JPS6238248A - 局所クリ−ンル−ム - Google Patents

局所クリ−ンル−ム

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Publication number
JPS6238248A
JPS6238248A JP17589685A JP17589685A JPS6238248A JP S6238248 A JPS6238248 A JP S6238248A JP 17589685 A JP17589685 A JP 17589685A JP 17589685 A JP17589685 A JP 17589685A JP S6238248 A JPS6238248 A JP S6238248A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dome
air
clean room
floor
floor panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17589685A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshifumi Niino
敏文 新納
Osamu Nagai
修 永易
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujita Corp
Original Assignee
Fujita Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujita Corp filed Critical Fujita Corp
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Publication of JPS6238248A publication Critical patent/JPS6238248A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は局所クリーンルームに係るものである。
(従来の技術) 完全無窓の恒温恒湿工場やクリーンルームは多大の設備
投資全必要とし、不必要な工場内の空間まで共に恒温恒
湿化されるため、ランニングコストが非常に高くなって
いる。
このため工場内の所要空間全ビニールシート等によって
覆い、周囲の空間より隔絶された清浄域空間が画成され
た局所りI7  フルームが構成されている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら前記従来の局所クリ−/ルームは、工場内
に全く別の空間音つくるものであシ、照明設備が必要に
なるとともに熱負荷が大とな9、精密空調のためのラン
ニングコストが嵩み、設置作業が容易でなく、移設に多
大の手間全便するという問題点があった。
(問題点を解決するための手段) 本発明はこのよう表問題点を解決するために提案され念
もので、既設の床面に着脱自在に取付けられる床板に、
空気膜ドームを一体に結合してなること全特徴とする局
所クリーンルームに係るものであるや (作用) 本発明は前記したように、既設の床面に着脱自在に取付
けられる床板に、空気膜ドームが一体に結合されている
ので、前記床板を所要の既設床面に固定することによっ
て局所クリーンルームが簡単に組立てられる。
i九杉設時には前記床板を既設の床面より取外して、同
床板をこれと一体に結合された窒気膜ドームとともに所
要の個所に移動し、当該個所にお。
いて前記床板を既設の床面に固着することによって、局
所クリーンルームを簡単に移設しうるものである。
(発明の効果) 本発明によればこのように既存の工場内の必要な個所に
局所クリーンルームが簡単に設置され、また同局所クリ
ーンルームの移設が容易に行なわれる。
また前記空気膜ビーム全透光性の高い膜材で構成するこ
とによって局所クリ−/ルーム内の照明が不要になると
ともに、外部からの監視が可能となる。
なお前記空気膜ビームを二重膜ドームとし、床板を断熱
構造とすることによシ、熱負荷金工げ、省エネルギーを
図ることができる。
更に本発明によれば工場全体を精密空調するのに比して
、必要な部分だけ空調すればよく、省エネルギーが図ら
れ、且つ高精密な制御が可能となる。
(実施例) 以下本発明を図示の実施例について説明する。
(1)は既設床(A)の床面に着脱自在に取付けられる
プレキャストコンクリート床板で、同床板(1)に二重
空気膜ドーム(2)が一体に結合されている。同床板(
1)にはキャスタが取付けられるが、あるいは吊〕フッ
クが付いておシ、天井クレーンなどで簡単に移動できる
ようになっている。
而して前記床板け)を二重空気膜ドーム(2)とともに
所要個所に移動して、既設床(A)に固定し、空調装置
(3)に接続された送風機(4)によって前記ドーム(
2)内に送風し、同ドーム内圧を外圧より少し高圧にし
てドームを支持するとともに、前記空調装置(3)によ
ってト°−ム内送風を定温、定湿化し、更に送風吹出口
に超高性能フィルタ(5)を配設することによって清浄
化し、恒温、恒湿のクリーンルームを形成する。
なおりリーンルームはクラス10,000〜ioo、o
o。
程度とし、送風機(4)により上部、または横から送風
する乱流タイプとし、排気は床板(1)に設けたグレー
チング(6)を通して行なう。更に照明、空調の負荷金
工げるため膜材を透光性の高い材料よシなる二′M膜と
する。
なお局所クリーンルームの移設に当っては、床板(1ン
ヲ既設床GA)より取外して所定の個所まで移動し、当
該個所で床板(1)を既設板(Nに固定するものである
このように前記実施例によれば局所クリーンルームの設
置、移設が簡単に行なわれるものである。
なお前記床板は図示せぬ油、切屑回収装置、電源、情報
ライン、高圧空気管及びレベルセンナ(7)が埋設され
、外部の遠隔集中堅視部に接続さnlまた工作機械(B
)等の取付用アンカーボルト(8)が碇着され、同機械
(B)との一体化が図られている。
更に床板(Llt−既設床(A)上に防振ゴムや空気ば
ね等の防振装置(9)で支承することによってWR動の
遮断、抑制全図υ、工作機械(B)等の剛性の向上を図
るものである。
更にまた床板(1)にヒートパイプαQが埋設され、床
暖房、冷房を行なうとともに、工作機械から発生する熱
の回収分も行なうものである。
一方電磁ノイズに対しても、前記膜材や床板(itに導
電性の塗料を塗装することによって簡単な電磁シールド
ルームとすることも可能である。
前記局部クリーンルームの温度、湿度、内圧、送風量、
床板レベル、振動、電磁ノイズ等は夫々センサーによっ
て検知し、床板(1)に埋設された光ファイバー等によ
って外部に連絡され、遠隔で集中監視され、温度、湿度
、防塵とともに振動、電磁ノイズも無人で制御すること
ができ、精度の高い加工、組立、検査等を可能ならしめ
るものである。、tたこの際に生じる、油、切屑全床板
(1)に埋設した油、切屑回収装置により、人間の手を
煩られせることなく回収しうるものでちる。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る局所クリーンルームの−実施例を
示す縦断面図である。 (A)・−・既設床、(1)・・・床板、(2)・・・
二重空気膜ドーム代理人 弁理士 岡 本 重 文 外2名

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 既設の床面に着脱自在に取付けられる床板に、空気膜ド
    ームを一体に結合してなることを特徴とする局所クリー
    ンルーム。
JP17589685A 1985-08-12 1985-08-12 局所クリ−ンル−ム Pending JPS6238248A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17589685A JPS6238248A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 局所クリ−ンル−ム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17589685A JPS6238248A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 局所クリ−ンル−ム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6238248A true JPS6238248A (ja) 1987-02-19

Family

ID=16004119

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17589685A Pending JPS6238248A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 局所クリ−ンル−ム

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JP (1) JPS6238248A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994019922A3 (en) * 1993-07-16 1994-12-22 Kraeftens Bekaempelse Method and apparatus for performing operations
WO2021189526A1 (zh) * 2020-03-27 2021-09-30 同济大学 充气膜结构病毒检测实验室、及覆土结构病毒检测实验室

Cited By (3)

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US5730777A (en) * 1993-07-16 1998-03-24 Peter Mosborg Peterson Method and apparatus for performing operations
WO2021189526A1 (zh) * 2020-03-27 2021-09-30 同济大学 充气膜结构病毒检测实验室、及覆土结构病毒检测实验室

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