JPS6255142U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6255142U JPS6255142U JP14726785U JP14726785U JPS6255142U JP S6255142 U JPS6255142 U JP S6255142U JP 14726785 U JP14726785 U JP 14726785U JP 14726785 U JP14726785 U JP 14726785U JP S6255142 U JPS6255142 U JP S6255142U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- wire
- pedestal
- pressure sensor
- type semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図、第2図は本考案に係るダイアフラム型
半導体圧力センサの断面を示す平面図と斜視図、
第3図はダイアフラムの平面図、第4図a,bは
台座の断面図と上面図、第5図は台座の裏面に形
成されているリードパターンの様子を示す図、第
6図は台座とダイアフラムの接着面の一部断面図
、第7図はダイアフラム型半導体圧力センサの斜
視図、第8図は従来のダイアフラム型半導体圧力
センサを示す図である。 1……ダイアフラム型半導体圧力センサ、2…
…台座、2b……ザグリ部、3……ダイアフラム
、5……第2の筒体、6……第1の筒体、7……
蓋部材、8a,8b……溝、9……リードパター
ン、9a……ワイヤーボンド部、9b……半田付
け部、9c……連結部、14……リード線。
半導体圧力センサの断面を示す平面図と斜視図、
第3図はダイアフラムの平面図、第4図a,bは
台座の断面図と上面図、第5図は台座の裏面に形
成されているリードパターンの様子を示す図、第
6図は台座とダイアフラムの接着面の一部断面図
、第7図はダイアフラム型半導体圧力センサの斜
視図、第8図は従来のダイアフラム型半導体圧力
センサを示す図である。 1……ダイアフラム型半導体圧力センサ、2…
…台座、2b……ザグリ部、3……ダイアフラム
、5……第2の筒体、6……第1の筒体、7……
蓋部材、8a,8b……溝、9……リードパター
ン、9a……ワイヤーボンド部、9b……半田付
け部、9c……連結部、14……リード線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ストレンゲージ部及び電極部をパターン形成さ
れたダイアフラムを台座に保持するダイアフラム
型半導体圧力センサにおいて、 ワイヤーを介して上記ダイアフラムの電極部と
接続されるワイヤーボンド部と、リード線が半田
付けされる半田付け部と、上記ワイヤーボンド部
と半田付け部とを連絡する幅の挾くなつた連絡部
とを備えた導電性部材からなるリードパターンを
台座に設けたことを特徴とするダイアフラム型半
導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14726785U JPS6255142U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14726785U JPS6255142U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255142U true JPS6255142U (ja) | 1987-04-06 |
Family
ID=31060477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14726785U Pending JPS6255142U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255142U (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP14726785U patent/JPS6255142U/ja active Pending