JPS6255932A - 試料カセツト装置 - Google Patents
試料カセツト装置Info
- Publication number
- JPS6255932A JPS6255932A JP60194862A JP19486285A JPS6255932A JP S6255932 A JPS6255932 A JP S6255932A JP 60194862 A JP60194862 A JP 60194862A JP 19486285 A JP19486285 A JP 19486285A JP S6255932 A JPS6255932 A JP S6255932A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- rollers
- cassette
- accurately
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は電子ビーム露光装置などの微細加工装置に用い
られる試料カセット装置に関する。
られる試料カセット装置に関する。
電子ビーム露光装置では％露光すべき試料が′１子ビー
ムに対し常ｌこ所定の位置ｌこセットされていなければ
、均一の製品が得られない、そこで、この種装置では、
試料を電子ビーム露光すべき位置に試料台ｌこ乗せて、
移送配置していた。しかし、このような従来の試料台で
あっては、装ばにセクトする時の搬入搬出時に試料を損
傷させたり、破損させたり、また、その位置合せが複雑
であるなどの多くの欠点があった。
ムに対し常ｌこ所定の位置ｌこセットされていなければ
、均一の製品が得られない、そこで、この種装置では、
試料を電子ビーム露光すべき位置に試料台ｌこ乗せて、
移送配置していた。しかし、このような従来の試料台で
あっては、装ばにセクトする時の搬入搬出時に試料を損
傷させたり、破損させたり、また、その位置合せが複雑
であるなどの多くの欠点があった。
本発明は正確かつ容易に試料を所定位置にセットするこ
とのできる試料カセットｉｔを提供することを目的とす
る。
とのできる試料カセットｉｔを提供することを目的とす
る。
本発明は、カセット本体と、このカセット本体に挿脱自
在の試料台とで、試料台に設けたローラーで、本体への
挿脱を容易とし、かつ本体にはＯ−ラーの逃げ溝を設け
て位置規制するよう構成した試料カセット装置である。
在の試料台とで、試料台に設けたローラーで、本体への
挿脱を容易とし、かつ本体にはＯ−ラーの逃げ溝を設け
て位置規制するよう構成した試料カセット装置である。
本発明によれば、装置に試料をセットする時に試料特に
電子ビーム露光装置では描画面が他の部分に接触するこ
とがないので、試料が損傷及び破損することがなく、ま
た、試料の位置合せが容易で精度良ぐ扱え、しかもロー
ラーで搬入搬出を行なうので粉塵などが発生することが
少なく、取シ扱うことができる。
電子ビーム露光装置では描画面が他の部分に接触するこ
とがないので、試料が損傷及び破損することがなく、ま
た、試料の位置合せが容易で精度良ぐ扱え、しかもロー
ラーで搬入搬出を行なうので粉塵などが発生することが
少なく、取シ扱うことができる。
以下１本発明の実施例について説明する。第１図は本発
明による試料カセット装Ｗｔ、ｆｔ示し試料台１８力セ
ツト本体７に挿入しようとしている状態を示している。
明による試料カセット装Ｗｔ、ｆｔ示し試料台１８力セ
ツト本体７に挿入しようとしている状態を示している。
一般にウェハ等蛎料；こ微細なパターンを描く電子ビー
ム露光装置では上記、試料の高精度な位置合せと正確な
試料の装着を必要とする０図において試料台１は平板体
からなり試料２を位置決めする基準ブロック３と基準ピ
ン４及び側部４ケ所に設けたローラー５よフ構成され、
又試料台１ｃこは搬入及び搬出用の取手６が具備されて
いる。
ム露光装置では上記、試料の高精度な位置合せと正確な
試料の装着を必要とする０図において試料台１は平板体
からなり試料２を位置決めする基準ブロック３と基準ピ
ン４及び側部４ケ所に設けたローラー５よフ構成され、
又試料台１ｃこは搬入及び搬出用の取手６が具備されて
いる。
カセット本体７は箱状をなし上面とその直角をなす面の
２方向が開放されている。又その下面には板バネ８が２
枚平行に設置され上記直角開放面には試料台１の搬入及
び搬出が容易に出来る様に切欠き部９が具備されている
。更に上面の開放面には基準板１０がネジ１５により固
定され、基準板１０はカセット本体７に対向する面ｌこ
基準面１１と前記ローラー５の逃げ溝１２及び切欠き部
１３を育し、中央部付近には試料２よυや＼小さな円形
穴１４を具備する。この様な構成において試料台１に位
置決めされた試料２を図に示す矢印の方向よりカセット
本体７の開口部へ装着するものである。その際ローラー
５は試料２の上面よフわずかに高く位置され、基準面１
１にはローラー５のみが当ってコロ炉り身走行する。又
カセット本体７に装着された状態の時は板バネ８の上方
へのバネ力が作用し逃げ溝１２ヘローラー５が入り試料
２が基準面１１に密着し高精度に位置決めされる。
２方向が開放されている。又その下面には板バネ８が２
