JPS6236514A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

Info

Publication number
JPS6236514A
JPS6236514A JP17629685A JP17629685A JPS6236514A JP S6236514 A JPS6236514 A JP S6236514A JP 17629685 A JP17629685 A JP 17629685A JP 17629685 A JP17629685 A JP 17629685A JP S6236514 A JPS6236514 A JP S6236514A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
probe
measured
dimensional
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP17629685A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH045328B2 (ja
Inventor
Teruaki Yogo
照明 與語
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chuo Denki Seisakusho KK
Original Assignee
Chuo Denki Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chuo Denki Seisakusho KK filed Critical Chuo Denki Seisakusho KK
Priority to JP17629685A priority Critical patent/JPS6236514A/ja
Publication of JPS6236514A publication Critical patent/JPS6236514A/ja
Publication of JPH045328B2 publication Critical patent/JPH045328B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 免に1致 [産業上の利用分野〕 本発明は測定装置に関し、詳しくは三次元形状に曲げ加
工されたパイプまたは丸棒の三次元形状を測定する測定
装置に関するものである。
[従来の技術] パイプや丸棒等を三次元形状に曲げ加工する三次元加工
が行なわれるに従い、その三次元形状を測定する必要が
生じたが、パイプや丸棒のように稜線を有しない部材の
三次元形状を通常の三次元測定装置で1度よく測定する
ことは難しく、パイプや丸棒の加工形状や径に応じて専
用の測定治具を作り、冶具を用いて測定を行なうといっ
た構成がとられていた。
これに対し、パイプや丸棒の三次元加工は一般に直線状
のパイプ等を所定の箇所で曲折して行なわれることに着
目し、被測定物の直線部分を測定してそのベクトルを求
める測定装置が提案されている。この種の測定装置とし
ては、特定形状のプローブを用いて直線部分のベクトル
を求めるもの、例えば特開昭50−147351号公報
の1測定装置」等が知られており、二次元形状に曲げ加
工されたパイプ等が設計値通りに曲げ加工されているか
否かを測定・検査するのに用いられていた。
[発明が解決しようとする問題点1 ところが従来のこうり、た装置では、方向軸線を有する
プローブを用いているため、以下の如き問題があった。
(1)ブ・ローブの形状が比較的大きなものでは、曲げ
加工後の直線部分が短い場合には測定できず、一方、プ
ローブの形状を小さくすると測定誤差が大きくなってし
まうといった問題があった。
(2)?!!!測定物の径によりプローブの大きさを交
換しなければならない場合があり、作業効率が低下する
ことがあった。
そこで本発明は上記の問題点を解決することを目的とし
、曲げ加工後の測定を好適に行なうことができる測定装
置を提供することを目的としてなされた。
発」LQ」L或− し問題点を解決するための手段] かかる目的を達成すべく、本発明は問題点を解決するた
