JPS625400B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS625400B2 JPS625400B2 JP54122883A JP12288379A JPS625400B2 JP S625400 B2 JPS625400 B2 JP S625400B2 JP 54122883 A JP54122883 A JP 54122883A JP 12288379 A JP12288379 A JP 12288379A JP S625400 B2 JPS625400 B2 JP S625400B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- ultrasonic
- piezoelectric
- curved surface
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、超音波探傷や超音波診断等に用いら
れる超音波探触子の製造方法に関し、特に曲面に
配列される超音波探触子の製造方法に関する。
れる超音波探触子の製造方法に関し、特に曲面に
配列される超音波探触子の製造方法に関する。
（従来の技術）
従来より、超音波探傷や超音波診断等に超音波
探触子が広く用いられている。
探触子が広く用いられている。
超音波探触子は、電気信号で励振して超音波信
号を発生し、又はその逆に、超音波信号で励振し
て電気信号を発生する、即ち、超音波信号を送受
する圧電素子を利用したものである。
号を発生し、又はその逆に、超音波信号で励振し
て電気信号を発生する、即ち、超音波信号を送受
する圧電素子を利用したものである。
従来、この超音波探傷や超音波診断に用いられ
る超音波探触子は第１図Ａ，Ｂに示す構成であつ
た。
る超音波探触子は第１図Ａ，Ｂに示す構成であつ
た。
即ち、両面に電極を有する短冊形の圧電振動子
３−１〜３−ｎを、自由振動を制動するダンパー
（又は保持台）１に接着層２を介し線形に配設し
て構成される。
３−１〜３−ｎを、自由振動を制動するダンパー
（又は保持台）１に接着層２を介し線形に配設し
て構成される。
（発明が解決しようとする問題点）
この構成のものは、いわゆる線形配列探触子と
称され、各圧電振動子を電子的に切換えて走査
し、被検体の２次的な画像（Ｂスコープ）を得る
ものである。
称され、各圧電振動子を電子的に切換えて走査
し、被検体の２次的な画像（Ｂスコープ）を得る
ものである。
しかし、探傷や診断の能率の向上化及び適確な
画像を得るために圧電振動子の配列を凸又は凹面
に配列する必要が生じている。
画像を得るために圧電振動子の配列を凸又は凹面
に配列する必要が生じている。
第２図は、係る凸面配列探触子の断面図を示し
ている。
ている。
前述の如くダンパー１′は曲凸面を有し、曲面
上に接着層２を介し圧電振動子３−１〜３−ｎを
配列して構成される。圧電振動子３−１〜３−ｎ
を前述の短冊形のものを用いると、振動子３−１
〜３−ｎの内側（曲面側）と外側の内周が異な
り、外側の隙間が大きくあいてしまう。
上に接着層２を介し圧電振動子３−１〜３−ｎを
配列して構成される。圧電振動子３−１〜３−ｎ
を前述の短冊形のものを用いると、振動子３−１
〜３−ｎの内側（曲面側）と外側の内周が異な
り、外側の隙間が大きくあいてしまう。
逆に凹面のダンパーでは、内側に大きな隙間が
あいてしまうことになる。
あいてしまうことになる。
このことは、圧電振動子の有効面積が減少し、
能率が低下することを意味する。
能率が低下することを意味する。
本発明は、上述の欠点を改善し、圧電振動子の
有効面積を減少することのない、従つて能率が低
下することのない新規なる超音波探触子の製造方
法を提供することを目的とする。
有効面積を減少することのない、従つて能率が低
下することのない新規なる超音波探触子の製造方
法を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明によれば、曲面を有するベースに圧電振
動子層を設ける工程と、この圧電振動子層をベー
スの曲面の中心に向つて一定幅の切断除去して複
数の振動子に切断分離する工程とからなり、前記
ベース上に複数の扇形又は大径の振動子を形成す
ることを特徴とする超音波探触子の製造方法が提
供される。
動子層を設ける工程と、この圧電振動子層をベー
スの曲面の中心に向つて一定幅の切断除去して複
数の振動子に切断分離する工程とからなり、前記
ベース上に複数の扇形又は大径の振動子を形成す
ることを特徴とする超音波探触子の製造方法が提
供される。
（作用）
本発明方法では、曲面を有するベースに設けた
圧電振動子層を切断するのみで、圧電振動子を凸
又は凹面に配列した能率の良い探触子が簡単に製
造できる。
圧電振動子層を切断するのみで、圧電振動子を凸
又は凹面に配列した能率の良い探触子が簡単に製
造できる。
（実施例）
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第３図は本発明に係る超音波探触子の圧電振動
子の構成図である。
子の構成図である。
個々の圧電振動子４は第３図Ａの断面図の如く
扇形の形状をなしている。扇形の内周は前述のダ
ンパーの曲面に合せて選ばれる。扇形の内周及び
外周には電極５′及び５が設けられる。第３図Ｂ
は個々の圧電振動子４の斜視図である。このよう
な扇形の構成により、外周W1が内周W2より長く
なる。
扇形の形状をなしている。扇形の内周は前述のダ
ンパーの曲面に合せて選ばれる。扇形の内周及び
外周には電極５′及び５が設けられる。第３図Ｂ
は個々の圧電振動子４の斜視図である。このよう
な扇形の構成により、外周W1が内周W2より長く
なる。
第４図は本発明に係る超音波探触子の圧電振動
子の断面図である。
子の断面図である。
ここでは、圧電振動子４は台形をなしている。
上記２つの圧電振動子４においては、第３図及
び第４図の如く、扇形及び台形の外周幅W1と内
周幅W2の和と、振動子の厚みｔとが、 W1＋W2＜2t なる関係を満足する構成とすることで、振動子の
厚み方向の振動モードを他の振動モードに比べて
強大にすることができる。
び第４図の如く、扇形及び台形の外周幅W1と内
周幅W2の和と、振動子の厚みｔとが、 W1＋W2＜2t なる関係を満足する構成とすることで、振動子の
厚み方向の振動モードを他の振動モードに比べて
強大にすることができる。
このように構成された圧電振動子は曲面に合わ
せてダンパー上に設けられる。
せてダンパー上に設けられる。
第５図は本発明に係る超音波探触子の構成図を
示している。
示している。
ダンパー１は曲凸面を構成しているので、第３
図圧電振動子４の内側（電極５′側）をダンパー
１の曲凸面に合わせて設ける。
図圧電振動子４の内側（電極５′側）をダンパー
