JPS6235399B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6235399B2 JPS6235399B2 JP56124597A JP12459781A JPS6235399B2 JP S6235399 B2 JPS6235399 B2 JP S6235399B2 JP 56124597 A JP56124597 A JP 56124597A JP 12459781 A JP12459781 A JP 12459781A JP S6235399 B2 JPS6235399 B2 JP S6235399B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- glaze
- glass
- top cover
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオンデマンド方式のインクジエツトプ
リンタ用ヘツドの製造方法、特に微細なインク通
路を多数もつマルチノズルヘツドの製造方法に関
する。
リンタ用ヘツドの製造方法、特に微細なインク通
路を多数もつマルチノズルヘツドの製造方法に関
する。
インクジエツトプリンタ用ヘツドはインク通路
を設けた基板と圧電素子からの信号を伝える役目
をする上蓋とを貼り合わせて一体に形成せしめた
ものであるが、その概略構造は第１図に示すとお
りのものである。ここで第１図ａは上蓋を、第１
図ｂは基板をそれぞれ示したものであるが、上蓋
１は適度な機械的強度と耐水性が要求されるので
通常アルミナ、ムライト、セラミツクまたはガラ
ス・セラミツクなどの材料を使用して製作され、
該上蓋１には圧電素子５が装着される。一方基板
はベース基板２の上面にグレーズ層３を形成した
二重構造とし、ベース基板２は適度の機械的強度
と耐水性をそなえ、かつ寸法安定性が良好で、グ
レーズ材料との密着性の優れた材料が好ましく、
一般にはガラス・セラミツクまたはガラス・セラ
ミツクなどが使用され、またグレーズ材料として
は酸化鉛（PbO）系ガラスが主として使用され
る。かかる基板にインク通路４をエツチングによ
り形成し、しかる後エポキシ、アクリルなどの比
較的低温で使用する接着剤あるいは低融点ガラス
ペーストのように溶融接着するものを用いて上蓋
と基板を接着してインクジエツトプリンタ用ヘツ
ドは製作されるものである。
を設けた基板と圧電素子からの信号を伝える役目
をする上蓋とを貼り合わせて一体に形成せしめた
ものであるが、その概略構造は第１図に示すとお
りのものである。ここで第１図ａは上蓋を、第１
図ｂは基板をそれぞれ示したものであるが、上蓋
１は適度な機械的強度と耐水性が要求されるので
通常アルミナ、ムライト、セラミツクまたはガラ
ス・セラミツクなどの材料を使用して製作され、
該上蓋１には圧電素子５が装着される。一方基板
はベース基板２の上面にグレーズ層３を形成した
二重構造とし、ベース基板２は適度の機械的強度
と耐水性をそなえ、かつ寸法安定性が良好で、グ
レーズ材料との密着性の優れた材料が好ましく、
一般にはガラス・セラミツクまたはガラス・セラ
ミツクなどが使用され、またグレーズ材料として
は酸化鉛（PbO）系ガラスが主として使用され
る。かかる基板にインク通路４をエツチングによ
り形成し、しかる後エポキシ、アクリルなどの比
較的低温で使用する接着剤あるいは低融点ガラス
ペーストのように溶融接着するものを用いて上蓋
と基板を接着してインクジエツトプリンタ用ヘツ
ドは製作されるものである。
しかして上蓋と基板の接着に際しては、従来、
例えば第２図に示すように上蓋１の全面に接着剤
を塗布しａ、これを基板に貼り合せるｂ方法、ま
たは第３図に示すように基板のインク通路４以外
の場所に接着剤６を塗布し、これを上蓋１と貼り
合せる方法が用いられている。しかしながら、第
２図に示す方法では加圧接着に際して接着剤がイ
ンク通路に流れまたはたれ込み、目詰りを起こし
易いという欠点がありｂ、特にインク通路は通
常、幅50〜60μｍ、深さ50μｍ程度の小さいもの
であるために、わずかの流れ込みでも目詰りを起
こす危険性があり、その対策が望まれているとこ
ろである。また、第３図に示す方法は前記欠点を
解決すべくインク通路の真上に接着剤が存在しな
いような接着方法を実現しようとしたものである
が、インク通路を形成する突起部分の幅が通常60
〜70μｍ程度と非常に狭小なものであるため、こ
