JPS6246936A - エ−ロゾル流の製造法 - Google Patents
エ−ロゾル流の製造法Info
- Publication number
- JPS6246936A JPS6246936A JP61192204A JP19220486A JPS6246936A JP S6246936 A JPS6246936 A JP S6246936A JP 61192204 A JP61192204 A JP 61192204A JP 19220486 A JP19220486 A JP 19220486A JP S6246936 A JPS6246936 A JP S6246936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- components
- aerosol
- reaction
- gaseous
- aerosol stream
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/30—For glass precursor of non-standard type, e.g. solid SiH3F
- C03B2207/34—Liquid, e.g. mist or aerosol
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Colloid Chemistry (AREA)
- Absorbent Articles And Supports Therefor (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、°少なくとも２つのガス状および／または蒸
気状の化学成分を、該成分からガラス形成粒子含有エー
ロゾルが生成る、反応室に供給る、、エーロゾル流の製
造法に関る、。
気状の化学成分を、該成分からガラス形成粒子含有エー
ロゾルが生成る、反応室に供給る、、エーロゾル流の製
造法に関る、。
本発明は殊に、光導波路用プレフォームの製造に適した
ガラス形成性ＳｉＯ□粒子を含有る、エーロゾル流の製
造に関る、。
ガラス形成性ＳｉＯ□粒子を含有る、エーロゾル流の製
造に関る、。
従来の技術
たとえば西ドイツ国特許出願公開第６６２６０４６号明
細書から、かかるエーロゾル流を、無炎化学反応により
ガス状および／または蒸気状の成分四塩化ケイ素（５ｉ
ＣＪ４）および水ＣＨ２Ｏ）から式： ％式％ により゛つくることは公知である。
細書から、かかるエーロゾル流を、無炎化学反応により
ガス状および／または蒸気状の成分四塩化ケイ素（５ｉ
ＣＪ４）および水ＣＨ２Ｏ）から式： ％式％ により゛つくることは公知である。
さらに、その際に、生成る、８１０粒子のドーピングを
達成る、ために、他の成分、たとえばＧｅＣＪ４を使用
る、ことも公知である。たとえば二酸化デルマニウムが
、式： ％式％ により生成る、。該化学反応は、たとえば管状に／また
は開放バーナーとして構成されている加熱可能な反応室
中で行なわれる。後者の場合には、反応成分および／ま
たはバーナーを、成分の出口個所に必要な反応温度が存
在る、ように予熱る、のが有利である。
達成る、ために、他の成分、たとえばＧｅＣＪ４を使用
る、ことも公知である。たとえば二酸化デルマニウムが
、式： ％式％ により生成る、。該化学反応は、たとえば管状に／また
は開放バーナーとして構成されている加熱可能な反応室
中で行なわれる。後者の場合には、反応成分および／ま
たはバーナーを、成分の出口個所に必要な反応温度が存
在る、ように予熱る、のが有利である。
上記方法は、成分をさしあたり、たとえば同心に配置さ
れた管中に分離して、エーロゾル、流が生成る、反応室
の入口個所に供給る、という共通の特徴を有る、。殊に
光導波路用プレフォームを製造る、場合には、エーロゾ
ル流がその全横断面にわたｐ、Ｓｉ０２粒子のできるだ
け均一な濃度を有し、その上層流として構成されている
ことが必要である。
れた管中に分離して、エーロゾル、流が生成る、反応室
の入口個所に供給る、という共通の特徴を有る、。殊に
光導波路用プレフォームを製造る、場合には、エーロゾ
ル流がその全横断面にわたｐ、Ｓｉ０２粒子のできるだ
け均一な濃度を有し、その上層流として構成されている
ことが必要である。
このような均一なエーロゾル流に対る、前提条件は、す
べての成分の均一な層状ガス流れならびに該成分のでき
るだけ完全な混合である。
べての成分の均一な層状ガス流れならびに該成分のでき
るだけ完全な混合である。
層流は、流速が低くかつ反応室への入口個所が慎重に構
成されている場合に得られる。十分な混合は、流れ方向
に対して垂直な拡散によって行われる。
成されている場合に得られる。十分な混合は、流れ方向
に対して垂直な拡散によって行われる。
しかしながら、この種の方法は、成分の混合が迅速に行
なわれるので、好ましくないことに既に入口個所で反応
生成物が生成し、該生成物は小粒子の形でエーロゾル流
でさらに運搬されないで、固体として入口個所で沈積る
、という欠点を有る、。これが入口個所だ機械的変化を
生じ、流れの均等性を予測不能に妨げる。それどころか
入口個所の閉塞も可能である。かかる欠点は、入口個所
で、成分の混和が行われる前に、成分の迅速な搬−出を
配慮る、高い流速によって避けることができる。しかし
、このために必要な流速は不利なことに非常に高く、所
望の層流が好ましくない乱流へ転化る、。この欠点は、
成分を入口個所で、たとえば成分の間に案内される不活
性ガスを用いて空間的に分離る、ことにより避けること
ができる。これによって分散距離が延びるので、僅かな
流速の場合でも入口個所から若干能れた所ではじめて、
成分の混合および反応が行われる。かかる方法は、必要
な不活性ガスにより成分の濃度が減少る、ので、結局は
Ｓｉ０粒子の分離率も減少る、という欠点を有る、。そ
の上、この種の配置に対る、装置的費用は、殊に工業的
に製造る、場合、とりわけ生成されるエーロゾルの高い