枚平行に設置され上記直角開放面には試料台１の搬入及
び搬出が容易に出来る様に切欠き部９が具備されている
。更に上面の開放面には基準板１０がネジ１５により固
定され、基準板１０はカセット本体７に対向する面ｌこ
基準面１１と前記ローラー５の逃げ溝１２及び切欠き部
１３を育し、中央部付近には試料２よυや＼小さな円形
穴１４を具備する。この様な構成において試料台１に位
置決めされた試料２を図に示す矢印の方向よりカセット
本体７の開口部へ装着するものである。その際ローラー
５は試料２の上面よフわずかに高く位置され、基準面１
１にはローラー５のみが当ってコロ炉り身走行する。又
カセット本体７に装着された状態の時は板バネ８の上方
へのバネ力が作用し逃げ溝１２ヘローラー５が入り試料
２が基準面１１に密着し高精度に位置決めされる。
その際１円形穴１４は試料２よ〕数ミリ小さい値で円形
穴１４が描面可能な面積となる。
穴１４が描面可能な面積となる。
以上の様に本発明によれば試料台１上の試料２はカセッ
ト本体７への搬入及び搬出の際は描画面を摺動すること
がないので試料２への損傷及び破損の恐れがなく位置合
せを容易に且つ精度良く行い得る。又コロガリ走行する
為粉塵の出る可能性が少である。更に試料２の大きさや
形状が変化しても本発明を実施することができる。
ト本体７への搬入及び搬出の際は描画面を摺動すること
がないので試料２への損傷及び破損の恐れがなく位置合
せを容易に且つ精度良く行い得る。又コロガリ走行する
為粉塵の出る可能性が少である。更に試料２の大きさや
形状が変化しても本発明を実施することができる。
ｗＩＪ１図は本発明の実施例を示す斜視図である。
１・・・試料台、２・・・ウェハ、５・・・ローラー、
７・・・カセット本体、１２・・・逃げ溝。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
７・・・カセット本体、１２・・・逃げ溝。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
Claims (1)
- カセット本体と、このカセット本体に挿脱自在の試料
台とを具備したものにおいて、前記カセット本体は箱状
をなし試料の露出する穴と前記試料台が挿入時に当接す
る基準面と、この基準面に前記試料を押圧するバネ体と
で構成し前記試料台は試料を位置規制して載置する基台
と、この基台に設けられ前記試料が載置した時の試料の
厚さより突出するように配置した径のローラーとで構成
し、前記ローラーの突出部が前記カセット本体に押入時
に前記試料台の基体の基準面とカセット本体の基準面と
が当接するよう前記カセット本体の基準面にこのローラ
ーの突出部の逃げ溝を設けてなることを特徴とする試料
カセット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194862A JPS6255932A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料カセツト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194862A JPS6255932A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料カセツト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255932A true JPS6255932A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16331527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60194862A Pending JPS6255932A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料カセツト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255932A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022093313A (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-23 | マルバーン パナリティカル ビー ヴィ | Ｘ線分析装置のためのサンプルマウントシステム |
-
1985
- 1985-09-05 JP JP60194862A patent/JPS6255932A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022093313A (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-23 | マルバーン パナリティカル ビー ヴィ | Ｘ線分析装置のためのサンプルマウントシステム |
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