真空状態に
保持し、蒸着室のみを大気圧にするようにした二室式真
空蒸着装δも提案されているが、蒸着室内の被処理物と
蒸発源室内の蒸発源とは対抗させて位置決めしなければ
ならないため、装−置の構成が自ずと制限を受け、しか
も蒸着室と蒸発源室との間に大口径のバルブを設ける必
要があるので、蒸着室内の被処理物と蒸発源室内の蒸発
源との距離についても制約を受けることになる。

そこで、本発明は、上述のような従来技術の問題点を解
決して、１バッチ当りの作業時間を大幅に短縮でき、し
かも蒸発源を毎回大気に晒さずにしかも不要な蒸発や汚
染を防ぐことのできるバッチ式真空蒸着装置用蒸発源収
納装置を提供することを目的としている。

し問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成づるために、本発明によるバッチ式真
空蒸着装置用魚介源収納Ｖ；、置は、内部に基板と蒸発
源とを挿間し、上記蒸発源から蒸発させた蒸着物質蒸気
を上記基板上に凝縮させで蒸４を行なうようにした真空
蒸着室と、上記真空蒸着室に仕切弁を介して連結し、真
空を維持できるようにした蒸発源収納室と、上記蒸発源
収納室内で上記蒸発源の蒸発と汚染を防止するキャリア
ガスを上記蒸発源収納室内に導入するキャリアガス導入
装置とを有し、上記真空蓋６室と上記蒸発源収納室どの
間で上記蒸発源を移動できるようにしたことを特徴とし
ている。

［作　　　　用］ 本発明によるバッチ式真空、Ｒ着装置用蒸発源収納装置
においては、真空蒸着室に仕切弁を介して連結して別個
に蒸発源収納室が設（プられ、蒸着処理中蒸発源はキャ
リアガス雰囲気中の蒸発源収納室から真空蒸着室内の被
処理物に対向覆る位冒に搬入され、蒸着処理終了後の被
処理物の取出し時には再び蒸発源収納室内に収納され、
キャリアガス導入装置によって導入された不活性ガス雰
囲気内に保持される。

［実　施　例］ 以下、添附図面を参照して本発明の実施例について説明
する。

第１図には本発明の一実施例によるバッチ式真空蒸首装
口用蒸発源収納装置の要部を概略的に示し、１は蒸発源
収納室で、その内側に断熱材１ａが施されており、従っ
て保温室を構成している。

この蒸発源収納室１は仕切バルブ２を介して真空蒸着室
３に連結されている。蒸発源収納室１内には蒸発源４を
搬送するための搬送ローラ５が一平面上に配列されてお
り、各搬送ローラ５は、第２図に示すように、外部の駆
動系６（図面にはそのうちの一つだけを示す）を介して
駆動制御されＩＪる。図面には示してないが、真空蒸着
室３内にも搬送ローラ５と同様な搬送［］−ラが上記搬
送ローラ５の平面と実質的に同一の平面上に同じ向きで
配列される。蒸発源収納室１内の上部には二つのヒータ
７が長手方向に沿って設けられ、電１〜端子８を介して
外部電源（図示してない）に接続され、また各ヒータ７
と組み合わせて蒸発源収納室１の土壁には温度制御用の
熱電対９（一方のみを第１図に示す）が設けられている
。これらのヒータ７および熱電対９の作用により、蒸発
源４の温度は一定温度に維持され得る。一方、蒸発源収
納室１内の下部にはキャリアガス導入装置１ｏが配設さ
れており、このキャリアガス導入装置１ｏは外部の図示
してない適当なキャリアガス供給源に連結され、不活性
ガスを蒸発源収納ｖ１内に供給して蒸発源４内の蒸発物
質の蒸発を抑えると共に蒸発源４を周囲からの汚染から
保護する。また蒸発源収納室１は、その上部に設けた排
気口１１を介して活気系に連結され、常に所定の真空レ
ベルに維持され得る。

