JPS6244355Y2 - - Google Patents
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- JPS6244355Y2 JPS6244355Y2 JP5095380U JP5095380U JPS6244355Y2 JP S6244355 Y2 JPS6244355 Y2 JP S6244355Y2 JP 5095380 U JP5095380 U JP 5095380U JP 5095380 U JP5095380 U JP 5095380U JP S6244355 Y2 JPS6244355 Y2 JP S6244355Y2
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Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、密封構造部からの気体の漏洩量を測
定する気体漏洩測定装置に関する。
定する気体漏洩測定装置に関する。
従来の技術または装置により減圧中に漏洩した
気体の漏洩を測定する方法は、例えばトリチエリ
ー法によつて減圧状態を作り、この減圧中に漏洩
してきた気体の漏洩量は水銀マノメータにより減
圧差を読み取つて測定するもので、測定精度が悪
く、また微量の漏洩量の測定は不可能である。ま
た、水銀を使用するため水銀蒸気逸散の危険性を
ともなうなどの不具合点があつた。
気体の漏洩を測定する方法は、例えばトリチエリ
ー法によつて減圧状態を作り、この減圧中に漏洩
してきた気体の漏洩量は水銀マノメータにより減
圧差を読み取つて測定するもので、測定精度が悪
く、また微量の漏洩量の測定は不可能である。ま
た、水銀を使用するため水銀蒸気逸散の危険性を
ともなうなどの不具合点があつた。
本考案は、上記の点を考慮してなされたもの
で、その目的とするところは、シール部材を介し
て減圧中に漏洩した極く微量な漏洩量も定量的に
気体分析できる気体漏洩量検出装置を提供するこ
とにある。
で、その目的とするところは、シール部材を介し
て減圧中に漏洩した極く微量な漏洩量も定量的に
気体分析できる気体漏洩量検出装置を提供するこ
とにある。
以下、本考案を図面に示す一実施例を参照して
説明する。
説明する。
第1図においては、密封構造容器10(以下、
容器と略す)は、例えば避雷器又はガス絶縁機器
の気密を保つシール部を模凝したものである。す
なわち、この容器10内部に図示されないシール
部材例えばゴムパツキングを介した隔壁部11を
設けて、容器10内部を空間部10a,10bに
2分割している。右側の空間部10aには、リー
ク検証用気体を所定の圧力で供給する配管12a
と止弁12と圧力計12bとが接続されている。
また、左側の空間部10bは配管18aによつて
六方弁19と接続され、この配管18aには空間
部10b側から真空計18b、止弁13がコツク
14の順に接続されている。そしてコツク14は
配管17aを介して気体抽出装置17と接続さ
れ、また配管17aには分岐配管16aとコツク
16を介して真空ポンプ15が接続されている。
六方弁19は6個の接続口を備えており、接続口
31はコツク14と接続され、接続口32と35
との間には気体捕集管20が接続され、接続口3
3は配管22aを介して気体分析装置22に接続
され、接続口34はキヤリヤガスとなる窒素ガス
を供給するガスボンベ21と配管21aによつて
接続されている。この六方弁19は接続口31が
封止されており、太線で図示したように接続口3
1,32は連通しており、また接続口34,33
もまた連通している。そして、六方弁19の図示
されない回動部を1/6周すなわち1/6回転ずつ回動
させることができる。なお、リーク検証用気体は
窒素ガス、アルゴンガスのような不活性ガス又は
塩素、臭素のようなハロゲンガスあるいは、ハロ
ゲン化ガス例えば六弗化硫黄ガスなどである。
容器と略す)は、例えば避雷器又はガス絶縁機器
の気密を保つシール部を模凝したものである。す
なわち、この容器10内部に図示されないシール
部材例えばゴムパツキングを介した隔壁部11を
設けて、容器10内部を空間部10a,10bに
2分割している。右側の空間部10aには、リー
ク検証用気体を所定の圧力で供給する配管12a
と止弁12と圧力計12bとが接続されている。
また、左側の空間部10bは配管18aによつて
六方弁19と接続され、この配管18aには空間
部10b側から真空計18b、止弁13がコツク
