JPS63195734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63195734U JPS63195734U JP1987087371U JP8737187U JPS63195734U JP S63195734 U JPS63195734 U JP S63195734U JP 1987087371 U JP1987087371 U JP 1987087371U JP 8737187 U JP8737187 U JP 8737187U JP S63195734 U JPS63195734 U JP S63195734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer jig
- wafer transfer
- cassette
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は、本考案による一実施例の斜視図であ
る。第２図ａ〜ｄは、従来方法によるウエハ移載
作業の説明図、第３図は、本考案による一実施例
の側面図、第４図ａ〜ｃは、本考案の治具による
ウエハ移載作業の説明図である。 １，２，１０，２０……ウエハカセツト、３，
３０……ウエハ、８０……カセツト位置決め板、
９０……カセツト転倒防止板。
る。第２図ａ〜ｄは、従来方法によるウエハ移載
作業の説明図、第３図は、本考案による一実施例
の側面図、第４図ａ〜ｃは、本考案の治具による
ウエハ移載作業の説明図である。 １，２，１０，２０……ウエハカセツト、３，
３０……ウエハ、８０……カセツト位置決め板、
９０……カセツト転倒防止板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハを、一方のウエハカセツトか
ら、他方のウエハカセツトに移し替える為の治具
において、ウエハを水平方向に保持する方向で、
２つのウエハカセツトを対向して固定させたこと
を特徴とするウエハ移載治具。 (2) 前記ウエハ移載治具において、上部にウエ
ハカセツト転倒防止用板を設けたことを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移
載治具。 (3) 前記ウエハ移載治具において、底部が水平
部及びテーパー部から成つていることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移
載治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987087371U JPS63195734U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987087371U JPS63195734U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195734U true JPS63195734U (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=30944517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987087371U Pending JPS63195734U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195734U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP1987087371U patent/JPS63195734U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |
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