JPS6238248A - 局所クリ−ンル−ム - Google Patents
局所クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS6238248A JPS6238248A JP17589685A JP17589685A JPS6238248A JP S6238248 A JPS6238248 A JP S6238248A JP 17589685 A JP17589685 A JP 17589685A JP 17589685 A JP17589685 A JP 17589685A JP S6238248 A JPS6238248 A JP S6238248A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dome
- air
- clean room
- floor
- floor panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は局所クリーンルームに係るものである。
(従来の技術)
完全無窓の恒温恒湿工場やクリーンルームは多大の設備
投資全必要とし、不必要な工場内の空間まで共に恒温恒
湿化されるため、ランニングコストが非常に高くなって
いる。
投資全必要とし、不必要な工場内の空間まで共に恒温恒
湿化されるため、ランニングコストが非常に高くなって
いる。
このため工場内の所要空間全ビニールシート等によって
覆い、周囲の空間より隔絶された清浄域空間が画成され
た局所りI7 フルームが構成されている。
覆い、周囲の空間より隔絶された清浄域空間が画成され
た局所りI7 フルームが構成されている。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら前記従来の局所クリ−/ルームは、工場内
に全く別の空間音つくるものであシ、照明設備が必要に
なるとともに熱負荷が大とな9、精密空調のためのラン
ニングコストが嵩み、設置作業が容易でなく、移設に多
大の手間全便するという問題点があった。
に全く別の空間音つくるものであシ、照明設備が必要に
なるとともに熱負荷が大とな9、精密空調のためのラン
ニングコストが嵩み、設置作業が容易でなく、移設に多
大の手間全便するという問題点があった。
(問題点を解決するための手段)
本発明はこのよう表問題点を解決するために提案され念
もので、既設の床面に着脱自在に取付けられる床板に、
空気膜ドームを一体に結合してなること全特徴とする局
所クリーンルームに係るものであるや (作用) 本発明は前記したように、既設の床面に着脱自在に取付
けられる床板に、空気膜ドームが一体に結合されている
ので、前記床板を所要の既設床面に固定することによっ
て局所クリーンルームが簡単に組立てられる。
もので、既設の床面に着脱自在に取付けられる床板に、
空気膜ドームを一体に結合してなること全特徴とする局
所クリーンルームに係るものであるや (作用) 本発明は前記したように、既設の床面に着脱自在に取付
けられる床板に、空気膜ドームが一体に結合されている
ので、前記床板を所要の既設床面に固定することによっ
て局所クリーンルームが簡単に組立てられる。
i九杉設時には前記床板を既設の床面より取外して、同
床板をこれと一体に結合された窒気膜ドームとともに所
要の個所に移動し、当該個所にお。
床板をこれと一体に結合された窒気膜ドームとともに所
要の個所に移動し、当該個所にお。
いて前記床板を既設の床面に固着することによって、局
所クリーンルームを簡単に移設しうるものである。
所クリーンルームを簡単に移設しうるものである。
(発明の効果)
本発明によればこのように既存の工場内の必要な個所に
局所クリーンルームが簡単に設置され、また同局所クリ
ーンルームの移設が容易に行なわれる。
局所クリーンルームが簡単に設置され、また同局所クリ
ーンルームの移設が容易に行なわれる。
また前記空気膜ビーム全透光性の高い膜材で構成するこ
とによって局所クリ−/ルーム内の照明が不要になると
ともに、外部からの監視が可能となる。
とによって局所クリ−/ルーム内の照明が不要になると
ともに、外部からの監視が可能となる。
なお前記空気膜ビームを二重膜ドームとし、床板を断熱
構造とすることによシ、熱負荷金工げ、省エネルギーを
図ることができる。
構造とすることによシ、熱負荷金工げ、省エネルギーを
図ることができる。
更に本発明によれば工場全体を精密空調するのに比して
、必要な部分だけ空調すればよく、省エネルギーが図ら
れ、且つ高精密な制御が可能となる。
、必要な部分だけ空調すればよく、省エネルギーが図ら
れ、且つ高精密な制御が可能となる。
(実施例)
以下本発明を図示の実施例について説明する。
(1)は既設床(A)の床面に着脱自在に取付けられる
プレキャストコンクリート床板で、同床板(1)に二重
空気膜ドーム(2)が一体に結合されている。同床板(
1)にはキャスタが取付けられるが、あるいは吊〕フッ
クが付いておシ、天井クレーンなどで簡単に移動できる
ようになっている。
プレキャストコンクリート床板で、同床板(1)に二重
空気膜ドーム(2)が一体に結合されている。同床板(
1)にはキャスタが取付けられるが、あるいは吊〕フッ
クが付いておシ、天井クレーンなどで簡単に移動できる
ようになっている。
而して前記床板け)を二重空気膜ドーム(2)とともに
所要個所に移動して、既設床(A)に固定し、空調装置
(3)に接続された送風機(4)によって前記ドーム(
2)内に送風し、同ドーム内圧を外圧より少し高圧にし
てドームを支持するとともに、前記空調装置(3)によ
ってト°−ム内送風を定温、定湿化し、更に送風吹出口
に超高性能フィルタ(5)を配設することによって清浄
化し、恒温、恒湿のクリーンルームを形成する。
所要個所に移動して、既設床(A)に固定し、空調装置
(3)に接続された送風機(4)によって前記ドーム(
2)内に送風し、同ドーム内圧を外圧より少し高圧にし
てドームを支持するとともに、前記空調装置(3)によ
ってト°−ム内送風を定温、定湿化し、更に送風吹出口
に超高性能フィルタ(5)を配設することによって清浄
化し、恒温、恒湿のクリーンルームを形成する。
なおりリーンルームはクラス10,000〜ioo、o
o。
o。
程度とし、送風機(4)により上部、または横から送風
する乱流タイプとし、排気は床板(1)に設けたグレー
チング(6)を通して行なう。更に照明、空調の負荷金
工げるため膜材を透光性の高い材料よシなる二′M膜と
する。
する乱流タイプとし、排気は床板(1)に設けたグレー