14の順に接続されている。そしてコツク14は
配管17aを介して気体抽出装置17と接続さ
れ、また配管17aには分岐配管16aとコツク
16を介して真空ポンプ15が接続されている。
六方弁19は6個の接続口を備えており、接続口
31はコツク14と接続され、接続口32と35
との間には気体捕集管20が接続され、接続口3
3は配管22aを介して気体分析装置22に接続
され、接続口34はキヤリヤガスとなる窒素ガス
を供給するガスボンベ21と配管21aによつて
接続されている。この六方弁19は接続口31が
封止されており、太線で図示したように接続口3
1,32は連通しており、また接続口34,33
もまた連通している。そして、六方弁19の図示
されない回動部を1/6周すなわち1/6回転ずつ回動
させることができる。なお、リーク検証用気体は
窒素ガス、アルゴンガスのような不活性ガス又は
塩素、臭素のようなハロゲンガスあるいは、ハロ
ゲン化ガス例えば六弗化硫黄ガスなどである。
次に、このように構成された本考案の気体漏洩
量検出装置の作用、効果について述べる。容器1
0の図示右側の空間部10aに配管12a及び止
弁12を介して、所定の圧力でリーク検証用気体
を供給した後、止弁12を封じ切る。一方容器1
0の左側の空間部10bは止弁13を開き、コツ
ク14を配管18aと17aと連通するように切
換えて、コツク16を介して真空ポンプ15を駆
動させコツク16を開放することによつて、気体
抽出装置17及び配管18a内部は減圧状態に保
たれるため、止弁13を閉じ、コツク14を切換
えると、六方弁19を介して取付けられている気
体捕集管20の内部も減圧状態に保たれるため、
再びコツク14に空間部10b側に切換える。そ
して、次にコツク16を閉じ、真空ポンプ15を
停止させる。
量検出装置の作用、効果について述べる。容器1
0の図示右側の空間部10aに配管12a及び止
弁12を介して、所定の圧力でリーク検証用気体
を供給した後、止弁12を封じ切る。一方容器1
0の左側の空間部10bは止弁13を開き、コツ
ク14を配管18aと17aと連通するように切
換えて、コツク16を介して真空ポンプ15を駆
動させコツク16を開放することによつて、気体
抽出装置17及び配管18a内部は減圧状態に保
たれるため、止弁13を閉じ、コツク14を切換
えると、六方弁19を介して取付けられている気
体捕集管20の内部も減圧状態に保たれるため、
再びコツク14に空間部10b側に切換える。そ
して、次にコツク16を閉じ、真空ポンプ15を
停止させる。
この状態で所定時間保持した後、止弁13を開
いて気体抽出装置17を駆動させて、更に高真空
状態にすることによつて、容器10の隔壁部11
に設けられるシール部材から、減圧側の空間部1
0bに漏洩してきた空間部10aに圧入されてい
たリーク検出用気体を気体抽出装置17の内部に
吸引する。さらに、コツク14を六方弁19側に
切換えて気体抽出装置17を再び駆動して、吸引
していたリーク検出用気体を六方弁19を介して
気体捕集管20内に搬送し装入する。このように
複数回の装入が完了した後、コツク14を空間部
10b側に切換える。例えばガスクロマトグラフ
分析装置のような気体分析装置22には六方弁1
9の接続口33,34を介して、窒素ボンベ21
からキヤリアガスが常時供給されている。
いて気体抽出装置17を駆動させて、更に高真空
状態にすることによつて、容器10の隔壁部11
に設けられるシール部材から、減圧側の空間部1
0bに漏洩してきた空間部10aに圧入されてい
たリーク検出用気体を気体抽出装置17の内部に
吸引する。さらに、コツク14を六方弁19側に
切換えて気体抽出装置17を再び駆動して、吸引
していたリーク検出用気体を六方弁19を介して
気体捕集管20内に搬送し装入する。このように
複数回の装入が完了した後、コツク14を空間部
10b側に切換える。例えばガスクロマトグラフ
分析装置のような気体分析装置22には六方弁1
9の接続口33,34を介して、窒素ボンベ21
からキヤリアガスが常時供給されている。
続いて、第2図に示すように、六方弁19を図
示右回りに1/6回転させると、窒素ボンベ21か
ら供給されるキヤリアガスは接続口33,34か
ら気体捕集管20を通り接続口31,32を経て
気体分析装置22に流れる。このようにして気体
捕集管20に集められていた濃縮され蓄積された
リーク検証用気体はキヤリアガスとともに例えば
