JPS6236062A - 誘電性材料の薄いテ−プ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセラミック前駆体テープ（ｃｅｒａｌＩｌｉｃ
　　ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ　　を峠ｅｓ）及び電子部品の
製造におけるそれらの使用に関する。

誘電性セラミックの製造は素地の（ｇｒ　ｅ　ｃ　ｎ　
）、即ち未焼成の（ｕｎｆｉｒｅｄ）ピースを先ず製造
し、ついで焼成して所望のセラミック物品を得るという
点で他のセラミックの製造と同様である。多層キャパシ
タの９Ｉ造においては素地の誘電性材料の予備成型され
たシート、フィルム又はストリップは電極インキのパタ
ーンでコーティングされ、積み重ねられ、圧縮されそし
て焼成されて一体的（ｎ。

ｎ　ｏ　ｌ　ｉ　ｔ　ｂ　ｉ　ｅ　）多層キャパシタが
得られる。

与えられた誘電性材料について、キャパシタンスは薄さ
の関数であり、即ち、キャパシタンスは誘電性層の厚さ
が減少するにつれて増加する。かくしてキャパシタのキ
ャパシタンスを同時に増加させながらキャパシタの寸法
を減少させることが可能である。理論上は多層キャパシ
タの小ささには殆ど制限は無い。しかしながら、素地テ
ープ（ｇｒｅｅｎ　　ｔａｐｅｓ）の性質及びそれらの
取り扱いに関連した問題により実際上の寸法制限が存在
する。

素地テープの物理的性質はよｌ）薄く、より高いキャパ
シタンスの誘電性層の製造における重要な７アクターと
なる。強度が欠如すると素地テープは引き裂きを受けや
すい。可撓性が欠如すると亀裂が生じやすい、故により
薄い誘電性層を有する多層キャパシタ及び同様なデバイ
スの製造においては、インキスクリーン印刷、積層及び
ダイシング（ｄｉｃｉｎｇ）のプロセス全体にわたって
自立性（ｆｒｅｅ−ｑｔａｎｄｉＢ）であり且つ＋　ｆ
）　物１１　的一体性を保持することが出来るのに十分
に強い薄い素地テープを製造することか必須である。

典型的にはテープは非多孔性支持体上にスリップ（５ｌ
ｉｐ）をテープキャスチング（ｔａｐｅ−ｃａｓｔｉｎ
ｇ）又はナイフコーティングすることにより製造される
。スリップは典型的には、特定の用途に依存してセラミ
ック粉末、結合剤、湿潤剤、溶媒及１可塑性を含有する
。広範な種類の材料が結合剤として使用される１例えば
、トンプソン、ジェイ、ジエイ、＋（ＴＩ＋ｏｍｐｓｏ
ｎ、Ｊ、Ｊ、ｔ）はセラミック　バレチン、４２巻、　
４８０−１頁（１９６３）　　［Ｃｅｒａｍｉｃ　　Ｂ
ｕｌｌｅｔｉｎｗＶｏｌ。

４２、ｐｐ、４８０−１（１９６３）］においてメチル
セルロース、デンプン誘導体、又は好ましくはポリビニ
ルアルコールの如き有機結合剤の使用を開示している。

米国特許ｔｊＳ２，７３６，０８０号は約５ミルの１１
？！−を有する誘電性シートの製造にセルロース又はセ
ルロースバルブを使用することを開示している。米国待
詐第２，７５９，８５４号は３ミル付近又はそれ以下の
厚さを有する支持された素地フィルムの製造において高
粘度エチルセルロース及びエステルガムの使用を開示し
ている。英国特許第１，４９３，１０２号はセラミック
粉末及び重合体フィルム形成体の溶液にフィラメントを
浸漬することによりマイクロチャンネル付き〃ラス体（
ｇｌａｓｓ　ｓ＋１ｃｒｏｃｈａｎｎｅｌｅｄ　ｂｏｄ
ｉｅｓ）の製造方法を開示している。ポリビニルアルコ
ール、ポリスチレン、エチルセルロ−ス ス及びジアルコキシポリチタネートが適当なフィルム形
成体として挙げられている。米国特許ｆｊＳ３。

