JPS6235430A - カラ−陰極線管の蒸着膜形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、カラー陰極線管の蒸着膜形成方法に係り、
特に蒸着膜の品質の向上を図った蒸着膜形成方法に関す
るものである。

［従来の技術］ 通常のカラー陰極線管の蛍光面には、カラー陰Ｊｉｉ線
管の管体の一部を構成するパネル（ガラスフェースプレ
ート）の内面に被着した蛍光体のフィルミング膜上に、
この蛍光体から発した光を有効にカラー陰極線管の前方
へ取り出すために、光反射性金属薄膜としてアルミニウ
ム薄膜が形成されている。これはメタルバックの構造と
称され、このメタルバック形成により、カラー陰極線管
の輝度を増加させるとともに、電子ビームによるイオン
焼は現象の発生を防止する。

つぎに、メタルバックの形成工程を第２図にしたがって
説明する０図において、（１）はパネル、（２）はこの
パネル（１）の内面に被着形成された蛍光膜、（３）は
この蛍光膜（２）の表面を平滑にするために、有機物質
を主成分とするフィルム用ラッカ材料により形成された
フィルミング膜、（４）はアルミニウム薄膜である。

上記蛍光膜（２）は塗布、乾燥、露光および現像の諸工
程を経て形成される。また、アルミニウム薄膜（４）は
フィルミング膜（３）上にアルミニウムを真空中で蒸着
させて形成されるものであり、しかる後にベーキング処
理により、上記フィルミング膜（３）は除去される。

第３図は、一般の蒸着装置の一例を概略的に示す構成図
である。この蒸着装置は、その装置本体（５）上にパネ
ルに見合ったゴム製シートバッキング（８）があり、こ
のゴム製シートバッキング（６）にパネル（１）を載置
し、真空ポンプ（図示せず）を動作させることにより、
パネル（１）の内面を高真空にすることができる。また
、上記装置本体（５）内には抵抗加熱体（７）が設けら
れており、この抵抗加熱体（７）にアルミニウム線を装
着し、所定の真空度で通電すると、抵抗加熱体（７）の
発熱による温度上昇によって、アルミニウムは蒸発し上
方に飛散する。この蒸発により、フィルミング膜（３）
上にアルミニウム薄膜（４）が形成されることとなる。

［発明が解決しようとする問題点１ 以上のようなカラー陰極線管の蒸着膜形成方法では、蛍
光膜（２）の形成工程における微細なごみ、はこり、ま
たはフィルミングラッカの残滓、あるいは、運搬工程中
のごみやほこり等の異物がフィルミング膜（３）に付着
したまま、その上にアルミニウム薄膜（４）が形成され
るため、つぎのベーキング工程において、アルミニウム
薄膜（４）の変色、劣化等の品質上の問題が発生してい
た。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、パネル内面に付着したごみ、はこり、あるい
は蛍光面形成時の薄材料の残滓等の異物を除去すること
により、カラー陰極線管の蒸着膜の品質向上を図った蒸
着膜形成方法を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この発明に係るカラー陰極線管の蒸着膜形成方法は、蒸
着装置内を真空にするために真空ポンプが作動して排気
を続けている間に、振動手段によりパネルの外表面に振
動を与え、パネル内面に付着したごみやほこり等の異物
を真空蒸着前に除去するようにしている。

［作用］ この発明においては、真空ポンプによる排気中にパネル
に振動を与えるので、振動作用と吸引作用とにより、パ
ネル内面に付着したごみ等の異物が除去し易く、かつ真
空ポンプの排気作用により、系外にごみ等が排出され、
ごみ等の再付着を防止することができる。

［実施例］ 以下、この発明の実施例を図面にしたがって説明する。

第１図はこの発明の一実施例の概略を示す構成図である
６図において、（８）はパネル（１）に振動を与える振
動手段で、この振動手段（８）として、たとえばパネル
（１）の外表面を連打してパネルを振動させる弾性ハン
マ、つまり重さ３００−１０００ｇのゴム製ハンマが用
いられる。

つぎに、蒸着膜形成方法について説明する。蛍光膜（２
）とフィルミング膜（３）が形成されたパネル（１）は
蒸着装置本体（５）に付設されたゴム製シートバッキン
グ（ｉｌｌ）上に載置され、真空ポンプの作動で真空度
が上昇する。このとき、すでに抵抗加熱体（７）にはア
ルミニウム線が装着されている。

真空度がｌＸｌ０　　〜ｌＸｌ０　　　Ｔｏｒｒに上昇
した時点で１弾性ハンマ（８）をパネル（１）の外表面
上における数ｃｍ〜２０ｃｍの高さから自重で落下させ
る。この操作を数回ないし士数回繰り返し、パネル（１
）の０表面を連打する。

その後、所定の真空度になれば、抵抗加熱体（７）に通
電し、アルミニウムを蒸発させてフイルミ“ング１１！
Ｊ　（３）上にアルミニウム薄膜（４）を形成する。

なお、振動手段（８）としては、弾性ハンマに限られず
、パネル（１）に振動を与えるものであれば、他の手段
であってもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、パネルの内面
に付着したごみ等の異物を振動手段による振動作用と、
真空ポンプによる吸引作用とによって、効率よく取り除
くことができるため、上記異物を発生原因としていたア
ルミニウム薄膜の変色や劣化等の問題を解消することが
でき１品質の良い蒸着膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図、第２図
はパネル内面の膜形成状態を示す断面図、第３図は一般
の蒸着装置を示す概略構成図である。 （１）・・・パネル、（２）・・・蛍光膜、（４）・・
・アルミニウム薄膜、（５）・・・蒸着装置本体、（８
）・・・振動手段。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸着装置にカラー陰極線管のパネルを載置してパ
   ネル内面の蛍光面に光反射性金属薄膜を真空蒸着させる
   蒸着膜形成方法において、上記蒸着装置内を真空にする
   ときに振動手段によりパネルに振動を与え、パネル内面
   に付着した異物を真空蒸着前に除去することを特徴とす
   るカラー陰極線管の蒸着膜形成方法。