安価なガスクロマトグラフ分析装置のような気体
分析装置22に送られて、微量な漏洩したリーク
検証用気体の測定が行われる。
示右回りに1/6回転させると、窒素ボンベ21か
ら供給されるキヤリアガスは接続口33,34か
ら気体捕集管20を通り接続口31,32を経て
気体分析装置22に流れる。このようにして気体
捕集管20に集められていた濃縮され蓄積された
リーク検証用気体はキヤリアガスとともに例えば
安価なガスクロマトグラフ分析装置のような気体
分析装置22に送られて、微量な漏洩したリーク
検証用気体の測定が行われる。
以上、説明したように本考案によれば、従来の
方法及び装置により減圧中への漏洩気体の測定を
行う場合に、使用しなければならない水銀の使用
を一切必要としないために、水銀蒸気の逸散の危
険性が皆無となる。また気体分析装置により気体
漏洩量の測定を行うので、ppm単位の極めて微
量の漏洩量の測定を行うことのできる気体漏洩量
検出装置を提供することができる。
方法及び装置により減圧中への漏洩気体の測定を
行う場合に、使用しなければならない水銀の使用
を一切必要としないために、水銀蒸気の逸散の危
険性が皆無となる。また気体分析装置により気体
漏洩量の測定を行うので、ppm単位の極めて微
量の漏洩量の測定を行うことのできる気体漏洩量
検出装置を提供することができる。
第1図及び第2図は夫々本考案の気体漏洩量検
出装置を示す構成配置図である。 10……密封構造容器、10a,10b……空
間部、12,13……止弁、14,16……コツ
ク、15……真空ポンプ、17……気体抽出装
置、19……六方弁、20……気体捕集管、21
……ボンベ、22……気体分析装置。
出装置を示す構成配置図である。 10……密封構造容器、10a,10b……空
間部、12,13……止弁、14,16……コツ
ク、15……真空ポンプ、17……気体抽出装
置、19……六方弁、20……気体捕集管、21
……ボンベ、22……気体分析装置。
Claims (1)
- シール部材を備えた密封構造の気体漏洩量検出
装置において、密閉容器内にシール部材を介して
区分されて形成される第1及び第2の空間部と、
この第1の空間部内に一定圧力で封入されるリー
ク検証用気体と、前記第2の空間部内を減圧状態
に保つコツクを有する真空ポンプと、この減圧し
た前記第2の空間部内に前記シール部材から漏洩
した前記リーク検証用気体を抽出する気体抽出装
置と、前記漏洩したリーク検証用気体を前記気体
抽出装置より六方弁を介して送る気体捕集管と、
この気体捕集管内に濃縮して蓄積した前記リーク
検証用気体を前記六方弁を操作してキヤリアガス
ボンベのキヤリアガスを介して導入するガスクロ
マトグラフ分析装置とを備えたことを特徴とする
気体漏洩量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5095380U JPS6244355Y2 (ja) | 1980-04-17 | 1980-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5095380U JPS6244355Y2 (ja) | 1980-04-17 | 1980-04-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56153846U JPS56153846U (ja) | 1981-11-17 |
| JPS6244355Y2 true JPS6244355Y2 (ja) | 1987-11-21 |
Family
ID=29645872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5095380U Expired JPS6244355Y2 (ja) | 1980-04-17 | 1980-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244355Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-04-17 JP JP5095380U patent/JPS6244355Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56153846U (ja) | 1981-11-17 |
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