JPS6237942U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237942U JPS6237942U JP12902885U JP12902885U JPS6237942U JP S6237942 U JPS6237942 U JP S6237942U JP 12902885 U JP12902885 U JP 12902885U JP 12902885 U JP12902885 U JP 12902885U JP S6237942 U JPS6237942 U JP S6237942U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epitaxial layer
- semiconductor substrate
- conductivity type
- same conductivity
- diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す横成概略図
、第２図は集積回路１内に組み込まれるツエナー
ダイオードの構成を示す縦断面図、第３図は第２
図に示すツエナーダイオードのツエナー電圧と時
間との関係を示す図、第４図は第２図に示すツエ
ナーダイオードのツエナー電圧と温度との関係を
示す図である。 １…集積回路、１０…半導体基板、１１…埋め
込み拡散層、１２…エピタキシヤル層、１２ａ…
島状領域、１３…分離拡散領域、１４，１５…貫
通拡散領域、１６…不純物拡散領域、１７…Ｐ―
Ｎ接合部。
、第２図は集積回路１内に組み込まれるツエナー
ダイオードの構成を示す縦断面図、第３図は第２
図に示すツエナーダイオードのツエナー電圧と時
間との関係を示す図、第４図は第２図に示すツエ
ナーダイオードのツエナー電圧と温度との関係を
示す図である。 １…集積回路、１０…半導体基板、１１…埋め
込み拡散層、１２…エピタキシヤル層、１２ａ…
島状領域、１３…分離拡散領域、１４，１５…貫
通拡散領域、１６…不純物拡散領域、１７…Ｐ―
Ｎ接合部。
Claims (1)
- 一方の導電型からなる半導体基板と、この半導
体基板の表面に成長され、かつ前記半導体基板と
逆の導電型のエピタキシヤル層と、前記半導体基
板とエピタキシヤル層との間に埋め込まれ、かつ
当該エピタキシヤル層と同一導電型でしかも高濃
度な埋め込み拡散層と、前記エピタキシヤル層を
島状に区画するように形成され、かつ前記半導体
基板と同一導電型の分離拡散領域と、前記島状に
区画されたエピタキシヤル層内に前記埋め込み拡
散層まで達する深さに拡散されてなり、かつ当該
エピタキシヤル層と同一導電型でしかも高濃度な
二つの貫通拡散領域と、この貫通拡散領域の一方
の表面に重なり、当該貫通拡散領域よりも幅広く
しかも浅く形成され、かつ前記半導体基板と同一
導電型でしかも高濃度な不純物拡散領域とを備え
たツエナーダイオードをセンサ部とし、このセン
サ部を集積回路内に組み込んだことを特徴とする
温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12902885U JPS6237942U (ja) | 1985-08-24 | 1985-08-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12902885U JPS6237942U (ja) | 1985-08-24 | 1985-08-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237942U true JPS6237942U (ja) | 1987-03-06 |
Family
ID=31025234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12902885U Pending JPS6237942U (ja) | 1985-08-24 | 1985-08-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237942U (ja) |
-
1985
- 1985-08-24 JP JP12902885U patent/JPS6237942U/ja active Pending