JPS6255558U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は回転コ
ロ要部の断面図、第２図は第１図の―線視図
、第３図は係止片の平面図、第４図は係止片装着
作業の説明図、第５図は真空蒸着装置の要部を示
す平面図、第６図は第５図の―線視断面図、
第７図はプラネタリ体の平面図、第８図はウエハ
を載置した支持台の平面図、第９図は第８図の
―線視断面図である。 １……ウエハ、２……装置、３……真空蒸着室
、４……公転軌道レール、５……公転枠、６……
回転コロ、７……プラネタリ体、１３……支持台
、１６……案内溝、１７，１７……係止部、１８
……ばね体、１９……止めねじ、２１……自由端
フツク部、２３……自転軸、２４……係止片、２
５……カラー、２６……係合溝、２７……係合部
、２８，２８……足、２９……嵌合溝、３０……
ピン、３１……凹溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体集積回路等の電子部品に用いられる薄い
   板状のウエハを、真空蒸着処理するためにプラネ
   タリ体に着脱自在に取付け、該プラネタリ体を、
   公転しつつ自転するように構成された回転コロに
   着脱自在に装着するにおいて、前記プラネタリ体
   から突出する自転軸るその軸端が前記回転コロの
   一側端面から突出するように嵌挿し、自転軸の軸
   端を前記回転コロの一側端面に着脱自在に係止す
   る係止片を板状に形成し、該係止片には前記自転
   軸の係合部に嵌挿して当該自転軸をその軸線方向
   に抜け不能にするＵ字状の嵌合溝を設ける一方、
   係止片の外側面を、回転コロの一側端面に形成さ
   れた係止溝内に係止して当該係止片が前記嵌合溝
   と反対方向に移動不能となるように形成して成る
   電子部品の真空蒸着装置におけるプラネタリ体の
   固定装置。