４９５　、　９９６号はカプセルに包まれた電子デバイ
ス（ｅｎｅａｐｓｕｌａｔｅｄ　ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ
　ｄｅｖｉｃｅｓ）の製造における天然ゴム、合成樹脂
、セルロース０（贈物質等の使用を開示している。米国
特許第３．５３ｔｉ，５０８号は約４ミルの厚さを有す
る可撓性素地シートのｇｊｌＴＬのための固体エチルセ
ルロース樹脂、１−４個の炭素の脂肪族プルコールの７
クリレート又はメタクリレートエステルの固体重合体、
ポリビニルアルコール又はポリビニルブチラールの如き
結合剤の使用を開示している。

米国特許第２，９６６、７１９号はジメチル７タレート
又はトリフレノルホスフェートにより相容性に可塑化さ
れたセルロースアセテートブチレート０を脂又はポリア
クリレートエステルの如き結合剤を使用して１ミルのオ
ーダーの薄い厚さを有する素地セラミックテープのｇＪ
ｌ造を開示している。　しかしながら、該テープの製造
にはテープを可視性支持体上にキャストすることが必要
である。米国特許第３．ｓｒ９．ｚｚｏ号は結合剤とし
てエチルセルロースを使用して約１ミルの厚さを有する
焼成されたセラミックの製造を開示している。しかしな
がら、その製品はガラスプレート上で焼成されそして自
立性である（　５ｅｌｆ−９ｔａｎｄｉＢ）ことは教示
されていない。

米国特許第２，４８６，４１０号はエチルセルロースの
如柊結合剤を使用して平坦なセラミックプレートの初期
の製造方法を開示している。得られルテープは“レザー
のように硬い”（Ｉｅａｔｂｅｒ−ｂａｒｄ）ものであ
ると記載されている。

米国特許第３，１８９，９７８号は各が微細に分割され
たセラミック粒子およびそのための熱揮発性結合剤を含
有して成る複数の乾燥した薄いフィルムを先ず製造する
ことによる多ノー回路の製造方法を開示している。この
特許は約１ミルの厚さを有するフィルムが可撓性であり
そしてそれをキャストするだめの支持体から剥がすこと
ができることを開示している。結合剤はビニルクロライ
ド−アセテート共重合体である。金）ｇ含有インキが上
記フィルムに施される。金属インキはメチルセルロース
、エチルセルロース又はニトロセルロースの如き結合剤
を含有することが教示されている。

この特許は未焼成のセラミックフィルムの厚さは０．５
ミル乃至２０ミルであることが出来ることを広範に教示
している。

米国特許第３，００４，１９７号はセラミック材料とプ
ラスチック重合体を含有して成る自立性（ｓｅｌｆ−ｓ
ｕｓｔａｉｎｉｎｇ）シーＹを形成し、シートの一部を
金属化しく　ｎｅｔａｌｌｉｚｉＢ）、金属化したシー
トを巻いてコイルとしそして焼成することによるセラミ
ックキャパシタを製造する方法を開示している。焼成さ
れ、コイルにされた誘電体は３ミル（約７５ミクロン）
又はそれ以下の厚さを有することが教示されている。セ
ルロース系樹脂はフィルム形成性プラスチック重合体と
して有用であることが広く教示されている。

米国特許ｔｊＳ４，４４７．８５３号は厚さ１０ミクロ
ン乃至３０ミクロンの個々の誘電体層を有する多層キャ
パシタの製造を開示している。この特許において結合剤
に関する唯一の記載は“多層キャパシタの製造方法は先
行技術の方法と同じであるということである。

これまでは、約２５ミクロン（約１ミル）より小さいＩ
Ｆｌ、さを有する可視性の、強くて、薄く、自立性のセ
ラミック素地テープは開示されなかった。

このようなテープは改良された多層キャパシタ及び関連
したデバイスの製造にとって望ましいであろう。

驚くべきことに、本発明はこれらの前記したすべての要
求を満足させる０本発明は （ａ）ｉ！誘電性成分 （ｂ）少なくとも１種のセルロース系樹脂を有する結合
剤、及び （ｅ）溶媒、 を含有するスリップ（ｓｌｉｐ）組成物から製造された
約２５ミクロンより大きくない厚さを有する自立性の可
視性層より成ることを特徴とする素地のセラミック前駆
体テープに関する。

誘電性成分は高温度で加工するとセラミック体（ｃｅｒ
ａｍｉｃ　ｂｏｄｙ）を形成する原料を提供するのに役
立つ、誘電性成分は仕上げられたセラミックに所望され
る物理的、熱的、電気的及び化学的性質を与えるように
選ばれる。例えば、チタネート、特にチタン酸バリウム
は非常に尚い誘電定数を示し、従ってチタネートは高い
キャパシタンスのキャパシタを製造するための素地テー
プにおける好ましい誘電体である。存在する誘電性成分
の量は所望の誘電特性を有する薄いフィルムを生じるの
に十分な量である。