の部分にのみ接着剤を塗布することは技術的に非
常に困難となつている。なお、第２図と第３図
中、第１図と同符号のものは同じ部分を表わす
が、インク通路４はベース基板２に設けたグレー
ズ層３部分に形成されるものであることが示され
ている。
例えば第２図に示すように上蓋１の全面に接着剤
を塗布しａ、これを基板に貼り合せるｂ方法、ま
たは第３図に示すように基板のインク通路４以外
の場所に接着剤６を塗布し、これを上蓋１と貼り
合せる方法が用いられている。しかしながら、第
２図に示す方法では加圧接着に際して接着剤がイ
ンク通路に流れまたはたれ込み、目詰りを起こし
易いという欠点がありｂ、特にインク通路は通
常、幅50〜60μｍ、深さ50μｍ程度の小さいもの
であるために、わずかの流れ込みでも目詰りを起
こす危険性があり、その対策が望まれているとこ
ろである。また、第３図に示す方法は前記欠点を
解決すべくインク通路の真上に接着剤が存在しな
いような接着方法を実現しようとしたものである
が、インク通路を形成する突起部分の幅が通常60
〜70μｍ程度と非常に狭小なものであるため、こ
の部分にのみ接着剤を塗布することは技術的に非
常に困難となつている。なお、第２図と第３図
中、第１図と同符号のものは同じ部分を表わす
が、インク通路４はベース基板２に設けたグレー
ズ層３部分に形成されるものであることが示され
ている。
本発明の目的は上記課題を解決するにあり、イ
ンク目詰りを起こすことなくグレーズ基板と上蓋
とを接着し、印字性能の優れたマルチノズルヘツ
ドを提供することにある。
ンク目詰りを起こすことなくグレーズ基板と上蓋
とを接着し、印字性能の優れたマルチノズルヘツ
ドを提供することにある。
以下本発明の実施例を添付図面にもとづいて説
明する。
明する。
第４図は本発明にかかるグレーズ基板と上蓋の
接着方法をその工程にしたがつて示したものであ
るが、本実施例においては上蓋にはガラスを、ベ
ース基板にはセラミツを用い、またグレーズ材料
として下記に示す組成のものを用いた。
接着方法をその工程にしたがつて示したものであ
るが、本実施例においては上蓋にはガラスを、ベ
ース基板にはセラミツを用い、またグレーズ材料
として下記に示す組成のものを用いた。
重量比
PbO−B2O3−SiO2ガラス 100
エチルセルローズ ２
テルビネオール 30
先ずベース基板４を用意し(a)、その上に上記組
成の酸化鉛（PbO）系ガラスを塗布し、それを
860℃で30分間焼成してグレーズ層１３を形成し
(b)、次いでフツ化水素−硫酸（HF−H2SO4）系エ
ツチング液によりエツチングして前記した寸法の
微細なインク通路１４を形成する(c)。一方きわめ
て平滑なガラス板１７上に低融点ガラスペースト
１６をスピンコートまたはスプレー法などで塗布
したものを用意し(d)、この面に前記要領で製作し
たグレーズ基板を押しつける(e)。かかる方法によ
りグレーズ基板には接着剤が反転され(f)、これに
別途用意した上蓋１３を押し付け、加圧しながら
400〜600℃で焼成して接着は完了する(g)。かかる
接着方法によりインク通路の真上には接着剤が存
在しないため、接着剤の流れ込みによる目詰りは
回避できるものである。
成の酸化鉛（PbO）系ガラスを塗布し、それを
860℃で30分間焼成してグレーズ層１３を形成し
(b)、次いでフツ化水素−硫酸（HF−H2SO4）系エ
ツチング液によりエツチングして前記した寸法の
微細なインク通路１４を形成する(c)。一方きわめ
て平滑なガラス板１７上に低融点ガラスペースト
１６をスピンコートまたはスプレー法などで塗布
したものを用意し(d)、この面に前記要領で製作し
たグレーズ基板を押しつける(e)。かかる方法によ
りグレーズ基板には接着剤が反転され(f)、これに
別途用意した上蓋１３を押し付け、加圧しながら
400〜600℃で焼成して接着は完了する(g)。かかる
接着方法によりインク通路の真上には接着剤が存
在しないため、接着剤の流れ込みによる目詰りは
回避できるものである。
本発明は、以上説明したように接着に起因する
インク通路の目詰りを防止する効果があり、しか
もその方法は何ら技術的な困難性を有せず容易に
行うことが可能であり、かかる方法により印字性
能の優れた、信頼性の高いインクジエツトプリン
タ用ヘツドの供給が可能となるものである。
インク通路の目詰りを防止する効果があり、しか
もその方法は何ら技術的な困難性を有せず容易に