純度が要求されている場合には不経済に極めて高い。
なわれるので、好ましくないことに既に入口個所で反応
生成物が生成し、該生成物は小粒子の形でエーロゾル流
でさらに運搬されないで、固体として入口個所で沈積る
、という欠点を有る、。これが入口個所だ機械的変化を
生じ、流れの均等性を予測不能に妨げる。それどころか
入口個所の閉塞も可能である。かかる欠点は、入口個所
で、成分の混和が行われる前に、成分の迅速な搬−出を
配慮る、高い流速によって避けることができる。しかし
、このために必要な流速は不利なことに非常に高く、所
望の層流が好ましくない乱流へ転化る、。この欠点は、
成分を入口個所で、たとえば成分の間に案内される不活
性ガスを用いて空間的に分離る、ことにより避けること
ができる。これによって分散距離が延びるので、僅かな
流速の場合でも入口個所から若干能れた所ではじめて、
成分の混合および反応が行われる。かかる方法は、必要
な不活性ガスにより成分の濃度が減少る、ので、結局は
Ｓｉ０粒子の分離率も減少る、という欠点を有る、。そ
の上、この種の配置に対る、装置的費用は、殊に工業的
に製造る、場合、とりわけ生成されるエーロゾルの高い
純度が要求されている場合には不経済に極めて高い。
発明が解決しようとる、問題点
したがって本発明の根底をなす課題は、上記種類の方法
を、殊に工業的に大量生産る、場合に、高い粒子濃度を
有しかつ層流として構成されているエーロゾル流を費用
をかけずに確実に製造る、ことを可能にる、ように改善
る、ことである。
を、殊に工業的に大量生産る、場合に、高い粒子濃度を
有しかつ層流として構成されているエーロゾル流を費用
をかけずに確実に製造る、ことを可能にる、ように改善
る、ことである。
問題点を解決る、だめの手段
かかる課題は、特許請求の範囲第１項の特徴部に記載さ
れた特徴、即ち少なくとも成分の入口個所でガス状およ
び蒸気状のハロゲン化水素を、ガラス形成性粒子の沈積
が少なくとも入口個所で避けられる濃度で添加る、こと
により解決される。有利な実施態様および／または改良
形は、特許請求の範囲第２項から第６項に認めることが
できる。
れた特徴、即ち少なくとも成分の入口個所でガス状およ
び蒸気状のハロゲン化水素を、ガラス形成性粒子の沈積
が少なくとも入口個所で避けられる濃度で添加る、こと
により解決される。有利な実施態様および／または改良
形は、特許請求の範囲第２項から第６項に認めることが
できる。
本発明を次に実施例につき詳説る、。
実施例
光導波路のプレフォームの製造に適当な、前述の化学反
応により生成る、、Ｓｉｏ粒子含有の層状エーロゾル流
を製造る、ためには、ガス状成分の少なくとも１つにた
とえばガス状５ｉＣ１！。
応により生成る、、Ｓｉｏ粒子含有の層状エーロゾル流
を製造る、ためには、ガス状成分の少なくとも１つにた
とえばガス状５ｉＣ１！。
に塩化水素（ＨＣＩ ）を少量混加して、ＨＣＪ Ｏ，
１１／ ｍｉｎ対５ｉＣＪ４２１ ／ ｍｉｎの混合比
が生じるようにる、。このことは、たとえば、ガス状Ｈ
ＣＩを鋼製ボンベから、正確に計量した量でガス状５ｉ
（Ｊ４に添加る、ことにより可能である。
１１／ ｍｉｎ対５ｉＣＪ４２１ ／ ｍｉｎの混合比
が生じるようにる、。このことは、たとえば、ガス状Ｈ
ＣＩを鋼製ボンベから、正確に計量した量でガス状５ｉ
（Ｊ４に添加る、ことにより可能である。
この手段によって、入口個所の反応生成物の分離は避け
られる。
られる。
混合された塩化水素は、所望の化学反応を妨げない。そ
の理由は、該塩化水素は、いずれにせよ５ｉＣＡ’４の
反応において反応生成物として生成る、からである。
の理由は、該塩化水素は、いずれにせよ５ｉＣＡ’４の
反応において反応生成物として生成る、からである。
さらに、塩化水素に他のハロゲン化水素、たとえばフッ
素化水素（ＨＦ ）を添加る、ことが可能である。これ
によって、８１０２粒子の相応る、ドーピングが可能で
ある。
素化水素（ＨＦ ）を添加る、ことが可能である。これ
によって、８１０２粒子の相応る、ドーピングが可能で
ある。
本発明は、記載した実施例に制限されるものではなく、
同様にそれ以外のものにも適用できる。たとえば、８１
０粒子を製造る、ための、所謂焔内加水分解法の場合に
は、ガス状成分の少なくとも１つにハロゲン化水素を、
必要なバーナーが反応生成物により閉塞されないような
濃度でおよび／または２つの成分５ｉＣＪ４と０２ない
しはＨ２Ｏとの間の不活性ガスからなる分離壁を有る、
複雑なバーナーの構造がさけられるような濃度で添加る
、のが有利である。
同様にそれ以外のものにも適用できる。たとえば、８１
０粒子を製造る、ための、所謂焔内加水分解法の場合に
は、ガス状成分の少なくとも１つにハロゲン化水素を、
必要なバーナーが反応生成物により閉塞されないような
濃度でおよび／または２つの成分５ｉＣＪ４と０２ない
しはＨ２Ｏとの間の不活性ガスからなる分離壁を有る、
複雑なバーナーの構造がさけられるような濃度で添加る
、のが有利である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも２つのガス状および／または蒸気状の化
学成分を、該成分からガラス形成性粒子含有エーロゾル
が生成する反応室に供給する、エーロゾル流の製造法に
おいて、少なくとも成分の入口個所で、ガス状および／
または蒸気状のハロゲン化水素を、少なくとも入口個所
でガラス形成性粒子の沈積が、避けられるような濃度で
添加することを特徴とするエーロゾル流の製造法。 ２、成分の１つが、四塩化ケイ素を含有する、特許請求
の範囲第１項記載の方法。 ３、ハロゲン化水素が、化学元素の塩素を含有する、特
許請求の範囲第１項または第２項記載の方法。 ４、エーロゾルを、少なくとも成分の四塩化ケイ素およ
び水から無炎反応により製造する、特許請求の範囲第１
項から第３項までのいずれか１項記載の方法。 ５、エーロゾル流を光導波路用プレフォームの製造に用
いる、特許請求の範囲第１項から第４項までのいずれか
１項記載の方法。 ６、反応成分の１つに塩化水素を混加する、特許請求の