１の曲凸面に合わせて設ける。
逆に、ダンパー１が曲凹面なら、第３図圧電振
動子４の外側（電極５側）をダンパー１の曲凹面
に合わせて設ける。
動子４の外側（電極５側）をダンパー１の曲凹面
に合わせて設ける。
第４図の台形形状の圧電振動子の場合も同様で
ある。
ある。
このように構成することにより、曲面を有する
ベース（ダンパー）上での各圧電振動子間の外周
隙間が最小となり、即ち、圧電振動子の有効振動
面積が大きくなり、能率を向上することができ
る。また、振動子の厚み方向の振動モードを他の
振動モードに比べて強大にすることができるた
め、所望の縦振動を容易に得ることができる。
ベース（ダンパー）上での各圧電振動子間の外周
隙間が最小となり、即ち、圧電振動子の有効振動
面積が大きくなり、能率を向上することができ
る。また、振動子の厚み方向の振動モードを他の
振動モードに比べて強大にすることができるた
め、所望の縦振動を容易に得ることができる。
次に、このような超音波探触子の製造方法につ
いて説明する。
いて説明する。
例えば、円形配列の探触子を製造する際には、
先ず、円曲面のダンパーの曲面上に接着層を介し
圧電振動子層を形成する。
先ず、円曲面のダンパーの曲面上に接着層を介し
圧電振動子層を形成する。
次に、第５図のダンパーの曲面の中心Ｏに向つ
て、圧電振動子層を切断し、第５図の構成を得
る。
て、圧電振動子層を切断し、第５図の構成を得
る。
このように、本発明方法によれば超音波探触子
を容易に製造することができる。
を容易に製造することができる。
この場合、勿論、前述のW1＋W2＜2tを満たす
ように切断すれば、更に良い。
ように切断すれば、更に良い。
尚、前述の説明では、凹凸面を曲面で述べた
が、他の形状の面でも採用しうる。
が、他の形状の面でも採用しうる。
尚、本発明は、その主旨の範囲で種々の変形が
可能であり、これらを本発明の範囲から除外する
ものではない。
可能であり、これらを本発明の範囲から除外する
ものではない。
（発明の効果）
以上の様に、本発明の製造方法によれば、ベー
スの中心に向つて圧電振動子層を切断するのみで
済むため、極めて容易に、能率の低下することの
ない超音波探触子を製造できる。
スの中心に向つて圧電振動子層を切断するのみで
済むため、極めて容易に、能率の低下することの
ない超音波探触子を製造できる。
第１図は従来の超音波探触子構成図、第２図は
本発明の基となる凸面配列探触子構成図、第３図
は本発明に係る超音波探触子の圧電振動子の構成
図、第４図は本発明に係る超音波探触子の圧電振
動子の断面図、第５図は本発明に係る超音波探触
子の構成図である。 １，１′……ダンパー（ベース）、２……接着
層、３−１〜３−ｎ，４……圧電振動子、５，
５′……電極。
本発明の基となる凸面配列探触子構成図、第３図
は本発明に係る超音波探触子の圧電振動子の構成
図、第４図は本発明に係る超音波探触子の圧電振
動子の断面図、第５図は本発明に係る超音波探触
子の構成図である。 １，１′……ダンパー（ベース）、２……接着
層、３−１〜３−ｎ，４……圧電振動子、５，
５′……電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 曲面を有するベースに圧電振動子層を設ける
工程と、この圧電振動子層をベースの曲面の中心
に向つて一定幅の切断除去して複数の振動子に切
断分離する工程とからなり、前記ベース上に複数
の扇形又は台形の振動子を形成することを特徴と
する超音波接触子の製造方法。 ２ 切断分離する工程における各振動子は、その
外周幅W1と内周幅W2の和と、振動子の圧みｔと
が、 W1＋W2＜2t なる関係を満たすように形成されることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の超音波接触子の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12288379A JPS5646390A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Construction of ultrasonic wave probe and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12288379A JPS5646390A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Construction of ultrasonic wave probe and its manufacture |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5646390A JPS5646390A (en) | 1981-04-27 |
| JPS625400B2 true JPS625400B2 (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=14846987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12288379A Granted JPS5646390A (en) | 1979-09-25 | 1979-09-25 | Construction of ultrasonic wave probe and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5646390A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5937214Y2 (ja) * | 1979-11-02 | 1984-10-15 | 株式会社富士通ゼネラル | 超音波診断用探触子 |
| JPS5711648A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-21 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Ultrasonic probe |
| JPS5891157U (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-20 | 三菱電機株式会社 | 超音波アレイ探触子 |
-
1979
- 1979-09-25 JP JP12288379A patent/JPS5646390A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5646390A (en) | 1981-04-27 |
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