行うことが可能であり、かかる方法により印字性
能の優れた、信頼性の高いインクジエツトプリン
タ用ヘツドの供給が可能となるものである。
第１図はインクジエツトヘツドの構造図、第２
図と第３図は従来技術のグレーズ基板と上蓋の接
着方法を示す図、第４図は本発明にかかるグレー
ズ基板と上蓋の接着方法を示す図である。 １，１１……上蓋、２，１２……ベース基板、
３，１３……グレーズ層、１４……インク通路、
５……圧電素子、６，１６……接着剤、１７……
ガラス板。
図と第３図は従来技術のグレーズ基板と上蓋の接
着方法を示す図、第４図は本発明にかかるグレー
ズ基板と上蓋の接着方法を示す図である。 １，１１……上蓋、２，１２……ベース基板、
３，１３……グレーズ層、１４……インク通路、
５……圧電素子、６，１６……接着剤、１７……
ガラス板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ガラス、セラミツクまたはガラス・セラミツ
クよりなるベース基板上にグレーズ層を形成する
工程と、 該グレーズ層のエツチングによりインク通路を
形成し、グレーズ基板とする工程と、 低融点ガラスペーストが塗布された平滑な板上
に該グレーズ基板を押し付け、上記低融点ガラス
ペーストを、該インク通路部には存在しないよう
に、該グレーズ基板に転写する工程と、 セラミツクまたはガラス・セラミツクよりなる
上蓋を上記グレーズ基板に押し付け、加圧しなが
ら焼成して上蓋とグレーズ基板とを接着する工程
を有することを特徴とするマルチノズルヘツドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12459781A JPS5825967A (ja) | 1981-08-08 | 1981-08-08 | マルチノズルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12459781A JPS5825967A (ja) | 1981-08-08 | 1981-08-08 | マルチノズルヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5825967A JPS5825967A (ja) | 1983-02-16 |
| JPS6235399B2 true JPS6235399B2 (ja) | 1987-08-01 |
Family
ID=14889386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12459781A Granted JPS5825967A (ja) | 1981-08-08 | 1981-08-08 | マルチノズルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5825967A (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5053468A (ja) * | 1973-09-12 | 1975-05-12 | ||
| JPS585785B2 (ja) * | 1978-05-10 | 1983-02-01 | 株式会社日立製作所 | インクジエツト記録用ノズルヘツド |
| JPS5569474A (en) * | 1978-11-17 | 1980-05-26 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording head |
| JPS5586768A (en) * | 1978-12-23 | 1980-06-30 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording head |
| JPS6052951B2 (ja) * | 1980-11-28 | 1985-11-22 | 富士通株式会社 | マルチノズルヘツドの製造方法 |
-
1981
- 1981-08-08 JP JP12459781A patent/JPS5825967A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5825967A (ja) | 1983-02-16 |
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