一般に、結合剤は溶媒がスリップから蒸発させられた後
誘電性成分を崩壊しない状態（ｕｎｄｉｓｒｕｐｔｅｄ
　　ｐｏｓｉｔｉｏｎ）に保持しそして溶媒と一緒にな
ってピンホール、クラック及び他の欠陥の無い乾燥した
ｑ視性素地テープの形成を促進するのに役立つ、存在す
る結合剤の量は溶媒の除去により薄いフィルムとなるよ
うに誘電性材料を結合させるのに十分な鼠である。

溶媒はセラｅｒり焼成（ｆｉｒｉｎｇ）条件ドに揮発性
であるスリップのすべての成分をｎ（溶化する機能を有
する。溶媒はスリップの粘度を制御するのにも有用であ
り、それにより薄いフィルムの形成を促進する。存在す
る溶媒の量は誘電性成分を可溶化のに十分な墓である。

驚くべき二とに、本明細書に記載の如きスリップ組成物
の使用は２５ミクロン（約１ミル）より大きくない厚さ
を有する改良された自立性の、可撓性で薄い素地テープ
の製造を許容する。本発明はこのような素地テープを使
用してｇＩ！造されたキャパシタを包含する。

本発明に従えば、誘電性成分、結合剤、溶媒、場合によ
り表面活性剤及び場合により可塑剤を含有して成るスリ
ップが有利に製造される。この人リップを処方し又は配
合する慣用の方法はそれが完全に混合されて均一な＃１
濁液を形成する限り使用することが出来る。調９Ｉされ
たスリップは次いで真空中でスリップを攪拌することに
より空気を除去することが出来る。空気を除去した後ス
リップをろ過して存在する大きなピースのｙｉ誘電性成
分は未溶解結合剤を除去することが出来る。気泡及び大
きな固体粒子の両方共キャストテープ（ｅａｓｔ　　ｔ
ａｐｅ）又は焼成製品の欠陥の原因となり得る。

スリップは例えば米国特許第３，７１７，４８７号に教
示された如き流ドシート法（ｆａｌｌｉｎｇ　５ｂｅｃ
ｔ　ｍｅｔｂｏｄ）又は周知のテープキャスチング（ｔ
ａｐｅ−ｃａｓｔｉＢ）、ドクターブレードもしくはナ
イフコーテング法の如き公知の方法によって非多孔性支
持体上に付着せしめられる。例えば米国特許第３゜１８
９．９７８号、第２，４８６，４１０号及び第２．９６
６，７１９号は素地テープをキャスチングする方法を開
示している。一般に、テープキャスチング法は例えば滑
らかなガラスプレート又はプラスチックストリップの如
き可視性又は非可撓性の非多孔性支持体にスリップの薄
いノーを施すことを含む、スリップで被覆された支持体
はドクターブレードのドを通過させられ、その際ブレー
ドの下のギャップがコーティングの厚さを制御する。

支持体上に広げられた後スリップは乾燥に付されてその
揮発性成分を除去される。乾燥はスリップを室温の空気
にさらすか又はスリップを場合により強制空気循環下の
オープン中で加熱することにより行なわれる。得られる
乾燥したフィルムは支持体から剥がすことができ、それ
により自立性素地テープが得られる。故に上記の方法は
一般にコーティングの薄いノーを可視性又は非ＬＩＴ撓
性の非多孔性支持体に施し、コーティングの厚さを制御
し、コーティング／支持体を乾燥しそしてコーティング
（素地テープ）を支持体から除去することであると述べ
ることができる。

スリップの誘電性成分は誘電性粉末、焼成すると誘電体
に転化する材料、又はそれらの混合物であることが出来
る。、５！電性材料は周知されておりそして広い種類の
ｙ＃電電材材料使用することが出来る。誘電性粉末の例
には主としてアルミナ、ジルコン、ケイ酸アルミニウム
、ケイ酸マグネシウムアルミニウム、窒化アルミニウム
、酸化ベリリウム（ｂｅｒｙｌｌｉａ）、二酸化ジルコ
ニウム、二酸化チタン、ケイ酸マグネシウム、好ましく
はチタン酸バリウムから成る粉末を包含する。典型的に
は、セラミック成分は０．０５乃至５ミクロンの範囲の
微細な粒径に粉砕される。好ましくは、０．５乃至２ミ
クロンの平均粒径を有する誘電性粉末が使用される。好
ましくは誘電性成分は溶媒の重量を除いてスリップ組成
物の７５重量％以上を構成する。