めの手段として次の構成をとった。即ち、第1図に示す
ように、 互いに交差する円柱状の第1接触子M1と第2接触子M
2とを備えたプローブM3と、該プローブM3の上記接
触子M1.M2が、所定の外径を有する被測定物Wと接
触したことを各々検出する接触検出手段M4と、 上記プローブM3を第1接触子M1の軸方向の回りに回
動自在に枢支する枢支手段M5と、上記枢支手段M5に
より枢支された上記プローブM3の回動軸の方向を保存
して、上記プローブM3と上記枢支手段M5とを一体に
三次元的に移動させる三次元移動手段M6と、 該三次元移動手段M6の移動に応答して、上記ブO−ブ
〜13の位置を三次元座標で検出する三次元位置検出手
段M7と、 上記接触検出手段M4によって上記第1接触子M1の被
測定物Wへの接触が検出された時、上記三次元位置検出
手段M7によって検出された上記プローブの三次元位置
から第1接触子M1の二次元位置を検出する第1座標検
出手段M8と、上記接触検出手段M4によって上記第2
接触子M2の被測定物Wへの接触が検出された時、上記
三次元位置検出手段M7によって検出された上記プロー
ブM3の三次元位置から第2接触子M2の三次元位置を
検出する第2座標検出手段M9と、上記接触検出手段M
4によって上記第2接触子M2の被測定vAWへの接触
が検出された時、上記枢支手段M5によって枢支された
上記プローブM3の回動角度を検出する角度検出手段M
10と、被測定物Wの2以上の点において上記第1座標
検出手段M8により検出された第1接触子M1の二次元
位置と、被測定物Wの2以上の点において上記第2座標
検出手段M9により検出された第2接触子M2の三次元
位置と、上記第2座標検出手段M9の検出と同時に上記
角度検出手段M10により検出された上記ブO−ブM3
の回動角度と、予め設定された被測定SWの径とから被
測定物Wの中心線の三次元座標を演算する演算手段M1
1と、 を儀えた測定装置の構成がそれである。
ここで、プローブM3に備えられた第1接触子M1と第
2接触子M2とはその軸方向が互いに交差していればよ
く、実際に交わっている必要はない。第1接触子M1を
鉛直方向に、第2接触子M2を水平方向に、各々配設し
、座標に関する演算を簡略化することもできるが、両接
触子M1.M2の配設方向はこれに限定されるものでは
ない。
接触検出手段M4は、被測定物Wと上記第1゜第2接触
子Ml、M2との接触を検出するものであり、被測定物
が導電性材料であれば、各接触子M1.M2を介して通
電がなされることを利用して両者の接触を検出するよう
構成することができる。また、レーザ等を用いた光学的
な手法により、非接触かつ高精度に検出するよう構成す
ることもできる。
三次元移動手段M6.三次元位置検出手段M7はいずれ
もプローブM3を三次元的に移動させかつ三次元的に位
置を検出するものであり、ここでいう三次元とは直交座
標系、円筒座標系等を問わず、種々の座標系における三
次元を考えることができる。
演算手段M11は、通常コンピュータを用いた論理演算
回路として実現されるが、第1座標検出手段M8や第2
座標検出手段M9と一体に形成することも同等差支えな
い。
[作用] 上記構成を有する本発明の測定装置は、互いに交差する
円柱状の第1接触子と第2接触子とを備えたプローブを
回動自在に枢支すると共に、三次元的に移動させる三次
元移動手段を備え、該移動を三次元座標で検出し、さら
に上記プローブの回動角度をも検出して、予め設定され
た被測定物の径と、上記第1接触子で検出した2以上の
三次元座標値と、上記第2接触子で検出した2以上の三
次元座標値と、上記角度検出手段で検出した2以上の回
動角度と、から被測定物の三次元座標における中心線を
求めるように働く。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
第2図は本発明の一実施例である測定装置の構成を示す
概略構成図である。この測定装置には、第1接触子1と
第2接触子2とを備えたプローブ3、該ブ0−13を上
記第1接触子1の軸方向の回りに回動自在に枢支する枢
支装置4、該枢支装置4を支持し三次元的に移動させる
三次元移動装置5が設けらている。また、上記プローブ
3の位置を三次元座標で検出する三次元位置検出手段、
