JPS6255142U - - Google Patents

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JPS6255142U
JPS6255142U JP14726785U JP14726785U JPS6255142U JP S6255142 U JPS6255142 U JP S6255142U JP 14726785 U JP14726785 U JP 14726785U JP 14726785 U JP14726785 U JP 14726785U JP S6255142 U JPS6255142 U JP S6255142U
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JP
Japan
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diaphragm
wire
pedestal
pressure sensor
type semiconductor
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JP14726785U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本考案に係るダイアフラム型
半導体圧力センサの断面を示す平面図と斜視図、
第3図はダイアフラムの平面図、第4図a,bは
台座の断面図と上面図、第5図は台座の裏面に形
成されているリードパターンの様子を示す図、第
6図は台座とダイアフラムの接着面の一部断面図
、第7図はダイアフラム型半導体圧力センサの斜
視図、第8図は従来のダイアフラム型半導体圧力
センサを示す図である。 1……ダイアフラム型半導体圧力センサ、2…
…台座、2b……ザグリ部、3……ダイアフラム
、5……第2の筒体、6……第1の筒体、7……
蓋部材、8a,8b……溝、9……リードパター
ン、9a……ワイヤーボンド部、9b……半田付
け部、9c……連結部、14……リード線。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ストレンゲージ部及び電極部をパターン形成さ
    れたダイアフラムを台座に保持するダイアフラム
    型半導体圧力センサにおいて、 ワイヤーを介して上記ダイアフラムの電極部と
    接続されるワイヤーボンド部と、リード線が半田
    付けされる半田付け部と、上記ワイヤーボンド部
    と半田付け部とを連絡する幅の挾くなつた連絡部
    とを備えた導電性部材からなるリードパターンを
    台座に設けたことを特徴とするダイアフラム型半
    導体圧力センサ。
JP14726785U 1985-09-26 1985-09-26 Pending JPS6255142U (ja)

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JP14726785U JPS6255142U (ja) 1985-09-26 1985-09-26

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JP14726785U JPS6255142U (ja) 1985-09-26 1985-09-26

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JPS6255142U true JPS6255142U (ja) 1987-04-06

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ID=31060477

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