結合剤はセルロース系樹脂の１つ又は組み合わせである
ことが出来る。セルロース系樹脂は天然に存在する重合
体であるセルロースの重合体骨格（ｐｏｌｙｍｅｒｉｃ
　”ｂａｃｋｂｏｎｅ”）から導かれそしてセルロース
の重合体骨格を有する。セルロースは反復するアンヒド
ログルコース単位の構造を有しており、その各単位は３
つのヒドロキシル部位を含有する。ヒドロキシル部位で
の反応は一般にセルロ−ス系樹脂として分類された誘導
体を生じる。例えばヒドロキシル基をエステル化すると
セルロースエーテルを生じる。好ましい結合剤には硝酸
セルロース、セルロースエステル、アルキルセルロース
エーテル、ヒドロキシフルキルセルロースエーテル、ア
ルキルヒドロキンアルキルセルロースエーテル及びジア
ルキレングリコールセルロースエーテルが包含される。

より好ましい結合剤にはアルキルセルロースエーテル及
びヒドロキシアルキルセルロースエーテルが包含される
。最も好ましい結合剤にはエチルセルロース、２−ヒド
ロキシエチルセルロース及び熱ＯＪ″塑性メチルセルロ
ースが包含される。熱り塑性メチルセルロースは米国特
許第３．０７０，４５１号、第２，９６５，５０８号、
第２，９５８，６０７号、第２，８４９，３２８号及び
第２，８３９，４１９号に記載の方法に従って製造され
る。好ましいエチルセルロース結合剤は約４０センチポ
イズより大きい粘度を有する。

厚さが２５ミクロンより小さな素地テープは約４０セン
チポイズより大きな粘度を有するエチルセルロース結合
剤がら製造されるときそれらの構造的一体性（ｓｔｒｕ
ｃｔｕｒａｌ　　ｉｎＬｅｇｒｉＬｙ）を保持するが、
これに対してより低い粘度のエチルセルロース結合剤に
よるこの薄さのテープはクラックを発生する傾向がある
。より好ましいエチルセルロース結合剤は４０乃至１１
０センチポイズの粘度を有し、この粘度は８０重量％ト
ルエン及び２０重液量エタ７−ルである溶媒を用いてウ
ベローデ粘度計（［Ｊ　ｂｂｅｌｏｌ＋ｄｅ　ｖｉｓｃ
ｏｍｅｔｅｒ）で２５°Ｃで測定された５重量％溶液の
粘度である。好ましいエチルセルロース結合剤は４４乃
至５３重量％のエトキシル含有率を有するエチルセルロ
ースである。よす好ましいエチルセルロース結合剤は４
７．４乃至４９．５重量％のエトキシル含有率を有する
エチルセルロースである。最も好ましいエチルセルロー
ス結合剤は４８乃至４９．５重量％のエトキシル含有率
を有するエチルセルロースである。結合剤の混合物を使
用することが出来る。上級標準エトセル■４５　（ｐｒ
ｅｍｉｕｍ　５ｔａｎｄａｒｄ　１：、Ｔ１１０ＣＩミ
１４■４５）及びエトセル■１００　（ＥＴｌｌＯＣＦ
、Ｌ■１００）［エトセル（ＥＴＨＯＣＥＬ）はダウ　
ケミカル社の商標である］ブランドのエチルセルロース
は最も好ましい結合剤である。何故ならばそれらは低い
塩化ナトリウム含有率を有しておりそして上記に特定し
た要件を満足するからである。エトセル■４５及びエト
セル■１００はダウケミカル社から人手ｑｆｒｒＡであ
る。上級標準エトセル■４５は４８．０乃至４９．５重
量％のエトキシル含有率を有しておりそして上記の如く
して測定しで４１乃至４９センチポイズの粘度範囲を有
する。上ａ標準エトセル■１００は４８．０乃至４９．
５重量％のエトキシル含有率を有しておりそして上記の
如くして測定して９０乃至１１０センチポイズの粘度範
囲を有する。使用することが出来る他のエトセル■結合
剤は、４８．０乃至４９．５重量％のエトキシル含有率
を有しておりそして６乃土８センチボイＸの粘度範囲を
有するエトセル■７（１４’ｌ°１１０　Ｃｌ：Ｉ、■
？）、４８．０乃至４９．５重量％のエトキシル含有率
と１８乃至２２センチポイズの粘度範囲を有するニドセ
ル■２０　（Ｅ１’■０ＣＥＬ■２０）、４８゜０乃至
４９．５重量％のエトキシル含有率と１８０乃至２２０
センチポイズの粘度範囲をイ１するエトセル■２００　
（Ｅ’ｌ’ＨＯＣＥＬ■２００）である、粘度について
は前記した。