上記接触子1.2と被測定物Wとの接触を検出する接触
検出手段、上記プローブ3の回動角度を検出する角度検
出手段の各々に相当するエンコーダ等も配設されている
が、これらについては後で詳細に説明する。尚、この測
定装置は図示しないス” タンド等で固定された被測定
物Wと共に定盤6等に配設される。
三次元移動装置5によって自在に三次元位置をとるプロ
ーブ3の第1接触子1は略鉛直方向に設けられており、
第2接触子2は第1接触子1に正確に直交するよう設け
られている。プローブ3は枢支装置4によって第1接触
子1の軸方向(ここでは鉛直方向)のまわりに回動自在
に枢支されており、その三次元の移動は、三次元移動装
置5によって円筒座標に対応したものとなっている。
三次元座標値W5は、プローブ3を枢支する枢支装置4
を2本の垂直ガイドバー7a、7bの一端に固定し、該
垂直ガイドバー7a、7bを垂直   ′ホルダ8で該
垂直ガイドバー7a、7bの軸方向(矢印Z方向)に移
動可能に支持している。ざらに上記垂直ホルダ8は2本
の水平ガイドバー9a。
9bの一端に固定され、該水平ガイドバー9a。
9bは水平ホルダ10で該水平ガイドバー9a。
9bの軸方向(矢印R方向)に移動可能に支持されてい
る。また上記水平ホルダ10は支持体11に回動自在(
矢印θ方向)に軸支されている。従りて、方向Z、R,
θの円筒座標に対応してなされるプローブ3の三次元の
移動によっても、枢支装置4に枢支されたプローブ3の
回動軸の方向は常に保存されることになる。
上記支持体11には上記プローブ3の三次元原位置補正
用プレート12と角度原位置補正用プレート13とが設
けられている。上記三次元原位置補正用プレート12に
は、凹部が設けられ、該凹部に第1接触子1を挿入する
ことにより三次元原位置の補正が行なわれる。また角度
原位置補正用プレート13にも同様に凹部が設けられ、
該凹部に第2接触子2を嵌合させることにより角度原位
置の補正が行なわれる。
プローブ3の三次元位置及び回動角度の検出は、こうし
て補正された三次元原位置及び角度原位置を基準として
行なわれることになる。上述した垂直ガイドバー7a、
7bの移動量、即ちZ方向の移動量は、垂直ホルダ8内
に設けられ垂直ガイドバー78に当接されたローラ(図
示せず)に連動する2軸エンコーダ14によって検出さ
れる。一方、水平ガイドバー9a、9bの移動量、即ち
R方向の移動量は、同様の構成により、水平ホルダ10
内に設けられたR軸エンコーダ15により検出される。
更に、水平ホルダ10の回動角度、即らθ方向の回動角
度は、支持体11の回転軸と同軸に設けられて回転する
大歯車16と噛合した小歯車17の回動を、この小歯車
17と同軸に設けられたθ軸エンコーダ18によって検
出することにより求められる。
以上、2方向、R方向、θ方向の位置を検出するエンコ
ーダ14,15.18について説明したが、本実施例で
はこれらのエンコーダ14.15゜18が三次元位置検
出手段として動く。
一方、枢支装置4内にはブO−ブ3の回動角度を検出す
る為に角度検出手段として動くφ軸エンコーダ19が設
けられている。
次に本実施例の電気系統を第3図に示すブロック図を用
いて説明する。上記の各エンコーダ等の検出信号は、電
子制御回路100に取り込まれ、被測定物Wの座標の計
算に用いられる。制御手段として動く電子制御回路10
0は、第3図に示すように、周知(7)CPU101.
ROM102.RAM103./<ッ’)77ブRAM
104を主要部とする論理演算回路として構成され、測
定に必要な諸元の入力もしくは表示用のターミナル10
6等との入出力を行なうターミナル入出力回路1゜5、
上記エンコーダ14.15.18からのパルス信号を入
力するパルス入力回路107あるいは後述するレベル入
力回路108等とはコモンバス109によって相互に接
続されてデータを遺り取りし、上記被測定物Wの中心線
の座標値を計算するよう構成されている。
ターミナル入出力回路105は、ターミナル106に設
けられたキーボード106aがら、被測定物Wの径等の
データを入力すると共に、ブラウン管等の表示装置10
6bに計算した座標値等の表示を行なう。また上記パル
ス入力回路107はエンコーダ14,15.18.19
からのパルス信号を入力し、各エンコーダ14,15.