範囲第１項から第５項までのいずれか１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19853530153 DE3530153A1 (de) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes |
| DE3530153.8 | 1985-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6246936A true JPS6246936A (ja) | 1987-02-28 |
Family
ID=6279189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192204A Pending JPS6246936A (ja) | 1985-08-23 | 1986-08-19 | エ−ロゾル流の製造法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4735643A (ja) |
| EP (1) | EP0213501B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6246936A (ja) |
| AT (1) | ATE38821T1 (ja) |
| DE (2) | DE3530153A1 (ja) |
| FI (1) | FI863418A7 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60249213A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | 株式会社日立製作所 | Ｄｉｎレ−ルへの取付機構 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3118822B2 (ja) * | 1990-09-07 | 2000-12-18 | 住友電気工業株式会社 | ガラス物品の製造方法 |
| DE19650500A1 (de) | 1996-12-05 | 1998-06-10 | Degussa | Dotierte, pyrogen hergestellte Oxide |
| ZA994173B (en) * | 1998-08-07 | 2000-03-06 | Corning Inc | System and method for plug free delivery of liquid reactants through a burner assembly to form soot for the manufacture of glass. |
| EP1010672A1 (en) | 1998-12-17 | 2000-06-21 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and apparatus for forming an optical fiber preform by combustionless hydrolysis |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3037491C2 (de) * | 1979-10-04 | 1983-10-27 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corp., Tokyo | Verfahren zur Herstellung einer Glasvorform für optische Fasern |
| US4402720A (en) * | 1980-01-22 | 1983-09-06 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation | Process for preparing glass preform for optical fiber |
| US4310341A (en) * | 1980-09-12 | 1982-01-12 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Removal of --OH impurities from fiber optic precursor materials |
| US4417911A (en) * | 1981-02-27 | 1983-11-29 | Associated Electrical Industries Limited | Manufacture of optical fibre preforms |
| US4378987A (en) * | 1981-10-15 | 1983-04-05 | Corning Glass Works | Low temperature method for making optical fibers |
| US4473599A (en) * | 1982-05-27 | 1984-09-25 | Aetna Telecommunications Laboratories | Process for providing optical fibers conditioned for hostile environments and fibers thus formed |
| US4465708A (en) * | 1983-05-31 | 1984-08-14 | At&T Technologies, Inc. | Technique for fabricating single mode lightguide soot-forms |
| DE3326043A1 (de) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung |
-
1985