エチルセルロース結合剤はそれらの強靭性（ｔ。

ｕｇｈｎｅｓｓ）および格段の可撓性の故に選ばれる。

それらは＾度に緻密な（ｄｅｎｓｅ）誘電性粉末のため
の良好な分散保持特性（ｓｕｓｐｅｎｄｉｎｇ　ｐｒｏ
ｐｅｒｔｉｅｓ）を有する。セルロース骨格上の幾つか
のヒドロキシル基の存在はビヒクル中の金属酸化物の相
互作用及び分散を増加させる。更にセルロースエーテル
の０２、ＣＯ２及びＨ，Ｏの透過性はアクリレートより
も高い大きさのオーダーであり、バーンアラ）　（ｂｕ
ｒｎｏｕｔ）又は焼成時のガスの適正な拡散を許容する
。

溶媒はセラミック焼成条件下に揮発性であるスリップの
成分を可溶化する物質又はそれらの組み合わせであるこ
とが出来る。好ましい溶媒にはアルコール類、ケトン類
、芳香族化合物及１ハロゲン化化合物が包含される。よ
り好ましい溶媒にはトルエン、エタノール、ブタノール
、アセトン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケ
トン、インプロパツール、１，１．１−）リクロロエタ
ン及びベンゼンが包含される。メチルエチルケトンとエ
タノールとの混合物の如き溶媒の混合物が最も好ましい
、熱可塑性メチルセルロースが結合剤として使用される
場合には溶媒として水を使用することが出来る。

湿潤剤又は表面活性剤がスリップ組成物において随意に
使用される。表面活性剤は望ましい広がり性（５ｐｒｅ
ａｄａｂｉｌｉｔｙ）を有する均質なスリップの形成を
促進する。表面活性剤は周知されておりそして広範な種
類の表面活性剤を使用することが出来る６典型的な湿潤
剤又は表面活性剤の例としてはフルキルアリールスルホ
ネートのアミン塩、ポリエチレングリコールのアルキル
エーテル、例工ばポリエチレングリコールのエチルエー
テル、アルキルアリールポリエーテルアルコール、例え
ばエチルフェニルグリコール、ポリオキシエチレンアセ
テートまたは他のポリオキシエチレン二ステルが包含さ
れる。表面活性剤又は湿潤剤は好まし−くはそれが焼成
期間中揮発するような性質のものである。

スリップ組成物において可塑剤が随意に使用される。可
塑剤は周知されておりそして広い範囲の可塑剤を使用す
ることが出・米る。典型的なｎ（塑剤の例としては鉱油
、グリコール例えばプロピレングリコール、７タル酸エ
ステル例えばジオクチル７タレート及びベンジルブチル
７タレート、及び長鎖脂肪族酸例えばオレイン酸及びス
テアリン酸及びそれらの混合物が包含される。可塑剤は
スリップのフィルム形成特性を高めそして低温で素地テ
ープに可撓性を付与する作用をする。好ましくは１！１
より多くの可塑剤が使用される。例えば好ましい可塑剤
混合物はベンジルブチル７タレート、プロピレングリコ
ール及びオレイン酸を含有して成る。

典型的なスリップ組成物は重量％で表わして下記の範囲
の成分を有することができる：誘電性成分２５乃至９４
、 結合剤０．６乃至３３、 溶媒４乃至６６、 表面活性剤約Ｏ乃至１１、及び 可塑剤約０乃至２０゜ より好ましいスリップ組成物は重量％で表わして下記の
範囲の成分を有する： 誘電性成分３２乃至７８ 結合剤１乃至２０ 溶媒１６乃至５８ 表面活性剤約Ｏ乃至２及び 可塑剤０．６乃至１１ 好ましいスリップ組成物は比較的少ない鼠の有機結合剤
及び溶媒と共に比較的多い量のセラミック粉末を有する
。しかしながら、素地テープは自立性テープとして機械
的強度を保持するのに成る最少量の有機結合剤を必要と
しそしてスリップは典型的にはテープキャスティングの
ためのレオロジー特性を保持するのに最少量の溶媒を有
する。