18゜19毎にそのパルス信号をカウントするカウンタ
を備えている。従って、CPU101はパルス入力回路
107内のカウンタの値を随時読み取ることにより、プ
ローブ3の三次元位置を知ることができる。
レベル入力回路108は、第1接触子1.第2接触子2
の各々に接続されており、その接続ラインは抵抗@R1
,Rzを介して′FIhs電圧にプルアップされている
。これに対し、被測定物Wは図示しないスタンドを介し
て電気的に接地されているので、接触子1.2のいずれ
かが被測定物Wに接触すると、接続ラインの電位はロウ
レベルに変化する。従って、CPU101はレベル入力
回路108を介して接触子1,2の電位のレベルを監視
することにより、接触子1.2と被測定物Wとの接触を
知ることができ、この構成が接触検出手段として動く。
次に上述した制御回路100において行なわれる処理に
ついて第4図のフローチャートに拠って説明し、併せて
本実施例における測定装置の操作について説明する。
測定装置は電源が投入され、ターミナル106のキーボ
ード106aの操作による被測定物Wの径の設定と上記
原位置補正とが行なわれ、操作が開始されると、第4図
に示す測定制御ルーチンを他の制御ルーチン、例えば測
定結果をターミナルのブラウン管106bに表示する処
理を行なうルーチン等と共に実行する。まず、ステップ
200では、ステップ210以下の処理でカウンタとし
て用いる変数nの値を初期値1にセットする処理が行な
われる。次にステップ210では、第1接触子1が被測
定物Wに接触したか否かの判断が行なわれる。該接触は
、第5図の操作説明図に示す如く、操作者が三次元移動
装置5を動かして、プローブ3の第1接触子1を被測定
物Wの外周に接触させることにより行なわれる。具体的
には、レベル入力回路108を介して第1接触子1の電
位のレベルを読み込み、これがロウレベルとなるまでス
テップ210の判断を繰り返すのである。
第1接触子1の電位のレベルがロウとなり、上記接触が
行なわれたと判断されると、処理はステップ220へ進
み、その時点でのプローブ3の二次元座標X1 (1)
、Yl (1)の読み込みが行なわれる。即ち、パルス
入力回路107内のカウンタの値を読み取ることにより
、2軸エンコーダ14、R軸エンコーダ15.0輪エン
コーダ18が原位置より移動する間に出力したパルスの
数(エンコーダが逆転した時には減算されている)を読
み込んで、これから求められるX、Y座標X1 (1)
、Yl (1)を取り込むのである。続くステップ23
0では第1回目の座標の入力は終了したとして、変数n
の値を1だけインクリメントする処理が行なわれる。続
くステップ240では、変数nが2以上か否かの判断が
行なわれる。変数nが2未満の時は、今一度、第1接触
子1の座標  ゛の読み込みを行なうとして、ステップ
210へ進み、上述したステップ210ないし240の
処理が繰り返される。
この時、第5図に実線で示した位置にあったプローブ3
は、被測定物Wとの接触を一旦解かれ、被測定物Wの同
一直線部分に属する今ひとつの位置、ここでは二点鎖線
で示す位置まで移動されて、改めてその第1接触子1が
被測定物Wに接触される。従って、ステップ220では
、今度は二点鎖線で示した位置でのプローブ3の座標が
Xl (2)、Yl (2)として読み込まれることに
なる。
こうして2回の測定が終了するとステップ240での判
断はrNOJとなって処理はステップ250へ進み、二
次元の座標計算が行なわれる。即ち、ステップ250で
は、ステップ220で読み込マレタ座標X1 (1)、
Yl (1)、Xl (2)、Yl (2>及び予めタ
ーミナル106より入力しておかれた被測定物Wの径り
とから第1接触子1と垂直なX−Y平面上の被測定物W
の中心線の計算が行なわれる。さらに上記X−Y平面に
垂直で上記被測定物Wの中心線を含むα平面も求められ
る。
次に処理はステップ260へ進み、ステップ260では
ステップ270以下の処理でカウンタとして用いる変数
nの値を初期値1にセットする処理が行なわれる。ステ
ップ270では上述した第1接触子1の場合(ステップ
210)と同様に、第2接触子2が被測定物Wに接触し
たか否かの判断が行なわれる。該接触は、第6図の操作
説明図に示す如く、第2接触子2を被測定物Wの外周に
接触させることにより行なわれる。第2接触子2が被測
定物Wに接触したことが検出されると処理はステップ2
80へ進む。ステップ280では、第1接触子1の場合
(ステップ220)と同様に、第2接触子2が被測定物
Wに接触した時のプローブ3の座11X2 (1>、 
Y2 (1)、 Z2 (1)の読み込みと角度ψ2(
1)の読み込みとが行なわれる。続くステップ290で
は測定回数を示す変数nの値を1だけインクリメントし
、これに続くステップ300では、変数nが2以上か否
かの判断が行なわれる。変数nが2未満の時は、今1回
測定を行なうとして、処理はステップ270へ戻って、
上述したステップ270ないし300の処理を繰り返す
この時、第6図に実線で示した位置にあったブー〇−1
3は、被測定物Wとの接触を一旦解かれ、被測定物Wの
同一直線部分に属する今ひとつの位置、ここでは二点鎖
線で示す位置まで移動されて、改めてその第2接触子2
が被測定物Wに接触される。従って、ステップ280で
は今度は二点鎖線で示した位置でのプローブ3の三次元
座標及び回転角11X2 (2>、Y2 (2>、Z2
 (2>。
ψ2(2)として読み込まれることになる。
こうして2回の測定が終了するとステップ300での判
断はrNOJとなって処理はステップ310へ進む。ス
テップ310では、ステップ280で読み込まれた座t