- 1985-08-23 DE DE19853530153 patent/DE3530153A1/de not_active Withdrawn
-
1986
- 1986-08-14 AT AT86111248T patent/ATE38821T1/de not_active IP Right Cessation
- 1986-08-14 EP EP86111248A patent/EP0213501B1/de not_active Expired
- 1986-08-14 DE DE8686111248T patent/DE3661262D1/de not_active Expired
- 1986-08-19 JP JP61192204A patent/JPS6246936A/ja active Pending
- 1986-08-20 US US06/898,406 patent/US4735643A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-08-22 FI FI863418A patent/FI863418A7/fi not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60249213A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | 株式会社日立製作所 | Ｄｉｎレ−ルへの取付機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3530153A1 (de) | 1987-03-05 |
| US4735643A (en) | 1988-04-05 |
| ATE38821T1 (de) | 1988-12-15 |
| DE3661262D1 (en) | 1988-12-29 |
| EP0213501B1 (de) | 1988-11-23 |
| EP0213501A1 (de) | 1987-03-11 |
| FI863418L (fi) | 1987-02-24 |
| FI863418A0 (fi) | 1986-08-22 |
| FI863418A7 (fi) | 1987-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Powers | Kinetics of SiCl4 oxidation | |
| US5472477A (en) | Process for the preparation of finely divided metal and ceramic powders | |
| JP3356325B2 (ja) | 微粒子金属粉末 | |
| US2635946A (en) | Process and apparatus for the production of finely divided metallic oxides useful as pigments | |
| Briesen et al. | The effect of precursor in flame synthesis of SiO2 | |
| US5356120A (en) | Device for producing finely-divided metal and ceramic powder | |
| US6063354A (en) | Pyrogenic oxides and a process for their preparation | |
| JPS58167472A (ja) | 二重構造複合セラミツク粉体、その製造方法及びその製造装置 | |
| US4432781A (en) | Method for manufacturing fused quartz glass | |
| KR100254065B1 (ko) | 미립자 산화물 세라믹 분말 | |
| JPH0264006A (ja) | 太陽のシリコンの製造方法 | |
| JPH07247106A (ja) | 金属、合金および金属化合物の微細粉末 | |
| JPS6246936A (ja) | エ−ロゾル流の製造法 | |
| US3363981A (en) | Production of finely divided oxides by plasma process | |
| US3365274A (en) | Metal and metalloid oxide production | |
| US3503798A (en) | Silicon nitride film deposition method | |
| US3565590A (en) | Method and apparatus for producing trichlorosilane | |
| US3730748A (en) | Production of mixed oxides containing aluminum oxide | |
| JPS6348805B2 (ja) | ||
| JPH0229750B2 (ja) | ||
| JPH0334419A (ja) | 半導体熱処理用石英ガラス材料及びその製造方法 | |
| JPH04342434A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
| GB2177722A (en) | Method for manufacturing bismuth-containing oxide single crystal | |
| CA1240569A (en) | Process for the germanium-doping of optical waveguide base material based on vitreous silica | |
| US3164442A (en) | Flame synthesis of finely divided aluminum borates and phosphates |