JPH0336131U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0336131U JPH0336131U JP9830289U JP9830289U JPH0336131U JP H0336131 U JPH0336131 U JP H0336131U JP 9830289 U JP9830289 U JP 9830289U JP 9830289 U JP9830289 U JP 9830289U JP H0336131 U JPH0336131 U JP H0336131U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tiltable
- wet processing
- semiconductor
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るウエツト処理
装置の全体構成を示す概略説明図、第２図は同実
施例に使用されるウエーハホルダと駆動機構を示
す斜視図、第３図は第２図ウエーハ支持部の−
線に沿つた断面図、第４図及び第５図は何れも
ウエーハホルダの他例を示す断面図、第６図は従
来のウエツト処理装置の断面図である。 Ｗ……半導体ウエーハ、１……ウエーハ供給手
段、１１……ウエーハ収容治具、２……ウエーハ
ホルダ、３……液処理槽、５……ウエーハ取出手
段、
装置の全体構成を示す概略説明図、第２図は同実
施例に使用されるウエーハホルダと駆動機構を示
す斜視図、第３図は第２図ウエーハ支持部の−
線に沿つた断面図、第４図及び第５図は何れも
ウエーハホルダの他例を示す断面図、第６図は従
来のウエツト処理装置の断面図である。 Ｗ……半導体ウエーハ、１……ウエーハ供給手
段、１１……ウエーハ収容治具、２……ウエーハ
ホルダ、３……液処理槽、５……ウエーハ取出手
段、
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハ収容治具から半導体ウエーハを１枚ず
つ供給するウエーハ供給手段と、 上記ウエーハ収容治具から供給される半導体ウ
エーハの周縁部を支持し、水平方向への移動及び
上下方向への移動自在となつた可傾式ウエーハホ
ルダと、 上記可傾式ウエーハホルダを直立状態として該
ウエーハホルダに支持した半導体ウエーハを浸漬
してウエツト処理を施す少なくとも１箇所の液処
理槽と、 ウエツト処理後の半導体ウエーハを取り出すウ
エーハ取出手段とを含むことを特徴とするウエツ
ト処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9830289U JPH0336131U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9830289U JPH0336131U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0336131U true JPH0336131U (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=31647408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9830289U Pending JPH0336131U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0336131U (ja) |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP9830289U patent/JPH0336131U/ja active Pending