JPS6232539U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6232539U JPS6232539U JP12256185U JP12256185U JPS6232539U JP S6232539 U JPS6232539 U JP S6232539U JP 12256185 U JP12256185 U JP 12256185U JP 12256185 U JP12256185 U JP 12256185U JP S6232539 U JPS6232539 U JP S6232539U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- view
- main pillar
- pillar
- cartridge
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 24
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図〜第１８図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図は半導体ウエハカートリツジの
平面図、第２図は第１図の―線矢視断面図、
第３図は半導体ウエハカートリツジの斜視図、第
４図は半導体ウエハが主柱に支持された状態を示
す部分拡大斜視図、第５図は主柱、補助柱及び半
導体ウエハ重心の特に好適な位置関係を示す平面
図、第６図は他の半導体ウエハカートリツジの平
面図、第７図は第６図の―線矢視断面図、第
８図は更に他の半導体ウエハカートリツジの平面
図、第９図ａ，ｂ，ｃ及びｄは半導体ウエハをバ
スケツトからカートリツジへ移換える手順を示す
概略平面図、第１０図は第９図ａの概略部分斜視
図、第１１図は半導体ウエハ移換え装置の要部平
面図、第１２図は半導体ウエハ移換え装置の要部
正面図、第１３図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及びｆは半
導体ウエハ移換えの手順を示す部分断面図、第１
４図は半導体ウエハ移換え用支持手段の一例を示
す斜視図、第１５図は他の半導体ウエハ移換え装
置の要部正面図、第１６図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及
びｆは半導体ウエハ移換えの他の手順を示す断面
図、第１７図は半導体ウエハ移換え用支持手段の
他の例を示す斜視図、第１８図は他の半導体ウエ
ハカートリツジの斜視図、である。第１９図及び
第２０図は比較例を示し、第１９図は半導体ウエ
ハカートリツジの平面図、第２０図は第１９図の
―線矢視拡大断面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１……半
導体ウエハカートリツジ、１ａ……主柱、１ｂ…
…補助柱、１ｃ……天蓋、１ｄ……底板、１ｅ…
…溝、１ｆ，１ｇ……開口部、２……バスケツト
、３，４……アーム、１６……半導体ウエハ、Ｇ
……半導体ウエハの重心、２４……平板、２５，
４５……支持台、である。
であつて、第１図は半導体ウエハカートリツジの
平面図、第２図は第１図の―線矢視断面図、
第３図は半導体ウエハカートリツジの斜視図、第
４図は半導体ウエハが主柱に支持された状態を示
す部分拡大斜視図、第５図は主柱、補助柱及び半
導体ウエハ重心の特に好適な位置関係を示す平面
図、第６図は他の半導体ウエハカートリツジの平
面図、第７図は第６図の―線矢視断面図、第
８図は更に他の半導体ウエハカートリツジの平面
図、第９図ａ，ｂ，ｃ及びｄは半導体ウエハをバ
スケツトからカートリツジへ移換える手順を示す
概略平面図、第１０図は第９図ａの概略部分斜視
図、第１１図は半導体ウエハ移換え装置の要部平
面図、第１２図は半導体ウエハ移換え装置の要部
正面図、第１３図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及びｆは半
導体ウエハ移換えの手順を示す部分断面図、第１
４図は半導体ウエハ移換え用支持手段の一例を示
す斜視図、第１５図は他の半導体ウエハ移換え装
置の要部正面図、第１６図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及
びｆは半導体ウエハ移換えの他の手順を示す断面
図、第１７図は半導体ウエハ移換え用支持手段の
他の例を示す斜視図、第１８図は他の半導体ウエ
ハカートリツジの斜視図、である。第１９図及び
第２０図は比較例を示し、第１９図は半導体ウエ
ハカートリツジの平面図、第２０図は第１９図の
―線矢視拡大断面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１……半
導体ウエハカートリツジ、１ａ……主柱、１ｂ…
…補助柱、１ｃ……天蓋、１ｄ……底板、１ｅ…
…溝、１ｆ，１ｇ……開口部、２……バスケツト
、３，４……アーム、１６……半導体ウエハ、Ｇ
……半導体ウエハの重心、２４……平板、２５，
４５……支持台、である。
Claims (1)
- 半導体ウエハをその周辺部で支持する主柱を有
し、この主柱の前記半導体ウエハ挿入側に、この
半導体ウエハが実質的に回動若しくは位置ずれし
ない位置関係に、前記主柱と、この主柱に対する
前記半導体ウエハ支持時のこの半導体ウエハの重
心とが配置されるように構成した半導体ウエハ支
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12256185U JPS6232539U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12256185U JPS6232539U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232539U true JPS6232539U (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=31012864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12256185U Pending JPS6232539U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232539U (ja) |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP12256185U patent/JPS6232539U/ja active Pending