JPH0355236Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は，電子顕微鏡の電子レンズに設けられ
た電子線の絞り装置に関する。

電子顕微鏡等に使用されている絞り装置の中に
は、絞り穴の径を交換する必要のないタイプの装
置がある。このような絞り装置においては、従
来、絞りホルダーをレンズの磁極片に固定した
り、あるいは絞りホルダーをレンズ磁極片に取り
付けるための構造を設けて絞りホルダーを装着す
るようにしている。ところで、絞りは一定期間使
用すると、炭化化合物等の付着により汚れ、電子
線に悪影響を及ぼすため、絞りのクリーニングが
必要になる。このクリーニングを行なうため、絞
りを取り外そうとすると、従来の前者の装置にお
いては、レンズの積み上げ構造を分解しなければ
ならず、多くの作業を要する。又、従来の後者の
装置においても、ピンセツト等を用いて絞りホル
ダーを磁極片より取り外さねばならず、作業に熟
練を要すると共に、その取り外し作業のために多
段に積層されたレンズとレンズとの間に大きなス
ペースを確保しておく必要がある。

本考案は、このような従来の欠点を解決して、
簡単に絞りを取り外してクリーニングすることが
でき、且つ取り外し作業のための空間も殆ど必要
なく、更に絞りが取り付けられた状態で、該絞り
の機械的な位置調整の不要な電子顕微鏡における
絞り装置を提供することを目的としている。

本考案は半円形の凸部を有し該円の中心位置に
絞りを設置するための機構を有する絞りホルダー
と、半円形状の凹部を有し該円の中心が光軸に一
致するように電子レンズに固定されたホルダー受
けと、該ホルダー受けと絞りとの相対位置を変化
させないように前記絞りホルダーを緩く支持する
ための支持手段と、該絞りホルダーの凸部が電子
レンズの移動にかかわらず該絞りホルダー受けの
凸部に当接するように絞りホルダーに弾性力を加
えるための手段とを具備し、該支持手段ごと絞り
ホルダーを筐筒から引き抜くための手段を具備す
ることを特徴としている。

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。

第１図は、本考案の一実施例を示すための図で
あり、図中１は電子顕微鏡の鏡筒壁であり、この
鏡筒壁１の上部には鏡筒壁２が積み上げられてい
る。この鏡筒壁２は集束レンズのヨークとしての
役割も有する。３は集束レンズの励磁コイルであ
り、４は磁極片である。この磁極片４には電子線
通路５が設けられている。前記鏡筒壁１の一部に
は開口６が設けられており、この開口６には大気
側から絞りホルダー支持部材７が挿入されてい
る。この絞りホルダー支持部材７は本体７ａと本
体７ａに対して光軸Ｃに垂直な方向に移動可能に
設けられた支持棒７ｂとより成つている。絞りホ
ルダー支持部材本体７ａはネジ８により鏡筒壁１
に取り付けられている。９は真空シール部材であ
る。支持棒７ｂはバネ７ｃにより常に矢印Ｋの向
きに押されている。支持棒７ｂにはキー溝７ｄが
あり、この溝７ｄには本体７ａに一体化されたキ
ー７ｅが挿入されており、支持棒７ｂの移動範囲
は一定の範囲に制限されている。支持棒７ｂの先
端には軸７ｆの回りに回転可能に絞りホルダー１
０が取り付けられている。絞りホルダー１０には
キー溝１０ａが設けられており、このキー溝１０
ａには支持棒７ｂに一体化されたキー７ｇが挿入
されており、絞りホルダー１０の回転範囲は一定
の範囲に制限されている。絞りホルダー１０の先
端部には第１図を矢印Ａの向きから見た第２図か
ら明らかなように半円形の凸部１０ｂを有してい
る。絞りホルダー１０のこの円の中心位置には、
絞り１１が設置されている。この絞り１１はワツ
シヤー１２を介して絞り押えバネ１３によつて押
えられている。１４はこの板バネを取り付けるた
めのネジを表わしている。一方前記磁極片４の下
端部には半円状の凹部１５ａを有するガイド１５
がネジ１６によつて取り付けられている。この凹
部１５ａの円の中心は光軸Ｃに一致するようにな
つている。１７は絞りホルダー１０に設けられた
電子線通過孔である。

このような構成において、最初に絞り１１を装
着しようとする際には、絞りホルダー１０を支持
する絞りホルダー支持部材７を開口６から挿入す
る。その結果、絞りホルダー１０の先端部の凸部
１０ｂは前記ガイド１５の凹部１５ａに挿入され
るため、そこで、ネジ８により絞りホルダー支持
部材７を鏡筒壁１に固定する。この際、絞りホル
ダー支持部材７の支持棒７ｂはバネ７ｃによつて
矢印Ｋの向きに押されており、且つ絞りホルダー
１０は軸７ｆを中心に一定角度範囲内で回転自在
になつているため、絞りホルダー１０の先端部の
凸部１０ｂはガイド１５の凹部１５ａに隙間無く
接触する。その結果、絞り１１をその中心が光軸
Ｃと一致した位置に位置付けることができる。
又、機械的な軸整合のためにレンズを微少量移動
させる場合においても、この移動の際に磁極片４
が移動しても、絞り１１の位置を光軸Ｃの位置に
保持することができる。

さて、絞り１１のクリーニングを行なおうとす
る際には、ネジ８を外して絞りホルダー支持部材
７を引き抜けば、この絞りホルダー支持部材と共
に、絞りホルダー１０も引き抜けるため、この絞
りホルダー１０に取り付けられた絞り１１を取り
外して直ちにクリーニングすることができる。

上述した説明から明らかなように、本考案によ
り、治具等を使用しての熟練した作業を要するこ
となく、簡単に絞りを取り外してクリーニングす
ることができ、且つ取り外し作業のための空間も
殆ど必要のない電子顕微鏡等における絞り装置が
提供される。又、絞りが取り付けられた状態で、
機械的な軸整合のためにレンズを微少量移動させ
る場合においても、レンズの移動にあわせて絞り
が移動するため、光軸と絞りの位置がずれること
がないので、その操作は極めて簡単化される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すための図、第
２図は第１図を矢印Ａの方向から見た図を示して
いる。 １，２……鏡筒壁、３……励磁コイル、４……
磁極片、５……電子線通路、６……開口、７……
絞りホルダー、７ａ……本体、７ｂ……支持棒、
７ｃ……バネ、７ｄ，１０ａ……キー溝、７ｅ，
７ｇ……キー、８，１４……ネジ、９……真空シ
ール部材、１０……絞りホルダー、１１……絞
り、１２……ワツシヤー、１３……板バネ、１５
……ガイド、１７……電子線通過孔、Ｃ……光
軸。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半円形の凸部を有し該円の中心位置に絞りを設
   置するための機構を有する絞りホルダーと、半円
   状の凹部を有し該円の中心が光軸に一致するよう
   に電子レンズに固定されたホルダー受けと、該ホ
   ルダー受けと絞りとの相対位置を変化させないよ
   うに前記絞りホルダーを緩く支持するための支持
   手段と、該絞りホルダーの凸部が電子レンズの移
   動にかかわらず該絞りホルダー受けの凸部に当接
   するように絞りホルダーに弾性力を加えるための
   手段とを具備し、該支持手段ごと絞りホルダーを
   筐筒から引き抜くための手段を具備することを特
   徴とする電子顕微鏡等における絞り装置。