lX2 (1)、Y2 (1)。
Z2(1)、ψ2 (1) 、!:X2 (2)、 Y
2 (2)、Z2(2)、ψ2(2)と予め設定された
被測定物Wの径りとから被測定物Wの中心線を求める座
標計算が行なわれる。即ち、ステップ250で求めたα
平面を用い、まず測定の行なわれた2つの位置における
α平面上での第2接触子2の中心の座標を、ステップ2
80で求めたX2(n)。
Y2 (n )、 Z2 (n )、ψ2 (n ) 
 (n−1゜2)を用いて求め、α平面上における第2
接触子2の外周を確定する。続いて、2つの位置で確定
した第2接触子2の外周から被測定物Wのα平面上での
外周を確定し、被測定物Wの径りからその中心線を求め
る。そして、これを通常のXYZ座標に変換し、被測定
物Wの中心線の座標とすうのである。
以上の処理の後、本測定ルーチンをENDへ搗けて終了
する。
上述した測定を、被測定物Wの直線部分ごとに行なうこ
とにより、直線部分ごとの中心線を求めることができる
。従って、この中心線相互の交点を計算して求めれば、
交点の位置や交点間の距離等を、被測定物Wの曲げ加工
の設計値と比較することが容易にでき、曲げ加工が適正
に行なわれたか否かを容易に判断プ゛ることができる。
また本実施例では三次元位置の検出手段に加えて互いに
交差する2つの接触子を備えたプローブ3と、この接触
子の一方の軸のまわりにプローブ3を回動する枢支装置
4を備えているだけの構造なので、被測定物Wの径等が
異なってもプローブ3を変更する必要はほとんどなく、
しかもプローブ3の形状がシンプルで信頼性・耐久性が
高く、加えて被測定物Wの直線部分が長ければ大きく隔
った2つの位置で測定することにより高い測定精度を実
現することができる。
更に通常の三次元測定装置に対して一軸追加しているだ
けなので、既存の三次元測定装置にプローブ3を一体に
取付けた枢支装置4を加えるだけで、容易にパイプや丸
棒等の三次元形状を測定する測定装置に改造することが
できるといった利点も有する。
以上本発明の一実施例について説明したが、本発明はこ
の実tIM例に同等限定されるものではなく、例えば被
測定物Wの直線部分の測定回数を3回以上として測定精
度を上げる構成としてもよく、本発明の要旨を変更しな
い範囲において、種々なる構成にて実施しえることは勿
論である。
以上詳述したように、本発明の測定装置は、三次元形状
に曲げ加工された被測定物の中心線を高精度かつ容易に
求めることができるという優れた効果を奏する。この結
果、被測定物の直線部分における各々の中心線から、そ
の中心線相互の交点を求めることにより、曲げ加工が適
正に行なわれたか否かを容易に判断することができる。
また、本発明の測定装置における接触子の外径は測定に
支障がない程度に小さくすることができ、被測定物の直
線部分が短くとも測定することができるという効果も奏
する。
さらに、本発明の測定装置においては、被測定物Wの径
により接触子を交換する必要がなく測定のための段取り
が容易である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の基本的構成図、第2図は本発明の一実
施例としての測定装置の構成を示す概略構成図、第3図
は実施例の電気系統の構成を示すブロック図、第4図は
実施例の制御回路において行なわれる測定ルーチンの一
例を示すフローチャート、第5図は実施例の第1接触子
の接触方法を示す操作説明図、第6図は実施例の第2接
触子の接触方法を示す操作説明図、である。 W・・・被測定物 1・・・第1接触子   2・・・第2接触子3・・・
プローブ    4・・・枢支装置5・・・三次元移動
装置

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 互いに交差する円柱状の第1接触子と第2接触子とを備
    えたプローブと、 該プローブの上記接触子が、所定の外径を有する被測定
    物と接触したことを各々検出する接触検出手段と、 上記プローブを第1接触子の軸方向の回りに回動自在に
    枢支する枢支手段と、 上記枢支手段により枢支された上記プローブの回動軸の
    方向を保存して、上記プローブと上記枢支手段とを一体
    に三次元的に移動させる三次元移動手段と、 該三次元移動手段の移動に応答して、上記プローブの位
    置を三次元座標で検出する三次元位置検出手段と、 上記接触検出手段によって上記第1接触子の被測定物へ
    の接触が検出された時、上記三次元位置検出手段によっ
    て検出された上記プローブの三次元位置から第1接触子
    の二次元位置を検出する第1座標検出手段と、 上記接触検出手段によって上記第2接触子の被測定物へ
    の接触が検出された時、上記三次元位置検出手段によっ
    て検出された上記プローブの三次元位置から第2接触子
    の三次元位置を検出する第2座標検出手段と、 上記接触検出手段によって上記第2接触子の被測定物へ
    の接触が検出された時、上記枢支手段によって枢支され
    た上記プローブの回動角度を検出する角度検出手段と、 被測定物の2以上の点において上記第1座標検出手段に
    より検出された第1接触子の二次元位置と、被測定物の
    2以上の点において上記第2座標検出手段により検出さ
    れた第2接触子の三次元位置と、上記第2座標検出手段
    の検出と同時に上記角度検出手段により検出された上記
    プローブの回動角度と、予め設定された被測定物の径と
    から被測定物の中心線の三次元座標を演算する演算手段
    を備えた測定装置。
