JPS6236074U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6236074U JPS6236074U JP12324585U JP12324585U JPS6236074U JP S6236074 U JPS6236074 U JP S6236074U JP 12324585 U JP12324585 U JP 12324585U JP 12324585 U JP12324585 U JP 12324585U JP S6236074 U JPS6236074 U JP S6236074U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- slider
- magnetic material
- attached
- drive shaft
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るスライダー駆動装置の
一実施例を示す構成図、第２図は従来のスライダ
ー駆動手段を示す構成図である。 １……成長炉、２……スライダー、３……押棒
、１０……磁性材、１１……収納容器、１２……
スクリユー式駆動軸、１４ｂ……磁石、１７……
スクリユー式駆動装置。
一実施例を示す構成図、第２図は従来のスライダ
ー駆動手段を示す構成図である。 １……成長炉、２……スライダー、３……押棒
、１０……磁性材、１１……収納容器、１２……
スクリユー式駆動軸、１４ｂ……磁石、１７……
スクリユー式駆動装置。
Claims (1)
- その先端がスライドボート液相エピタキシヤル
成長炉内のスライダーに係止している押棒の炉外
端部に磁性材を取り付けるとともに、この磁性材
に磁石を介してスクリユー式駆動軸を連結し、こ
れらを覆うように炉の端部に気密に収納容器を取
り付けるとともに、この容器の他端に上記駆動軸
の駆動装置を気密に取り付けたことを特徴とする
スライダー駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12324585U JPS6236074U (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12324585U JPS6236074U (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236074U true JPS6236074U (ja) | 1987-03-03 |
Family
ID=31014171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12324585U Pending JPS6236074U (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236074U (ja) |
-
1985
- 1985-08-10 JP JP12324585U patent/JPS6236074U/ja active Pending
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