この特性にはスリップの粘度及びドクターブレードの剪
断及び応力下のスリップの流動特性が包含される。

望ましくは、本発明のスリップは支持体にスリップを施
すための選ばれた方法に適した粘度を有するように処方
される。例えばテープキャスティングに使用される典型
的なスリップ組成物はブルックフィールド粘度計（ｌ１
ｒｏｏｋｆｉｅｌｄ　ｖｉｓｃｏｍｅｔｅｒ）で測定し
て２５℃で４００乃至３，０００ｃｐｓの粘度を有する
。所望の粘度及び均一性のスリップは当業界で周知され
た方法を使用１してキャストされ又はコーティングされ
て素地テープになる。

本発明の素地テープは公知の方法を使用して多層キャパ
シタ及び同様なデバイスに形成され得る。

例えば本発明の素地テープは例えばスクリーン印刷法（
５ｃｒ６６１３ｔｅｎｅｉｌｉｎｇ）により所望のパタ
ーンで貴金属電極コーティングによりコーティングする
ことが出来る。インキを付けられたテープは次いで積み
重ねられて交互する電極層が積み重ねの反対側の縁に露
出されるようにした交互する誘電性層及び電極層（ａｌ
ｔｅｒｎａｔｅ　　ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ　　ａｎｄｅ
ｌｅｃｔｒｏｄｅ　　１ａｙｅｒｓ）を与えることがで
きる。次いで積み重ねは当業界で知られている如くｊ王
力下に圧縮することができ、次いで焼成して一体的多層
キャパシタを形成することが出来る。露出した電極を有
する緑は伝導性金属塗料で金属化される。

これは必要な焼成温度及び使用される金属ペーストに依
存して積み重ねが焼成される前又はこのような焼成の後
に行うことができる。（一体的多層キャパシタを製造す
る例示的方法については米国特許１４，０７５，６８１
号参照）。

好ましい素地テープは２．５乃至２５ミクロンの厚さを
有しており、より好ましくはそれらは５乃至１８ミクロ
ンの厚さを有し、最も好ましくはそれらは５乃至１０ミ
クロンの厚さを有する。

下記の製造及び実施例によって本発明を説明するが、本
発明をそれに限定することを意図するものではない。す
べての部及び自分率は特記しない限り重量による。換算
を容易にするために１ミルは２５．４ミクロンに等しい
ことに留意されたい。

１　び　　　　１−２ アメリカ合衆国、カリ７オエア州、サンバレー、ソリッ
ドステート　ディエレクトロニック社（Ｓ。

ｌｉｄ　　５ｔａｔｅ　　ＤｉｅｌｅｃＬｒｏｎｉｅｑ
　　Ｃｏｍｐａｎｙ＋Ｓｕｎ　　Ｖｕｌｌｅｙ＋Ｃａｌ
　１ｆｏｒｎｉａ、ＩＩ、Ｓ、）から人手ＩＩｒｆｒｆ
ＡなＺ５ＵＢＬ７０２という名称の市販の′Ｂ！ｉ電性
粉末をトルエン中に分散させることにより粉末懸濁液を
製造した。懸濁液は常に攪拌された。

実施例１及び比較実験１−２については下記の一般的方
法に従って行った。上記した懸濁液の７リフートの重量
を計った。アリコートを３０分間沈降させた０次いで上
澄液をサイフオンで除去して懸濁液を゛ざ化させて、懸
濁液が約１：１重量比の粉末及びトルエンを含有するよ
うにした。　’ｔＫ化した懸濁液をトルエン、インプロ
パツール及び可塑剤の混合物を使用して調製したエチル
セルロース溶液と激しく混合した１、３つの異なる種類
のエチルセルロースが使用された、即ち３つのスリップ
が調！！された。各スリップはドクターブレードを使用
してガラスプレーを上にキャスチングされた。キャスチ
ングした懸濁液を室温で乾燥して０゜３乃至１．２ミル
（７，６乃至３０．５ミクロン）の厚さを有する素地テ
ープを得た。結果を表■に要約する。