JP17629685A 1985-08-10 1985-08-10 測定装置 Granted JPS6236514A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17629685A JPS6236514A (ja) 1985-08-10 1985-08-10 測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17629685A JPS6236514A (ja) 1985-08-10 1985-08-10 測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6236514A true JPS6236514A (ja) 1987-02-17
JPH045328B2 JPH045328B2 (ja) 1992-01-31

Family

ID=16011103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17629685A Granted JPS6236514A (ja) 1985-08-10 1985-08-10 測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6236514A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05133727A (ja) * 1991-09-17 1993-05-28 Opton Co Ltd 長尺状材料用3次元形状測定装置
US5289261A (en) * 1991-09-17 1994-02-22 Opton, Co., Ltd. Device for measuring a three-dimensional shape of an elongate member
JP2005156310A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 Univ Nihon 接触型変位量測定装置及び測定方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05133727A (ja) * 1991-09-17 1993-05-28 Opton Co Ltd 長尺状材料用3次元形状測定装置
US5289261A (en) * 1991-09-17 1994-02-22 Opton, Co., Ltd. Device for measuring a three-dimensional shape of an elongate member
JP2005156310A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 Univ Nihon 接触型変位量測定装置及び測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH045328B2 (ja) 1992-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4504818B2 (ja) 加工物検査方法
JP2527996B2 (ja) 加工物検査方法および装置
US4866643A (en) Method for automatic compensation of probe offset in a coordinate measuring machine
US7079969B2 (en) Dynamic artefact comparison
US4703443A (en) Device for measuring the shape of a three-dimensional object
US20030167103A1 (en) Robot machining tool position and orientation calibration
JPH02124417A (ja) 位置誤差を決定し修正する方法及び装置
US6453730B2 (en) Surface texture measuring instrument, surface texture measuring method and stylus radius measuring instrument
JP5201871B2 (ja) 形状測定方法及び装置
CN100529650C (zh) 利用测量探针在机床上测量工件的方法和装置
CN108332642B (zh) 一种直角头精度检测方法
JP3880030B2 (ja) V溝形状測定方法及び装置
JPS6236514A (ja) 測定装置
JP3025413B2 (ja) 輪郭形状測定方法及びその装置
JP2987607B2 (ja) 三次元座標測定機
CN114061502B (zh) 形状测量设备的控制方法和存储介质
JP5332010B2 (ja) 形状測定装置、形状測定方法及び形状測定プログラム
CN116330043A (zh) 一种基于定经度矢量测量的曲面边缘误差测量方法及系统
CN114877840B (zh) 一种电触发式软测头标定装置及标定方法
JP2572936B2 (ja) 形状測定機
JPH04252911A (ja) 三次元測定機
JPH11142140A (ja) 粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置
JPH06137854A (ja) 三次元形状の検査方法
JPS60205205A (ja) 三次元形状測定装置
JPH0463664A (ja) タツチプローブによる任意方向の計測方法