チング(6)を通して行なう。更に照明、空調の負荷金
工げるため膜材を透光性の高い材料よシなる二′M膜と
する。
なお局所クリーンルームの移設に当っては、床板(1ン
ヲ既設床GA)より取外して所定の個所まで移動し、当
該個所で床板(1)を既設板(Nに固定するものである
。
ヲ既設床GA)より取外して所定の個所まで移動し、当
該個所で床板(1)を既設板(Nに固定するものである
。
このように前記実施例によれば局所クリーンルームの設
置、移設が簡単に行なわれるものである。
置、移設が簡単に行なわれるものである。
なお前記床板は図示せぬ油、切屑回収装置、電源、情報
ライン、高圧空気管及びレベルセンナ(7)が埋設され
、外部の遠隔集中堅視部に接続さnlまた工作機械(B
)等の取付用アンカーボルト(8)が碇着され、同機械
(B)との一体化が図られている。
ライン、高圧空気管及びレベルセンナ(7)が埋設され
、外部の遠隔集中堅視部に接続さnlまた工作機械(B
)等の取付用アンカーボルト(8)が碇着され、同機械
(B)との一体化が図られている。
更に床板(Llt−既設床(A)上に防振ゴムや空気ば
ね等の防振装置(9)で支承することによってWR動の
遮断、抑制全図υ、工作機械(B)等の剛性の向上を図
るものである。
ね等の防振装置(9)で支承することによってWR動の
遮断、抑制全図υ、工作機械(B)等の剛性の向上を図
るものである。
更にまた床板(1)にヒートパイプαQが埋設され、床
暖房、冷房を行なうとともに、工作機械から発生する熱
の回収分も行なうものである。
暖房、冷房を行なうとともに、工作機械から発生する熱
の回収分も行なうものである。
一方電磁ノイズに対しても、前記膜材や床板(itに導
電性の塗料を塗装することによって簡単な電磁シールド
ルームとすることも可能である。
電性の塗料を塗装することによって簡単な電磁シールド
ルームとすることも可能である。
前記局部クリーンルームの温度、湿度、内圧、送風量、
床板レベル、振動、電磁ノイズ等は夫々センサーによっ
て検知し、床板(1)に埋設された光ファイバー等によ
って外部に連絡され、遠隔で集中監視され、温度、湿度
、防塵とともに振動、電磁ノイズも無人で制御すること
ができ、精度の高い加工、組立、検査等を可能ならしめ
るものである。、tたこの際に生じる、油、切屑全床板
(1)に埋設した油、切屑回収装置により、人間の手を
煩られせることなく回収しうるものでちる。
床板レベル、振動、電磁ノイズ等は夫々センサーによっ
て検知し、床板(1)に埋設された光ファイバー等によ
って外部に連絡され、遠隔で集中監視され、温度、湿度
、防塵とともに振動、電磁ノイズも無人で制御すること
ができ、精度の高い加工、組立、検査等を可能ならしめ
るものである。、tたこの際に生じる、油、切屑全床板
(1)に埋設した油、切屑回収装置により、人間の手を
煩られせることなく回収しうるものでちる。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第1図は本発明に係る局所クリーンルームの−実施例を
示す縦断面図である。 (A)・−・既設床、(1)・・・床板、(2)・・・
二重空気膜ドーム代理人 弁理士 岡 本 重 文 外2名
示す縦断面図である。 (A)・−・既設床、(1)・・・床板、(2)・・・
二重空気膜ドーム代理人 弁理士 岡 本 重 文 外2名
Claims (1)
- 既設の床面に着脱自在に取付けられる床板に、空気膜ド
ームを一体に結合してなることを特徴とする局所クリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17589685A JPS6238248A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 局所クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17589685A JPS6238248A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 局所クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238248A true JPS6238248A (ja) | 1987-02-19 |
Family
ID=16004119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17589685A Pending JPS6238248A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 局所クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994019922A3 (en) * | 1993-07-16 | 1994-12-22 | Kraeftens Bekaempelse | Method and apparatus for performing operations |
| WO2021189526A1 (zh) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 同济大学 | 充气膜结构病毒检测实验室、及覆土结构病毒检测实验室 |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17589685A patent/JPS6238248A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994019922A3 (en) * | 1993-07-16 | 1994-12-22 | Kraeftens Bekaempelse | Method and apparatus for performing operations |
| US5730777A (en) * | 1993-07-16 | 1998-03-24 | Peter Mosborg Peterson | Method and apparatus for performing operations |
| WO2021189526A1 (zh) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 同济大学 | 充气膜结构病毒检测实验室、及覆土结构病毒检测实验室 |
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