このように構成した図示装置の動作においＣは、真空蒸
着室３内において被処理物（図示してない）に対する所
要の蒸着作業が終了するど、まず、真空蒸着室３と蒸発
源収納室１との間の仕切バルブ２を開き、蒸発源収納室
１　Ｊ３よび真空蒸着室３内の搬送ローラ５を外部の駆
動系６により駆動して真空蒸着室３内に位置している蒸
発源４を高温真空状態に保たれた蒸発源収納室１へ搬出
する。しかる（股、仕切バルブ２を閉じ、真空蒸着室３
を大気に開放して真空蒸着室３内の蒸着処理の終った？
！１１１９８理物を取り出す。その後、処理すべき別の
被９８埋物を真空蒸着室３内に装着し、再び真空蒸着室
３内を排気する。排気終了後、仕切バルブ２を開き、搬
送ローラ５を逆方向に駆動して高温状態に保たれている
蒸発源４を真空蒸着室３内に搬入し、仕切バルブ２を閉
じて蒸着作業を再開する。

このようなΩ）作を繰返すことによって−・連の蒸着作
業を行なうことができる。

なお、図示実施例では、キャリアガス導入管１０は蒸発
源収納室１の下部に配設されているが、代りに蒸発源収
納室１の上部または左右両側部に設けてもよく、ヒータ
７についてもその数および位置を適宜変更することかで
きる。また、搬送ローラの代りに他の適当な搬送機構、
例えばベルト式やチェーン式等の搬送手段を使用しても
よい。

また図示実施例では、−・つの蒸発源が使用されている
が、当然処１１′ｌ！　ｌｌ的に応じて複数個の蒸発源
を用いてもよく、また蒸発源の型式についでし種々の型
式のものに対して同様に適用Ｃきる。さらに各部の動作
は、自動的に制御しても手動ぐ制御してもよい、。

Ｌ発明の効果］ 以上、説明してきたように、本発明によれば、内部に基
板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発させた蒸着
物質然気を上記基板上に凝縮さμて蒸着を行なうように
した真空蒸着室と、上記［′！空蒸着室に仕切弁を介し
′Ｃ連結し、真空を維持できるようにした蒸発源収納室
と、上記蒸発源収納室内で上記蒸発源の蒸発と汚染を防
止するキャリアガスを上記蒸発源収納室内に導入するキ
ャリアガス導入装置とを有し、上記真空蒸着室と上記蒸
発源収納室との間で上記蒸発源を移動できるように構成
しているので、蒸着終了後従来行なわれていた蒸発源の
冷却を省くことができ、１バッチ当りの作業時間が短か
くなり、その分生産性を向上させることができる。また
、蒸発源が蒸着終了毎に大気に晒されず、キャリアガス
雰囲気中に保たれるので、常に安定した品質で蒸着を行
なうことができしかも蒸発源の消耗を従来の１／１ｏ程
度に押えることができ、それにより、ランニングコス１
へを低減できるだけでなく、メンテナンス時間も大幅に
短縮できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
第１図の装置の横断面図である。 図中、１：蒸発源収納室、１ａ：断熱材、２：仕切バル
ブ、３：真空蒸着室、４：蒸発源、５：搬送ローラ、１
０：キャリアガス導入装置。 晃２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部に基板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発さ
   せた蒸着物質蒸気を上記基板上に凝縮させて蒸着を行な
   うようにした真空蒸着室と、上記真空蒸着室に仕切弁を
   介して連結し、真空を維持できるようにした蒸発源収納
   室と、上記蒸発源収納室内で上記蒸発源の蒸発と汚染を
   防止するキャリアガスを上記蒸発源収納室内に導入する
   キャリアガス導入装置とを有し、上記真空蒸着室と上記
   蒸発源収納室との間で上記蒸発源を移動できるようにし
   たことを特徴とするバッチ式真空蒸着装置用蒸発源収納
   装置。