JPS6260037U - - Google Patents

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JPS6260037U
JPS6260037U JP15212185U JP15212185U JPS6260037U JP S6260037 U JPS6260037 U JP S6260037U JP 15212185 U JP15212185 U JP 15212185U JP 15212185 U JP15212185 U JP 15212185U JP S6260037 U JPS6260037 U JP S6260037U
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JP
Japan
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semiconductor chips
color
sorting
color mark
semiconductor chip
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JP15212185U
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る一実施例の構成とピツク
アツプ装置とを示す正面図、第２図は第１図の平
面図、第３図は従来例の装置構成図、第４図はウ
エハの平面図、第５図は第４図の側面図、第６図
は不良の半導体チツプに付されたカラーマークの
状態を示す説明図、第７図は半導体チツプの選別
順序を示す説明図である。 １……ウエハ、２……半導体チツプ、３……カ
ラーペイント、４……Ｘ，Ｙテーブル、５……レ
ンズ、６……カメラ、７……光学系、８……モニ
タテレビ、８ａ……カメラコントロールユニツト
、９……パターン認識回路、１０……ピツクアツ
プ装置、１１……駆動部、１２……アーム、１３
……吸着ツール、１４……ＸＹテーブル、１５…
…受け皿、１７，１８，１９……カラーマークセ
ンサ、２０……センサ部、２１……光源部、２２
……選別回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ダイシングにより格子状に分割配置された複数
    の半導体チツプのうち不良品にカラーマークが付
    されてなるウエハを載置し半導体チツプを所定の
    順序で次々にピツクアツプ位置に間欠移送するテ
    ーブルと、前記ピツクアツプ位置の手前位置で半
    導体チツプのカラーマークの色を検出するカラー
    マークセンサと、カラーマークセンサから出力さ
    れる検出信号の波長分析を行い半導体チツプの良
    品と不良品の選別信号を出力する選別回路とを有
    することを特徴とする半導体チツプの選別装置。
JP15212185U 1985-10-04 1985-10-04 Pending JPS6260037U (ja)

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JP15212185U JPS6260037U (ja) 1985-10-04 1985-10-04

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JP15212185U JPS6260037U (ja) 1985-10-04 1985-10-04

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JPS6260037U true JPS6260037U (ja) 1987-04-14

Family

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JP15212185U Pending JPS6260037U (ja) 1985-10-04 1985-10-04

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57178336A (en) * 1981-04-28 1982-11-02 Toshiba Corp Automatic die-mounting device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57178336A (en) * 1981-04-28 1982-11-02 Toshiba Corp Automatic die-mounting device

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