表１ 仄駁４　使用した　椿含阻払麿　セラミック　可　塑　
剤Ｃ，Ｅ、Ｉ　　Ｅ−７７ｅｐｓ　　　　５３．３　　
　３．３　　０．６７Ｃ，Ｅ、２　　Ｅ−２０２０ｃｐ
ｓ　　　　３３．３　　　２，１　　０，４２Ｅｘ、Ｉ
　　Ｅ−４５４５ｃｐｓ　　　　４１，８　　　１．９
３　０．０７１　使用したすべての結合剤はグイケミカ
ル社から入手可能な（ＥＴＨＯＣＥＬＳ）である、結合
剤粘度は前記の如くして測定する。

２　ジオクチル７タレート ３　プロピレングリフール ４　　Ｃ，Ｅ、は比較実験に等しい。

溶媒　　　　乾燥テープ 結合剤　トルエンイソプロ　特性 一慣Ｌ　　　　パノール １２．５　６９．２　　１５．６　　　乾１！ｐ（Ｍｕ
ｄＣｒａｃｋｓ） ６．３　５３，１　　１１．９　　　乾板６．３　６０
，６　　　２．３　　　可撓性、自律性フィルム エチルセルロース製品であるニドセル エトセル４５を使用して製造された素地テープはエトセ
ル■７及びエトセル■２０を使用して製造された素地テ
ープよりもｇｊ、？ｅＬ性成分成分造に使用するのによ
り好適である。

犬Ｊ［Ａ」工 下記組成（グフムで表わした）を有するスリップを製造
した： エトセル４５（ＥＴＨＯＣＥＬ４５）　　　　　　　　
６８．０のアミン塩　　　　　　　　　　　　　４．０
エタノール　　　　　　　　　　　　−凹」−合計　　
　　　１５９７．６ スリップの製造においては、３／８インチ（０゜９５ｃ
ｍ）ジルフニアボール（ｚｉｒｃｏｎｉａ　ｂａｌｌｓ
）をイ史用してメチルエチルケトン の混合物中で６時間ボールミル粉砕した。別にエトセル
■４５をメチルエチルケトンとイソプロパツールとの混
合物中にベンジルブチル７タレート及びブタントリオー
ルと共に溶解した。エトセル■４５溶液を次いでミルの
ジャー（ｍｉｌｌ　　ｊａｒ）に注ぎそして全スリップ
を更に２０時間粉砕した。

ツブの粘度は８００ｃｐｓであった。それをドクターブ
レードを使用してプラスプレート上にキャスチングした
．キャスチングしたスリップをして０．３ミル（７．６
ミクロン）の厚さを有する素地テープを得た。テープは
〃ラスプレーら容易に剥がれそして良好な機械的強度及
び性を有することが観察された。

５Ｕ５０２Ｌ［ニューヨーク州ナイア〃ラール市、タム
セラミック社（ＴａｌＩＣｅｒａｍｉｃｓｔＮｉａｇａ
ｒａ　　Ｆａｌｌｓｓ　　Ｎｅｗ　　Ｙｏｒｋ）から人
手可能な商業的誘電性粉末Ｊ８００．Ｏｇ又はＸ７Ｐ１
８２Ｈにューヨーク州、ナイア〃ラ　７オール市、タム
セラミック社から人手１１Ｊ能な商業的誘電性粉末）８
００．０ｇを使用して上記の方法を繰り返すと、上記Ｚ
５ＬＪＢＬ７０２について得られた結果に匹敵する結果
が得られた。

及１」Ｌ 実施例２のスリップをドクターブレードを使用してポリ
プロピレンチーブ上にキヤステングした。

キャスナングしたスリップを乾燥して０．９ミル（２２
，９ミクロン）の厚さを有する乾燥した素地テープを得
た。乾燥した素地テープは支持体テープから連続的に剥
がした。２インチ×４インチ（５×１０ｃｍ）の長方形
シートを素地テープから打ち抜きモしてバフシウム含有
電極インキでスクリーン印刷した。電極を有する約２０
ノーのシートを積み重ねそしていずれの側にも１０枚の
ブランクシートでバックアップして得られるラミネート
の一体性を増加させた。ラミネートは７０℃及び２゜５
００ｐｓｉｇでホットプレスに付した。ラミネートから
切り出した（　ｃｌｉｃｅｄ　ｏｕｔ　ｏｒ）素地チッ
プを重合体パーンアウト及び焼結に付した０層剥離のな
い良好なセラミックチップが得られた。チップの誘電特
性はエレクトロ二ツクィンダストリーズアソシエーシＢ
ン（Ｅｌｅｅｔｒｎｉｅ　ＩｎｄｕｓＬｒｉｅ！ＪＡｓ
ｓｏｃｉａＬｉｏｎ）により決められた如さＺ５Ｕの規
格の範囲内であった。

