JPH0339864U - - Google Patents

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JPH0339864U
JPH0339864U JP1989100465U JP10046589U JPH0339864U JP H0339864 U JPH0339864 U JP H0339864U JP 1989100465 U JP1989100465 U JP 1989100465U JP 10046589 U JP10046589 U JP 10046589U JP H0339864 U JPH0339864 U JP H0339864U
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50—Bond wires

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  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の部分正面図、第２
図はウエハ検査に用いられるウエハに発光ダイオ
ードアレイが形成された状態の部分正面図、第３
図はチツプ検査時の位置合せカーソルと認識パタ
ーンとの関係を示す図であり、第３図ａは位置合
せカーソルの構成を示す図、第３図ｂは検査装置
の操作開始及び停止時の関係を示す図、第３図ｃ
は操作継続時の関係を示す図、第４図はウエハ検
査用の認識パターンに対する位置合せカーソルの
検出状態を示す図、第５図は本考案の他の実施例
の部分正面図、第６図および第７図は認識パター
ンが組み込まれていない従来の発光ダイオードア
レイの正面図、第８図および第９図は認識パター
ンが組み込まれた従来例の発光ダイオードアレイ
の正面図である。 図中、５……発光ダイオードアレイ、６……基
板、７……発光ダイオード、９……ボンデイング
パツド、１０，１１……認識パターンである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 基板表面に直線的に複数の発光ダイオードを
    整列配設し、各発光ダイオードからボンデイング
    パツドを延出形成した発光ダイオードアレイにお
    いて、上記ボンデイングパツドのうち基板端側の
    複数のボンデイングパツドを、検査装置により互
    いに区別してパターン認識可能な複数種の認識パ
    ターンとして形成したことを特徴とする発光ダイ
    オードアレイ。 ２ 複数種の認識パターンは、各種類毎に発光ダ
    イオードの整列方向と直交する側に１対として設
    けたことを特徴とする請求項１記載の発光ダイオ
    ードアレイ。
JP1989100465U 1989-08-30 1989-08-30 発光ダイオードアレイ Expired - Fee Related JPH0726852Y2 (ja)

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5996729A (ja) * 1982-11-26 1984-06-04 Hitachi Ltd ホトマスク等の位置精度測定方法
JPS59143159A (ja) * 1983-02-07 1984-08-16 Mitsubishi Electric Corp 写真製版技術におけるパタ−ン重ね合わせ方法
JPS6229138A (ja) * 1985-07-31 1987-02-07 Oki Electric Ind Co Ltd マ−ク合わせ方法およびそれに用いるアライメントマ−ク
JPS62170655U (ja) * 1986-04-18 1987-10-29
JPS6490527A (en) * 1987-10-01 1989-04-07 Fujitsu Ltd Manufacture of semiconductor device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5996729A (ja) * 1982-11-26 1984-06-04 Hitachi Ltd ホトマスク等の位置精度測定方法
JPS59143159A (ja) * 1983-02-07 1984-08-16 Mitsubishi Electric Corp 写真製版技術におけるパタ−ン重ね合わせ方法
JPS6229138A (ja) * 1985-07-31 1987-02-07 Oki Electric Ind Co Ltd マ−ク合わせ方法およびそれに用いるアライメントマ−ク
JPS62170655U (ja) * 1986-04-18 1987-10-29
JPS6490527A (en) * 1987-10-01 1989-04-07 Fujitsu Ltd Manufacture of semiconductor device

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