Ｘ１男」− 下記の組成（ダラムで表した）を有するスリップを製造
した： エトセル■　（ＥＴＨＯＣＥＬ■）１００　　　　　６
３．０スルホネートのアミン塩　　　　　　　４．０１
．１．１−トリクロロエタン　　　　　　す１４工ｐ−
合計　　　　１７９３．０ スリップの製造においては、３／８インチ（０，９５ａ
ｍ）ジルコニアボール（ｚｉｒｃｏｎｉａ　ｂａｌｌｓ
）を使用して１．１．１−　）リクロロエタン、表面活
性剤及び鉱油の混合物中で３時間ボールミル粉砕した。

別にエトセル■１００をペンシルブチル７タレート及び
オレイン酸と１．１．１−）リクロロエタンの混合物中
に溶解した。エトセル■１００溶液をミルのツヤ−に注
ぎそして全スリップを更に６時間粉砕した。スリップを
ドクターブレードを使用してガラスプレート上にキャス
チングした。キャスチングしたスリップを室温で乾燥し
て０．２０ミル（５ミクロン）乃至３．０ミル（７５ミ
クロン）の厚さを有する素地テープを得た。テープはガ
ラスプレートから容易に剥がれそして良好な機械的強度
及びｔげ撓性を有することが観察された。

犬］ＬｆＬＬ エトセル■１００の代わりにニドセル■２００を使用し
たことを除いて実施例４のスリップと同じ方法で、同じ
組成を有するスリップを製造した。

ドクターブレードを使用してスリップをガラスプレート
上にキャスチングしそして室温で乾燥してノγさが２５
ミクロンより小さい素地テープを得た。

このテープは自立性でありそして可撓性であった。

驚くべきことに、特定のエチルセルロース結合剤の使用
は顕著な物理的性質を有する非常に薄い素地テープをも
たらすが、これに対して本明細書で特定された範囲外の
エチルセルロース結合剤の使用は所望の物理的性質を有
する素地テープを与えないことが前記実施例及び比較実
験から分かる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）誘電性成分、 （ｂ）少なくとも１種のセルロース系樹脂を有する結合
   剤、及び （ｃ）溶媒、 を含有するスリップ組成物から製造された約２５ミクロ
   ンより大きくない厚さを有する自立性の可撓性層より成
   ることを特徴とする素地のセラミック前駆体テープ。 ２、誘電性成分がチタン酸バリウムである特許請求の範
   囲第１項記載のテープ。 ３、結合剤がアルキルセルロースエーテル又はヒドロキ
   シアルキルセルロースエーテルである特許請求の範囲第
   １項記載のテープ。 ４、アルキルセルロースエーテルがエチルセルロースで
   ある特許請求の範囲第３項記載のテープ。 ５、エチルセルロースが４４乃至５３重量％のエトキシ
   ル含有率を有し、粘度が約４０センチポイズより大きい
   特許請求の範囲第４項記載のテープ。 ６、エトキシル含有率が４８．０乃至４９．５重量％で
   あり、粘度が４０乃至６０センチポイズである特許請求
   の範囲第２項又は５項記載のテープ。 ７、エトキシル含有率が４８．０乃至４９．５重量％で
   あり、粘度が９０乃至１１０センチポイズである特許請
   求の範囲第２項又は５項記載のテープ。 ８、５乃至１８ミクロンの厚さを有する特許請求の範囲
   第１項記載のテープ。 ９、スリップは表面活性剤も含有する特許請求の範囲第
   １項記載のテープ。 １０、スリップは可塑性も含有する特許請求の範囲第１
   項記載のテープ。 １１、結合剤が熱可塑性メチルセルロースであり、溶媒
   が水である特許請求の範囲第１項記載のテープ。 １２、特許請求の範囲第１−１１項の何れかに記載の素
   地テープを使用して製造されたキャパシタ。 １３、可撓性又は非可撓性の非多孔性基材にコーティン
   グの薄い層を施し、コーティングの厚さを制御し、コー
   ティング／支持体を乾燥しそして支持体からコーティン
   グ（素地テープ）を除去することを含む特許請求の範囲
   第１−１１項の何れかに記載の素地セラミック前駆体テ
   ープを製造する方法。